Литография и контактная фотолитография. Позитивные и негативные фоторезисторы
Литографические процессы. Классификация методов литографии. Формирование рельефа изображения элементов. Контактная фотолитография. Последовательность выполнения операций при фотолитографии. Позитивные, негативные фоторезисты и режимы их обработки.
Подобные документы
Фоторезисты и их свойства. Травление подложки с защитным рельефом и удаление защитного рельефа. Формирование слоя фоторезиста и защитного рельефа. Организация производства фотолитографического процесса. Изготовление высококачественных фотошаблонов.
реферат, добавлен 27.03.2010Сущность и задачи литографии. Описание процесса создания рисунка с использованием фотолитографии на кремниевой подложке. Исследование режимов технологического процесса ионного легирования в кремниевой технологии при помощи компьютерных программ.
реферат, добавлен 01.02.2016Производство полупроводникового кремния. Действие кремниевой пыли на организм. Защита органов дыхания. Литография как формирование в активночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложек, рельефного рисунка. Параметры и свойства фоторезистов.
курсовая работа, добавлен 09.03.2009Назначение телевизионной системы: формирование изображения передаваемой сцены, предназначенного для восприятия человеком. Подача сигнала с выхода устройства обработки и усиления на анализатор. Формирование оптического изображения, элементы светоделения.
реферат, добавлен 12.07.2010Принцип действия прибора, его основные параметры и характеристики. Зависимость барьерной ёмкости перехода от обратного напряжения. Максимальный прямой ток через переход. Расчёт активных элементов интегральных микросхем. Контактная разность потенциалов.
курсовая работа, добавлен 11.12.2016Сигналы памяти и приемники изображения, устройства их обработки. Основные параметры элементов ПЗС: рабочая амплитуда напряжений, максимальная величина зарядного пакета, предельные тактовые частоты, мощность. Эффективность работы устройств обработки.
реферат, добавлен 13.01.2009Конструкция интегральной микросхемы на транзисторах. Преобразование и обработка входного сигнала. Технические условия для интегральных микросхем р-канального полевого транзистора с изолированным затвором. Нанесение пленки алюминия и фотолитография.
контрольная работа, добавлен 07.05.2013Последовательность этапов разработки микропроцессорных систем управления и стадий выпуска конструкторской документации. Анализ алгоритмов, определяющих логическую структуру микропроцессорной системы управления, последовательность выполнения операций.
реферат, добавлен 09.08.2011Технология изготовления полупроводниковых диодов, структура, основные элементы и принцип действия. Процесс образования p-n перехода, его односторонняя проводимость. Электрофизические параметры электро-дырочных переходов. Контактная разность потенциалов.
курсовая работа, добавлен 28.01.2015Технология полупроводникового производства. Сущность процесса фотолитографии. Светочувствительность, разрешающая способность и кислотостойкость фоторезистов. Адгезия фоторезиста к подложке. Фотошаблоны и способы их получения. Требования к фоторезистам.
курсовая работа, добавлен 22.02.2012Условные графические изображения элементов. Правила выполнения принципиальных электрических схем. Требования ГОСТов к чертежам печатных плат, к графическим документам. Порядок выполнения чертежа печатной платы устройства гальванической развязки.
курсовая работа, добавлен 08.12.2011Разработка системы на основе микроконтроллера для обработки изображения, принимаемого от прибора с зарядовой связью (ПЗС). Принцип работы ПЗС. Схема электрическая принципиальная. Программы для захвата сигналов от ПЗС на микроконтроллер и их обработки.
курсовая работа, добавлен 22.09.2012Интроскопия - внутривидение, визуальное наблюдение объектов, явлений и процессов в оптически непрозрачных телах и средах, в условиях плохой видимости. Классификация методов диагностики. Общность методов и средств обработки иитроскопических изображений.
реферат, добавлен 01.02.2009Сущность и классификация методов обработки поверхности. Методы сухой очистки. Процесс плазмохимического травления. Схема вакуумной камеры диодного типа для плазмохимического травления непосредственно в плазме. Очистка поверхности газовым травлением.
реферат, добавлен 15.01.2009Выбор методов проектирования устройства обработки и передачи информации. Разработка алгоритма операций для обработки информации, структурной схемы устройства. Временная диаграмма управляющих сигналов. Элементная база для разработки принципиальной схемы.
курсовая работа, добавлен 16.08.2012Структурная схема устройства. Выбор элементной базы и электрической схемы. Использование многоуровневой конвейерной обработки. Последовательность выполнения программы. Команды условного и безусловного перехода. Пространство регистров ввода-вывода.
контрольная работа, добавлен 07.07.2013Телевидение как передача изображения объекта на некоторое расстояние (обычно со звуковым сопровождением). Физические процессы, положенные в основу передачи. Диапазон телевизионных передач. Устройство цветного кинескопа, частота изображения на экране.
презентация, добавлен 14.01.2010Система связи для трансляции и приема движущегося изображения и звука на расстоянии. Количество элементов изображения. Полоса пропускания радиоканала. Применение электронно-лучевой трубки для приема изображений. Передача сигнала на большие расстояния.
презентация, добавлен 11.03.2013Основные признаки классификации электронных индикаторов, (конструктивные особенности, способы управления, назначение). Применение единичных, сегментных, шкальных и электронно-механических индикаторов. Формирование изображения в матричном индикаторе.
презентация, добавлен 14.12.2015Исследование и принцип работы арифметико-логического устройства для выполнения логических операций. Условно–графическое обозначение микросхемы регистра. Анализ логической схемы регистра, принцип записи, чтения информации. Проектирование сумматора.
курсовая работа, добавлен 23.11.2010Классификация топографических аэрофотоаппаратов, характеристика их типов. Особенности аэрофотоаппаратов нетопографического назначения. Щелевые и панорамные аэрофотоаппараты. Фиксация изображения цифровым аэрофотоаппаратом, строение фотоматериалов.
курсовая работа, добавлен 15.12.2012Алгоритмы, учитывающие систему визуального восприятия человека. Мультиразмерная ошибка. Мера качества видео на основе дискретного косинусного преобразования. Модификация алгоритмов оценки качества изображения с применением предварительной обработки.
реферат, добавлен 19.11.2008История изобретения транзисторов, их классификация. Изобретение интегральной схемы Джеком Килби. Процесс изготовления микросхем методом фотолитографии и применением ультрафиолетовой технологии. Контроль их качества. Конструктивные варианты микросхем.
презентация, добавлен 06.10.2014Автоматические системы управления, объем и характер выполняемых операций. Назначение типовых элементов. Классификация датчиков, их статические характеристики и параметры. Электроавтоматика, классификация реле. Элементы релейно-контактного управления.
курс лекций, добавлен 17.10.2009Тактико-технические характеристики гидроакустических средств, принципы их построения и функционирования. Системы вторичной обработки: режимы "Шумопеленгование", "Обнаружение гидроакустических сигналов". Классификация и параметры обнаруженных сигналов.
презентация, добавлен 23.12.2013