Ионная имплантация
Общее понятие ионной имплантации, как метода легирования поверхностных слоев, заключающегося в обработке поверхности потоком высокоэнергетичных ионов и внедрении их в объеме материала. Физические основы метода. Структура и свойства имплантированных слоев.
Подобные документы
- 1. Метод ионной имплантации — перспективное направление модификации поверхности изделий в строительстве
Преимущества метода ионной имплантации перед способами вакуумного напыления. Представление установки ионной имплантации для реализации метода, принцип ее работы. Результаты использования упрочняющих покрытий на инструменте для обработки древесных изделий.
статья, добавлен 30.09.2012 Сущность и назначение ионной имплантации как метода внедрения атомных частиц в углеродные наноструктуры. Использование метода в промышленности. Дефекты при ионном легировании и способы их устранения. Применение ионного легирования в технологии СБИС.
реферат, добавлен 22.11.2016Понятие, сущность и назначение ионной имплантации, преимущества и недостатки. Схема установки и характеристика процесса структурообразования. Определение дефектов при легировании и способы их устранения. Физические ограничения имплантационного метода.
курсовая работа, добавлен 04.05.2015Физические особенности процесса ионного легирования. Влияние технологических параметров на процесс ионной имплантации. Распределение внедренных примесных атомов, радиационные дефекты. Методы математического моделирования процесса ионной имплантации.
доклад, добавлен 17.05.2016Сущность ионной имплантации, распределение примеси бора и фосфора в кремниевом биполярном n-p-n транзисторе. Основные характеристики и технологические особенности ионной имплантации. "Гибридизация" имплантационной методики с традиционными технологиями.
курсовая работа, добавлен 21.12.2023Исследование механизма накопления деформации конструкционных материалов при финишной абразивной обработке. Изменение поверхностного слоя при температурном и силовом воздействии. Управление формированием микро- и наноструктур поверхностных слоев деталей.
статья, добавлен 27.05.2018Перспективность ионной имплантации в микроэлектронике, металлообработке, металлургии, теплоэнергетике. Особенности теплоотдачи от поверхности твердых тел, обработанных методом корпускулярного легирования. Методика исследования синтезированных композитов.
статья, добавлен 22.01.2018Наплавка и газотермическое нанесение покрытий. Получение поверхностных слоев нанесением расплавленного присадочного материала методом сварки. Материалы, применяемые для наплавочных работ. Виды химико-термической обработки поверхностей заготовок.
статья, добавлен 24.08.2020Механизмы формирования микро- и наноструктур поверхностных слоев деталей при финишной абразивной обработке. Параметры процесса обработки, влияющие на формирование тонких поверхностных структур. Термическое и силовое воздействие на поверхность детали.
статья, добавлен 27.05.2018Построение схемы электроискрового процесса. Достоинства и особенности электроискрового легирования. Рабочие инструменты и детали, оснастка и их восстановление и ремонт. Примеры установок электроискрового легирования и их технические характеристики.
реферат, добавлен 10.05.2016Исследование взаимосвязи свойств покрытий с их структурно-фазовым состоянием на основе анализа фазового состава, среднего размера зерен. Влияние механоактивации порошка TiNiTa на качество поверхностных слоев. Пути снижения пористости и повышения адгезии.
статья, добавлен 19.05.2017Результаты экспериментальных исследований формирования приповерхностных слоев деталей из конструкционных материалов при шлифовании и в процессе трения. Описание физических явлений, сопровождающих формирование неравновесных состояний поверхностных слоев.
статья, добавлен 27.05.2018Влияние параметров режима насыщения на структуру и механические свойства борохромированых слоев на литых сталях. Износостойкость диффузионных слоев в условиях абразивного износа и в процессе эксплуатации. Относительная потеря массы сталей при износе.
автореферат, добавлен 29.06.2018Применение добавочных видов механической обработки для повышения усталостной прочности сварных соединений. Влияние наноструктурирования поверхностных слоев методом ультразвукового пластического деформирования на структуру соединений, выполненных сваркой.
статья, добавлен 27.10.2018Определение условий формирования структурно-фазового состояния поверхностных слоев при абразивной обработке. Прогнозирование тепловыделения в контактной зоне заготовки и шлифовального круга с учетом его изнашивания. Расчет износа поверхностей трения.
статья, добавлен 27.05.2018Технология комбинированной обработки поверхностных слоев деталей, полученных методами напыления с последующей электромеханической обработкой. Технологические режимы электромеханической обработки на прочность сцепления покрытия со стальной основой.
статья, добавлен 21.03.2019Влияние технологической неоднородности свойств материала балки на ее напряженно-деформированное состояние. Задачи изгиба балки из нелинейно-деформируемого материала под действием поперечной нагрузки при различных вариантах упрочнения поверхностных слоев.
статья, добавлен 02.03.2019Анализ результатов исследования влияния лазерного импульсного облучения на структуру поверхностных слоев сплавов. Образование мультимасштабной структуры, включающей крупномасштабные и мелкомасштабные изменения рельефа поверхности как следствие процесса.
статья, добавлен 27.07.2016Общая схема электроискрового процесса. Обработка давлением и резанием. Достоинства и особенности электроискрового легирования. Рабочие инструменты и детали, оснастка и их восстановление и ремонт. Инструменты деревообработки, стекольной промышленности.
реферат, добавлен 29.12.2015- 20. Повышение контактной прочности функциональных поверхностей стальных изделий при лазерной обработке
Рассмотрены технологии получения высокопрочных борохромированных слоев, формируемых методами оплавления диффузионных покрытий и лазерного легирования из обмазок. Приведены результаты натурных испытаний установочных элементов технологической оснастки.
статья, добавлен 27.05.2018 Возможности применения трибоспектрального способа для анализа дефектности поверхностных слоев твердых тел на основе численного моделирования на примере металла с высокопрочным керамическим покрытием. Применение метода подвижных клеточных автоматов.
статья, добавлен 27.10.2018Модификация поверхности металлов при помощи имплантации ионов. Технология ускорения ионов, предполагающая "энергетическую накачку" среды с последующим их ускорением непосредственно из плазмы газового разряда. Схема экспериментальной установки ускорителя.
статья, добавлен 30.09.2012- 23. Антиизносные электроэрозионные покрытия при изготовлении и восстановлении роторов турбокомпрессоров
Схематическое изображение зон эрозионного износа деталей ротора центробежного компрессора. Рекомендуемые удельные усилия деформации электроэрозионного легирования поверхности слоев различной твердости и результаты их воздействия на микрогеометрию.
статья, добавлен 13.01.2020 Повышение эффективности теплоотдачи наружной поверхности теплообменных труб. Ограничения по материалу трубной заготовки и по типоразмерам получаемого оребрения. Максимально достижимое увеличение площади наружной теплообменной поверхности для меди и стали.
статья, добавлен 27.02.2017Разделение горной массы, находящейся на перфорированной рабочей поверхности машины. Перемещение образующихся слоев постели по рабочей поверхности машины в нескольких направлениях. Концентрация материала в зависимости от плотности и крупности зёрен.
статья, добавлен 01.07.2018