Вакуумні методи нанесення тонких плівок

Поняття вакууму в техніці. Вакуумні системи і двохроторнний насос, насоси Рутса. Турбомолекулярні насоси, паромасляні дифузійні насоси. Пластинчато–роторний обертальний насос, нанесення тонких плівок. Термічне вакуумне та електронно-променеве напилення.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.