Одержання і властивості кремнієвих композицій, модифікованих іонно-плазмовими обробками

Механізм формування на ділянках SiО2 плазмохімічних локально модифікованих плівок із використанням продуктів травлення кремнію. Методики створення орієнтованих механічних напружень, визначення кристалографічної анізотропії процесів травлення монокремнію.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.