Методы формирования тонкоплёночных структур

Основы термического вакуумного распыления. Особенности формирования тонких плёнок термовакуумным, ионным, молекулярно-лучевой эпитаксией, химическими и электрохимическими методами. Химические основы процесса получения эпитаксиальных плёнок кремния.

Подобные документы

  • Ознакомление с принципами работы нанооборудования. Методика проведения экспериментов на установке молекулярного наслаивания TFS-200. Исследование процессов получения наногетероструктур, термического и атомно-слоевого осаждения диэлектриков на пластины.

    отчет по практике, добавлен 05.07.2022

  • Проблема автоматизации известных методов оперативного контроля скорости осаждения покрытий в вакууме. Математическое моделирование планарной магнетронной системы распыления, электронно-эмиссионного датчика контроля скорости осаждения материала в вакууме.

    автореферат, добавлен 10.08.2018

  • Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных слоев, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы. Характеристики оборудования для исследования процессов ионного ассистирования и процесса ионно-лучевого нанесения тонких пленок.

    отчет по практике, добавлен 09.11.2014

  • Изучение структуры машиностроительного предприятия. Основы технологии сварочного производства. Процессы формирования неразъемных соединений. Методы сварки плавлением и давлением. Пайка разъемных стальных соединений. Дефекты и методы контроля качества.

    отчет по практике, добавлен 23.09.2015

  • Обзор процесса групповой обработки формирования структур как объекта управления. Разработка алгоритма системы управления технологическим процессом отжига при формировании структур. Моделирование травления при формировании топологии интегральных элементов.

    автореферат, добавлен 14.08.2018

  • Особенности подготовки поверхности и выбор подложки к эпитаксии. Влияние легирования на свойства монокристаллов силленита. Приготовление шихты для жидкофазной эпитаксии. Оценка себестоимости лазерного элемента на основе монокристаллической пленки.

    дипломная работа, добавлен 16.11.2017

  • История возникновения. Основные определения наноматериалов. Их классификация и свойства. Физико-химические основы получения. Методы получение наноматериалов. Классы неорганических наноматериалов. Наноматериалы в технологии адсорбентов и катализаторов.

    презентация, добавлен 17.03.2014

  • Краткая характеристика установки и технологическая схема получения извести и диоксида углерода. Описание сырья и готовой продукции. Физико-химические основы процесса. Нормы технологического режима. Охрана труда и техника безопасности. Реактивы по ГОСТу.

    реферат, добавлен 12.12.2016

  • Физико-химические основы технологического процесса. Описание техпроцесса и схемы вторичной деметанизации, получения товарного этилена. Материальный баланс ректификационной колонны. Ежегодные нормы расходов основных видов сырья, материалов, энергоресурсов.

    курсовая работа, добавлен 14.03.2016

  • Анализ данных о материалах с эффектом памяти формы, полученных методом порошковой металлургии, в частности, прессования и вакуумного спекания. Исследование физических свойств порошки Ni и Ti, полученные методом распыления из расплава в инертной среде.

    статья, добавлен 08.12.2018

  • Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.

    курсовая работа, добавлен 11.12.2014

  • Метод получения сверхрешеточных структур. Механизм роста и эпитаксия в процессе MOCVD. Светодиодные структуры GaN на подложках из карбида кремния. Описание процесса и обзор технологии laser lift-off. Горизонтальная и вертикальная структуры диодов.

    курсовая работа, добавлен 26.12.2013

  • Физико-химические основы пиролиза и технологические параметры процесса. Характеристика сырья и готовой продукции. Узел утилизации физического тепла пиролиза для получения пара. Расчет числа печей для обеспечения заданной производительности установки.

    курсовая работа, добавлен 01.07.2016

  • Определение оптимального режима получения пленок оксида цинка методом магнетронного распыления для изготовления газовых сенсоров. Изучение влияния режимов получения на электрическое сопротивление пленок при различных значениях относительной влажности.

    статья, добавлен 29.06.2017

  • Физико-химические основы выпаривания. Выпаривание с применением теплового насоса. Особенности и режимы процесса кипения жидкости. Применение данного процесса в пищевой промышленности, производство концентрированных соков. Устройство выпарных аппаратов.

    реферат, добавлен 02.12.2019

  • Устройство малогабаритной вакуумной установки модульного типа. Определение толщины пленки меди на ситалловой подложке с помощью атомно-силового микроскопа. Анализ зависимости толщины тонких пленок меди от времени процесса при магнетронном распылении.

    научная работа, добавлен 03.05.2019

  • Исследование производства аммиака. Сырье для получения продуктов азотной промышленности. Синтез-газ из твердых топлив. Анализ реакции окисления гомологов метана. Физико-химические основы процесса. Принципиальная технологическая схема синтеза аммиака.

    курсовая работа, добавлен 26.05.2022

  • Теоретические, химические и физико-химические основы процесса. Характеристика сырья, готовой продукции и отходов производства. Промышленная безопасность и экологическая оценка проектных решений. Разработка аппаратурно-технологической схемы производства.

    курсовая работа, добавлен 13.02.2015

  • Описание физико-химических свойств перфторированных соединений, производимых Российским научным центром "Прикладная химия" электрохимическими методами. Методы и способы применения жидких и твердых соединений. Широкий спектр фторорганических продуктов.

    статья, добавлен 28.04.2018

  • Физические и химические основы наномира. Принципы формирования и размеры кластеров. Основные задачи наноэлектроники. Перспективы применения ферромагнетиков в компьютерной технике. Направления развития нанотехнологической отрасли в Российской Федерации.

    реферат, добавлен 20.10.2016

  • Основы производства масел из парафинистых нефтей. Описание технологии процессов депарафинизации. Физико-химические основы процесса. Принципиальная схема установки депарафинизации. Расчет материальной установки карбамидной депарафинизации нефтемасла.

    курсовая работа, добавлен 05.05.2014

  • Преимущества золь-гель метода по сравнению с электрохимическим осаждением и магнетронным напылением плёнок. Характеристика и свойства композита полианилина. Использование двуокиси титана для изготовления датчиков и фотоэлектрических преобразователей.

    статья, добавлен 01.03.2019

  • Ознакомление с особенностями каталитического крекинга нефти. Изучение влияния группового углеводородного состава вакуумного газойля на выход продуктов крекинга. Характеристика процесса коксования нефтяных остатков. Анализ видов термического крекинга.

    курсовая работа, добавлен 02.06.2015

  • Методы интенсификации доменного процесса. Образование чугуна и шлака. Сырые материалы и подготовка их к доменной плавке. Физико-химические основы восстановительных процессов. Дифференциальный и комплексный методы оценки уровня качества чугуна литейного.

    курсовая работа, добавлен 20.02.2017

  • Принцип центробежного литья. Особенности формирования отливки. Изготовление толстостенных отливок. Особенности формирования обливки при центробежном литье. Трудности получения отливок из сплавов, склонных к ликвации. Способы обработки металлов давлением.

    реферат, добавлен 22.04.2015

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.