Получение пленок ITO методом реактивного магнетронного распыления
Понятие и содержание метода пульверизации, его недостатки. Определение поверхностного сопротивления пленок. Методы осаждения прозрачных проводящих покрытий из газовой фазы. Разработка технологии получения пленок ITO реактивным магнетронным распылением.
Подобные документы
Изучение поведения незамкнутых наноструктур, сформированных из двухслойных медно-никелевых пленок при нагреве. Генерирование коллективных движений атомов в структуре пленок различной толщины, имеющих вихревой характер, при их отделении от подложки.
статья, добавлен 29.10.2018- 27. Динамика гравитационно-капиллярных волн в океане в присутствии пленок поверхностно-активных веществ
Линейные гравитационно-капиллярные волны на поверхности воды, покрытой пленкой поверхностно-активного вещества. Упругость пленок и коэффициент поверхностного натяжения в сликах на морской поверхности. Радиолокационные измерения фазовых скоростей волн.
автореферат, добавлен 02.03.2018 Разработка систем на основе энергии Солнца. Преимущества и недостатки технологии тонкопленочных солнечных элементов из аморфного гидрогенизированного и микрокристаллического кремния. Методы получения пленок. Повышение конкурентоспособности фотовольтаики.
статья, добавлен 15.06.2018Разработка оптического сенсора с заданными свойствами, имеющего взрывобезопасное исполнение, которое достигается применением оптической схемы измерения. Анализ чувствительности и селективности элементов на основе газохромных пленок WO 3 /Pd и NіOOH.
статья, добавлен 29.07.2016Разработка оптимальных физико-технологических условий роста пленок теллурида цинка. Описание стационарных характеристик при выращивании разными методами: жидкофазной эпитаксии и вакуумного напыления. Процесс изучения влияния примесей алюминия и лития.
автореферат, добавлен 29.08.2013Параметры магнитооптических материалов, представляющие интерес для оптоэлектроники. Измерение оптических и магнитных параметров феррит-гранатовых пленок. Расчет коэрцитивной силы, поля насыщения и динамического диапазона. Определение осей намагничивания.
дипломная работа, добавлен 08.12.2013Разработка оптического сенсора для определения концентраций Н2 и СО в смеси с воздухом. Анализ и оценка высокой чувствительности и селективности оптических элементов на основе газохромных пленок WO 3 /Pd и NіOOH. Предпосылки изменения пропускания света.
статья, добавлен 29.07.2016Изучение превращения в наноразмерных пленках никеля в зависимости от толщины при температуре тепловой обработки 623 К методом оптической спектроскопии. Анализ спектров поглощения и отражения исследуемых пленок никеля до и после термического воздействия.
статья, добавлен 02.02.2019Методы измерения проводимости и ее температурной зависимости. Исследование влияния адсорбированного кислорода на электрические свойства пленок производных фталоцианина. Модель многоуровневого прыжкового переноса электронов. Методика ионной имплантации.
автореферат, добавлен 19.08.2018Состав и строение многослойных магнитных пленок. Исследование принципиальной схемы установки магнетронного распыления. Ход луча при измерении меридионального магнитооптического эффекта Керра. Измеренные полярным эффектом Керра петли гистерезиса.
дипломная работа, добавлен 20.08.2020Технологические аспекты получения наноразмерных пленок мультиферроиков и их обработки в униполярном коронном разряде. Использование феррита висмута для создания устройств записи информации высокой плотности. Жидкофазная эпитаксия, распыление в ВЧ-разряде.
статья, добавлен 30.05.2017- 37. Структурные особенности и оптические свойства тонких слоев аморфного гидрогенизированного углерода
Оптические свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного углерода. Получение нового оптического материала - тонких пленок a-C: H с заданным показателем преломления. Уникальное сочетание механической прочности, химической стойкости и прозрачности.
автореферат, добавлен 16.02.2018 Изучение кинетики анодного окисления кремния и его соединений в легирующих электролитах. Анализ степени влияния связных добавок на состав, строение и свойства пленок анода диоксида силиция. Создание элементов кремниевых приборов и интегральных микросхем.
автореферат, добавлен 15.11.2015Результаты теоретических расчетов энергетических и магнитных характеристик для магнитных монослойных пленок Fe и Co на подложках из Au, Ag, Pt и Cu при различных ориентациях их поверхностной грани. Расчет пространственного распределения намагниченности.
статья, добавлен 02.02.2019Знакомство с основными особенностями высокочастотного ферромагнитного резонанса в пленках пермаллоя. Анализ этапов расчета эффективной намагниченности насыщения. Ферромагнитный резонанс как один из методов изучения магнитных свойств тонких пленок.
статья, добавлен 19.06.2018Измерение изотропной и двуосной деформации в нанокомпозитах nc-TiN/a-BN, полученных путем плазменного химического осаждения из паровой фазы. Применение магнетронного распыления на подложках из простой стали для получения высокочистых твердых материалов.
статья, добавлен 29.06.2018Исследование морфологии пленок Al и ХСП на пористых, кристаллических подложках. Изучение особенностей релаксации напряжений в исследуемых структурах и происходящих процессов модификации поверхности пленок теллурида свинца при обработке в аргоновой плазме.
автореферат, добавлен 02.08.2018Влияние механических напряжений в тонких сверхпроводящих YBCO пленках на их вольтамперные характеристики. Исследования вольтамперных характеристик монокристаллических, гранулярных и напряженных пленок. Повышение внутреннего давления в материале пленки.
статья, добавлен 02.02.2019Влияние на фотоэлектрические свойства пленок медного фталоцианина модификации формы молекул периферийными и аксиальными заместителями. Критическая толщина, выше которой кристаллическая подложка не оказывает ориентирующего воздействия на молекулы пленки.
автореферат, добавлен 31.07.2018Особенности поведения температурной зависимости магнитосопротивления (МС) в многослойных системах. Исследования зависимости МС от температуры трехслойных пленок Co/Cu/Co c различной толщиной медной прослойки в температурном интервале от 150 до 700 К.
статья, добавлен 24.10.2010- 46. Инфразвуковая диэлектрическая спектроскопия неполярных и полярных фторсодержащих полимерных пленок
Анализ современных представлений о механизмах переноса заряда в неполярных и полярных полимерных диэлектрических пленках. Особенности пленок характерных неполярных и полярных полимеров, измерение проводимости. Характеристика результатов исследования.
автореферат, добавлен 08.02.2013 Исследование процесса переключения сегнетоэлектрических ленгмюровских пленок П(ВДФ-ТрФЭ) различной толщины от 7 до 100 монослоев разными способами. Исследование диэлектрической дисперсии в сверхтонких сегнетоэлектрических пленках Ленгмюра-Блоджетт.
автореферат, добавлен 02.08.2018Место исследований свойств магнитных пленок в современной микроэлектронике. Анализ зависимости гальваномагнитных свойств пленочных сплавов Ni-Cu от концентрации компонент и толщины в температурном интервале 100-700 К, а также их сравнение с пленками Ni.
реферат, добавлен 23.10.2010Поиск слабоанизотропных пленок ферритов гранатов, обладающих малыми полями анизотропии. Исследование способов управления характеристиками спиновых волн в планарных слоистых структурах. Изучение нелинейных явлений при распространении данного вида волн.
автореферат, добавлен 02.03.2018Способы изготовления аморфных и слоистых пленочных объектов с редкоземельными компонентами методом высокочастотного распыления. Закономерности магнитного упорядочения в слоистых ферримагнитных структурах. Изучение особенностей магнитной анизотропии.
автореферат, добавлен 10.12.2013