Структура та фізичні властивості тонкоплівкових дифузійних бар’єрів W-Ti-N та Ta-Si-N на підкладках арсеніду та нітриду галію
Визначення факторів впливу на структуру і фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N і Ta-Si-N. Дослідження антидифузійних властивостей тонкоплівкових бар’єрів. Оптимізація технологічних основ отримання плівок, їх застосування в напівпровідникових системах.
Подобные документы
Аналіз температурних залежностей електропровідності тонких плівок металів. Розмірна залежність ефективного параметру електрон-фононної взаємодії. Тангенс кута нахилу експериментальних температурних залежностей опору для плівок Pd, Pt і Sc. Енергія фонона.
статья, добавлен 23.12.2016Дослідження структури і фазового складу та магніторезистивних властивостей одно- і тришарових плівок на основі Fe і Ge. Аналіз процесів фазоутворення в плівкових системах Ge / Fe / SiO2 методом рентгенівської дифракції в інтервалі температур 100-600 К.
статья, добавлен 13.10.2016Вплив просторово-часової неоднорідності щільної плазми на її фізичні властивості. Методика емісійної і абсорбційної томографічної спектрометрії плазми на основі просторової модуляції випромінювання. Умови формування плазмових згустків у газі і вакуумі.
автореферат, добавлен 12.02.2014Дослідження спектрів пропускання аморфних плівок (As2S3)100-x(SbSI)x у залежності від умов експонування. Визначення значення ширини псевдозабороненої зони та показника заломлення плівок. Виявлення основних причин змін оптичних характеристик плівок.
статья, добавлен 30.01.2016Залежність структурних оптичних та фотокаталітичних характеристик плівок та порошків TiO2 і TiO2/Fe2O3 від умов одержання та ступеню полімеризації вихідного розчину. Вплив пороутворювача на реологічні властивості вихідних розчинів плівок оксиду титану.
автореферат, добавлен 28.08.2014Теоретична оцінка параметрів осадження компонентів пари на підкладку, оптимізація умов напилення шарів. Особливості впливу концентраційного профілю та хімічного складу елементів-модифікаторів на параметри тонкоплівкових структур на основі As2S3.
автореферат, добавлен 22.04.2014Вивчення питання установлення взаємозв'язку фізичних властивостей епітаксійних плівок ферит-гранатів (ЕПФГ) з технологічними факторами, що визначають синтез плівок з анізотропією типу "кутова фаза" на підкладках різної кристалографічної орієнтації.
автореферат, добавлен 24.06.2014Вивчення головних особливостей технології вирощування тонкоплівкового матеріалу осадженням з парової фази методом гарячої стінки. Дослідження температурних та концентраційних залежностей термоелектричних властивостей плівок і кристалів телуриду свинцю.
автореферат, добавлен 05.01.2014Фізичні основи технології створення низькорозмірних і об'ємних напівпровідникових структур та їх електричні, фотоелектронні та оптичні властивості. Розрахунок параметрів енергетичного спектра напівпровідникових чотирикомпонентних твердих розчинів.
автореферат, добавлен 24.06.2014- 85. Властивості йонно-модифікованих тонкоплівкових і багатошарових структур на основі елементів IV групи
Дослідження механізмів йонно-стимульованого формування структур з прихованими діелектричними та напівпровідниковими шарами. Вплив на особливості процесів формування і властивості багатошарових структур вуглецю, домішок кисню та механічних напружень.
автореферат, добавлен 12.02.2014 Розробка методики рентгенографічного дослідження напруженого стану та визначення періодів кристалічної гратки. Вивчення впливу фазового складу і структури на теплофізичні і фізико-механічні властивості, масо- та електроперенос в Ti-Zr-Ni квазікристалах.
автореферат, добавлен 25.07.2014Дослідження оптичних властивостей і структурно-фазового стану матеріалів у вихідному та опроміненому станах в залежності від параметрів опромінення. Вплив опромінення на оптичні властивості напівпровідникової сполуки GaAs з різним типом провідності.
автореферат, добавлен 28.08.2015Комплексне дослідження впливу температури підкладки, знаку та величини потенціалу зсуву, прикладеного до підкладки при осадженні, на структуру, склад та морфологію покриттів, що конденсуються. Процес росту покриттів на основі диборидів танталу та гафнію.
автореферат, добавлен 27.07.2015Вимірювання гравітаційних та кулонівських сил у глобально заряджених системах. Вивчення впливу далеких кореляцій на фізичні властивості випадкових динамічних систем. Дослідження взаємодії електронних пучків з біологічними та твердотільними структурами.
автореферат, добавлен 12.07.2015Розробка наукових основ та перспективних технологій отримання однорідних напівізолюючих нелегованих кристалів арсеніду галію. Створення люмінесцентного методу контролю локального абсолютного вмісту фонових домішок та їх розподілу у сполуках А3В5.
автореферат, добавлен 22.04.2014Дослідження впливу умов отримання та модифікації вуглецевих матеріалів на їх структурну досконалість, оптичні та механічні властивості. Вивчення полікристалічних алмазних та аморфних алмазоподібних плівок. Оцінка нанопористі вуглецевих композитів.
автореферат, добавлен 12.08.2014Вплив анізометрії форми наповнювачів на властивості та характеристики релаксаційних процесів в досліджуваних електролітних системах. Аналіз особливостей впливу природи нанонаповнювачів на структуру та властивості досліджуваних полімерних електролітів.
автореферат, добавлен 30.07.2015Встановлення та пояснення оптичних властивостей пористого кремнезему. Побудова моделей адсорбційних центрів на поверхні пор. Вивчення тонких металевих плівок, осаджених на поверхню кремнезему лазерним методом. Оптичні параметри осадженої плівки.
автореферат, добавлен 27.02.2014Дисертаційна робота присвячена дослідженню природи фотолюмінесценції, спектрів поглинання і відбиття, та фотопровідності органічних кристалів і плівок, які складаються з гетероциклічних похідних молекул карбазола, акридона, індола та фенатиазина.
автореферат, добавлен 28.07.2014Дослідження впливу дії високоенергетичних електронів на електрофізичні параметри мікрокристалів арсеніду індію. Математичне моделювання фізико-хімічних процесів легування напівпровідникових мікрокристалів в процесі їх вирощування донорною домішкою оловом.
автореферат, добавлен 26.07.2014Встановлення взаємозв'язку структури алмазних та алмазоподібних вуглецевих плівок з умовами осадження. Дослідження фоточутливості отриманих гетеропереходів в ультрафіолетовій області випромінювання. Практичне використання плівок в оптоелектроніці.
автореферат, добавлен 22.04.2014Закономірності і механізми руйнування крихких керамічних матеріалів при індентуванні. Фізичні принципи формування властивостей і управління механічною поведінкою композитів з керамічною матрицею у процесах ударної взаємодії і абразивного зношування.
автореферат, добавлен 29.08.2015Визначення руху глибокого рівня галію відносно країв дозволених зон під дією тиску. Проведення дослідження польових і температурних залежностей питомого опору твердих розчинів зі стабілізованим РФ в забороненій зоні. Виділення аномального ефекту Холла.
автореферат, добавлен 25.02.2015Аналіз розмірних ефектів у електрофізичних властивостях плівкових систем на основі дисперсних і нанокристалічних шарів. Вплив температури та деформації на питомий опір, коефіцієнт поздовжньої тензочутливості, сутність електроперенесення двошарових плівок.
автореферат, добавлен 24.07.2014Перенос і накопичення носіїв заряду в гетероструктурах Ge33As12Se55 - p-Si. Вплив на механічні властивості гетероструктур технологічних режимів одержання плівок, термообробки і високоенергетичного електронного опромінення. Оцінка параметрів осадження.
автореферат, добавлен 15.11.2013