Структура та фізичні властивості тонкоплівкових дифузійних бар’єрів W-Ti-N ТА TA-Si-N на підкладках арсеніду та нітриду галію
Дослідження структурних і фізичних властивостей реактивно-магнетронно розпилених плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, в залежності від вмісту азоту в розпилювальній плазмі. Взаємозв’язок між фізико-технологічними параметрами розпилення і властивостями тонких плівок.
Подобные документы
Розробка фізичних основ функціонування перетворювачів магнітного поля на основі епітаксійних плівок ферогранатів з напрямком спонтанної намагніченості, близьким до площини плівки, та способів одержання таких плівок з наперед заданими властивостями.
автореферат, добавлен 25.04.2014Встановлення залежності сили Казиміра від товщини плівок, плазмової частоти, частот об'ємної й поверхневої електронної релаксації, температури. Залежність сили казимірівського притягання тонкої металевої плівки від значення параметра дзеркальності.
автореферат, добавлен 04.03.2014Вивчення багатокомпонентних халькогенідів міді і срібла у масивних зразках, в тонких плівках. Фазоутворення у розрізах Cu2S-Ag2Se, Cu2S-Ag2Те, Cu2S-Cu2Se, Cu2S-Cu2Te, їх дослідження методами ДТА і рентгеноструктурного аналізу. Закономірності росту плівок.
автореферат, добавлен 23.11.2013Вивчення головних особливостей технології вирощування тонкоплівкового матеріалу осадженням з парової фази методом гарячої стінки. Дослідження температурних та концентраційних залежностей термоелектричних властивостей плівок і кристалів телуриду свинцю.
автореферат, добавлен 05.01.2014Встановлення зв'язку між параметрами йонної імплантації, зміною оптичних властивостей та приповерхневої структури систем "тонка металева плівка-піроелектрик". Методика розробки високоефективних піроелектричних приймачів інфрачервоного випромінювання.
автореферат, добавлен 30.07.2015Дослідження оптичних властивостей і структурно-фазового стану матеріалів у вихідному та опроміненому станах в залежності від параметрів опромінення. Вплив опромінення на оптичні властивості напівпровідникової сполуки GaAs з різним типом провідності.
автореферат, добавлен 28.08.2015Дослідження властивостей алмазоподібних плівок вуглецю. Вивчення прихованих шарів карбіду кремнію, синтезованих високодозовою імплантацією вуглецю в монокристалічний кремній. Механізми гетерування домішок та пасивації рекомбінаційно-активних центрів.
автореферат, добавлен 20.04.2014Взаємозв’язок між морфологією та ефективними оптичними параметрами композитних гетеросистем з нанорозмірними металевими та діелектричними складовими. Адсорбція молекул з газових середовищ. Використання способів та методів поляритонної еліпсометрії.
автореферат, добавлен 30.07.2015Оптимальні параметри для отримання алмазоподібних плівок в умовах електромагнітного опромінювання ростової поверхні. Механізми впливу випромінювання видимого і УФ-діапазонів на процеси росту і структуру плівок. Дія електромагнітного випромінювання.
автореферат, добавлен 29.09.2015Дослідження закономірностей у змінах структурних, електрофізичних, термо-, магніто- і тензорезистивних властивостей сильно легованих та компенсованих гетероепітаксійних плівок Ge. Умови експлуатації мікроелектронних приладів для екстремальної електроніки.
автореферат, добавлен 28.07.2014Встановлення взаємозв'язку структури алмазних та алмазоподібних вуглецевих плівок з умовами осадження. Дослідження фоточутливості отриманих гетеропереходів в ультрафіолетовій області випромінювання. Практичне використання плівок в оптоелектроніці.
автореферат, добавлен 22.04.2014Поняття та класифікація, поляризація діелектриків. Вплив зовнішніх факторів на діелектричну проникність. Формування діелектричних плівок на поверхні напівпровідникових пластин. Отримання шарів оксиду і нітриду кремнію, реактивне іонно-плазмове розпилення.
курсовая работа, добавлен 26.08.2016- 63. Структурні, магнітні та магніторезистивні властивості трикомпонентного плівкового сплаву Ni-Fe-Co
Експериментальні дослідження структурно-фазового стану, магнітних і магніторезистивних властивостей тонких плівок сплаву Ni-Fe-Co, що проявляють анізотропний магнітоопір, найбільше значення якого спостерігається при перпендикулярній геометрії вимірювання.
статья, добавлен 13.10.2016 Дослідження електро- та фотофізичних властивостей плівок напівпровідникових молекулярних композитів на основі полімерів і полікомплексів азобензолу і гетерополіядерних комплексів з координованими іонами металів. Здійснення голографічного запису.
автореферат, добавлен 30.07.2015Вивчення механізмів струмопереносу і фоточутливості плівок свинець сульфіду із різним потенційним рельєфом зон та впливу технологічних факторів на ці механізми. Розробка технології нанесення фоточутливих плівок на кремнієву підкладку зі схемами комутації.
автореферат, добавлен 07.01.2014Аналіз параметрів для отримання алмазоподібних плівок в умовах електромагнітного опромінювання ростової поверхні. Розрахунок швидкості росту плівок з урахуванням чинника електромагнітного опромінювання у моделях газофазного росту алмазоподібного вуглецю.
автореферат, добавлен 25.02.2015Аналіз структури, механізмів самовпорядкування в надтонких органічних плівках речовин на інтерфейсі рідина – тверде тіло. Фізичні властивості таких плівок (електронні, трибологічні, фазові переходи). Методика отримання субмоношарових і моношарових плівок.
автореферат, добавлен 28.09.2014Дослідження кінетики структурно-фазових перетворень і з’ясування механізму формування наночастинок кремнію в процесі термічного відпалу тонких плівок SiOx. Визначення впливу плазмової високочастотної обробки на характеристики ФЛ нанокомпозитів nc-Si-SiOx.
автореферат, добавлен 27.12.2015Фізичні принципи іонного розпилення нейтральних частинок певного сорту у діапазоні енергій первинних іонів. Розробка обладнання та методик для досліджень процесів іонного розпилення у широкому діапазоні енергій первинних іонів методом мас-спектрометрії.
автореферат, добавлен 18.07.2015Розробка стенду, який дозволяє одночасно вимірювати температурні залежності електричного опору (ЕО) та оптичного пропускання (ОП) плівок у ділянці температур 300-560 К. Аналіз температурних залежностей ЕО та ОП аморфних плівок системи сурма-селен.
статья, добавлен 30.08.2016Доцільність застосування анодного процесу формування плівок кадмію сульфіду з електроліту на основі органічного апротонного розчинника. Принципова технологічна схема способу одержання тонких полікристалічних стрічок CdS і CdTe електролітичним способом.
автореферат, добавлен 29.08.2015Застосування вольфраму і вуглецю як матеріалів першої стінки, що контактують із плазмою в термоядерному реакторі. Бомбардування вольфрамової плівки одночасно іонами палива та вуглецю середніх енергій. Вплив хімічної взаємодії на розпилення вольфраму.
автореферат, добавлен 30.08.2014Розробка наукових основ та перспективних технологій отримання однорідних напівізолюючих нелегованих кристалів арсеніду галію. Створення люмінесцентного методу контролю локального абсолютного вмісту фонових домішок та їх розподілу у сполуках А3В5.
автореферат, добавлен 22.04.2014Вплив низькотемпературних методів виготовлення плівок систем Cu-In-Se та CuInSe2-ZnSe на їх фазовий склад та структуру для потреб геліоенергетики. Методика осадження плівок ZnSe на поверхні альфа-CIS для буферних шарів плівкових сонячних елементів.
автореферат, добавлен 13.08.2015Розроблення синтезу мезопористих плівок цирконійвмісного ТіО2 темплатним методом з використанням хелатного стабілізуючого агенту ацетилацетону, що виступають фотокаталізаторами процесів відновлення біхромат-іонів у розчині пари аліфатичних спиртів.
автореферат, добавлен 14.09.2014