Моделирование интегрированного внутреннего упругого подвеса микромеханического устройства

Устройства с интегрированными в объеме или на поверхности твердого тела электронными и микромеханическими структурами. Интеграция микроэлектромеханических систем с оптическими компонентами. Технологический маршрут изготовления микромеханического зеркала.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.