Контактная фотолитография

Современные методы формирования межсоединений элементов на подложке полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Виды и этапы фотолитографии. Контактная схема экспонирования. Основные способы нанесения фоторезиста. Контроль качества литографии.

Подобные документы

  • Сущность процесса контактной точечной электросварки, ее основные параметры и схема. Анализ ультразвукового метода контроля сварных соединений. Выбор оптимального режима электроконтактной сварки труб. Расчет конструктивных параметров сварочной установки.

    контрольная работа, добавлен 14.01.2015

  • Создание производительных и дешёвых микросхем. Схема установки для экспонирования на эксимерном лазере. Снижение стоимости литографического процесса. Технология изготовления фотошаблонов и штампов. Требования по плоскопараллельности и бездефектности.

    реферат, добавлен 17.01.2018

  • Анализ получения полимерных периодических структур на основе акриловых мономеров и нанокомпозитов методом лазерной интерференционной литографии в УФ-отверждаемых композициях. Зависимость их характеристик от состава, условий экспонирования и обработки.

    статья, добавлен 30.11.2018

  • Ионные, электронные полупроводниковые материалы. Принцип действия термисторов, фотоэлементов. Изучение технологии производства полупроводниковых приборов. Фотоэлементы – устройства, использующие возникновение электрических зарядов под действием света.

    статья, добавлен 30.04.2019

  • Технология прямого экспонирования офсетных пластин. Пластины на основе галогенидов серебра для технологии прямого экспонирования форм. Основное достоинство серебросодержащих пластин, контроль их качества записи, а также рекомендации по использованию.

    контрольная работа, добавлен 10.05.2013

  • Конденсация и ионная бомбардировка как основные методы нанесения покрытий. Изучение структуры фазового состава и химических элементов в поверхностном слое режущего инструмента, после нанесения покрытия на основе молибдена вакуумно-плазменным методом.

    статья, добавлен 17.12.2019

  • Перечень требований к полупроводниковым подложкам. Характеристика монокристаллического кремния. Схема производственного процесса изготовления интегральных микросхем. Технология получения кремния полупроводниковой чистоты и формирования из него слитков.

    курсовая работа, добавлен 03.12.2010

  • Способы нанесения покрытия, выбор вида его толщины. Обоснование типа электролита для цинкования. Технологическая схема нанесения гальванопокрытий. Определение времени обработки деталей в ванне цинкования. Расчет производительности барабанного автомата.

    курсовая работа, добавлен 08.06.2015

  • Организация лабораторного практикума по технологии сварочного производства. Процесс осадки при стыковой контактной сварке оплавлением. Построение зависимости критериев качества формирования соединения от параметров сварки при заданных параметров стыка.

    статья, добавлен 02.11.2018

  • Характеристика системы управления качеством. Определение задач и функций службы технического контроля качества продукции. Виды и причины брака, способы его ликвидации и предупреждения. Методы технического контроля на примере шахты "Северопесчанская".

    курсовая работа, добавлен 19.04.2014

  • Принцип действия электродуговой сварки и ее виды: ручная, автоматическая под флюсом, электрошлаковая и в среде защитных газов. Сварка контактная (стыковая, точечная, шовная), газовая и резка металлов. Остаточные сварочные напряжения и деформация.

    реферат, добавлен 19.06.2014

  • Технохимический контроль производства, методы контроля качества сырья; входной контроль и контроль качества готовых изделий. Расчёт производственной рецептуры и выхода теста и хлебобулочных изделий. Подбор оборудования тестоприготовительного отделения.

    практическая работа, добавлен 28.09.2016

  • Физические основы лазерной обработки. Схема технологической лазерной установки. Лазерная резка металлов, деформация тонколистовых деталей при этом процессе. Экспериментальное исследование тепловых деформаций при обработке детали "Прокладка контактная".

    курсовая работа, добавлен 16.11.2017

  • Технология производства. Описание технологического процесса. Выбор параметров, подлежащих контролю и регулированию; первичных приборов, вторичных приборов и средств автоматизации. Функциональная схема автоматизации, принципиальная электрическая схема.

    реферат, добавлен 27.11.2012

  • Математическое моделирование процессов формирования изображения в ультрафиолетовой литографии. Морфологический анализ-синтез при поиске литографических технологических решений с последующим созданием устройств формирования изображений на фотошаблоне.

    диссертация, добавлен 28.12.2016

  • Виды, методы и способы измерений физических величин, классификация погрешностей. Обеспечение единства и точности измерительного процесса, условия введения поправок. Принцип работы динамометра. Классификация приборов для контроля качества продукции.

    реферат, добавлен 07.12.2016

  • Обзор процесса групповой обработки формирования структур как объекта управления. Разработка алгоритма системы управления технологическим процессом отжига при формировании структур. Моделирование травления при формировании топологии интегральных элементов.

    автореферат, добавлен 14.08.2018

  • Многоэлектродные машины контактной сварки, способы соединения ленты пояса крепления кабеля. Соединение электродов со сварочным аппаратом, разработка маршрутного технологического процесса. Методы расчета экономической эффективности линии точечной сварки.

    дипломная работа, добавлен 24.04.2017

  • Использование структур с пониженной размерностью как характерная особенность развития современной полупроводниковой электроники. Наличие люминесценции в видимой области спектра - одно из важных достоинств коллоидных полупроводниковых квантовых точек.

    статья, добавлен 07.08.2020

  • Способы нанесения металлов на поверхность керамической подложки деталей и изделий. Распространенные методы: холодное напыление металла, технология нанесения металлических покрытий "Димет", плазменное напыление. Сфера применения керамических покрытий.

    статья, добавлен 01.03.2019

  • Дуговая и контактная сварка - доминирующие способы соединения металлов. Отличительные черты электронно-лучевой, диффузионной и высокочастотной сварки. Обзор основных направлений компьютеризации инженерной деятельности в сварке и родственных технологиях.

    реферат, добавлен 15.12.2013

  • Современные технологии электронно-лучевой сварки в вакууме за счет расплавления кромок основного металла сфокусированным потоком электронов. Контроль качества сварных соединений, методы улучшения качества шва и повышения производительности процесса ЭЛС.

    реферат, добавлен 02.04.2017

  • Основные понятия и общие положения статистического контроля качества продукции: методы формирования партий и выборок промышленной продукции для контроля ее качества, определение объема выборок, план контроля, его характеристики и принципы его выбора.

    учебное пособие, добавлен 09.06.2014

  • Контроль качества с разрушением и без разрушения материала (заготовки, детали) в процессе производства акустических приборов. Эффективность неразрушающего контроля. Дефектоскопия как комплекс методов и средств неразрушающего контроля материалов и изделий.

    реферат, добавлен 27.05.2013

  • Основные последствия нарушения требований по нанесению теплопроводящей пасты. Исследование контакта основания силового модуля и радиатора. Зависимость теплового сопротивления от толщины слоя пасты, методы ее нанесения и контроль качества заполнения.

    лекция, добавлен 28.12.2011

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.