Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении
Проблема автоматизации известных методов оперативного контроля скорости осаждения покрытий в вакууме. Математическое моделирование планарной магнетронной системы распыления, электронно-эмиссионного датчика контроля скорости осаждения материала в вакууме.
Подобные документы
Нанесение пленок меди и хрома на диэлектрические подложки методом термического испарения в вакууме из резистивного испарителя. Оптимизация технологических процессов формирования проводящих слоев. Оценка в виде диаграммы срока службы испарителей.
статья, добавлен 14.01.2017Технология электронно-лучевой плавки и сварки металлов, её достоинства и недостатки. Определение типа конструкции стыка и качества шва. Прецизионная сварка в вакууме точных изделий и узлов для серийного производства. Схема наплавки слоев и тел вращения.
реферат, добавлен 22.12.2013Исследование методами просвечивающей электронной микроскопии и рамановской спектроскопии модифицированных висмутом пленок Ge2Sb2Te5, полученных путем ионно-плазменного высокочастотного распыления. Смещение положений между интенсивностями пиков.
реферат, добавлен 13.04.2017Процесс предварительной подготовки образцов для никелирования. Состав электролитов, использованных для осаждения никелевых покрытий. Свойства мелкодисперсного диоксида кремния. Оценка внешнего вида никелевых покрытий после коррозионных испытаний.
статья, добавлен 18.06.2018Изучение пневматического датчика контроля наличия пламени горелки, реализованного на основе дроссельных измерителей температуры. Создание помехозащищенного устройства в системе автоматической защиты теплоагрегата. Специфика автоматизации теплоагрегатов.
статья, добавлен 29.05.2021Характеристика сырья и готовой продукции. Описание технологического процесса и оборудования, режимов производства рукавной плёнки. Выбор методов контроля и технических средств автоматизации. Измерение температуры, давления и скорости вращения шнека.
реферат, добавлен 15.06.2015Основные направления автоматизации на многокоординатных центрах. Характеристика использования автоматизированного контроля износа инструмента и размерных цепей детали с применение специализированных систем измерения с датчиками контроля типа Renishaw.
дипломная работа, добавлен 02.03.2015Изучение контроля состояния конструкционного материала непосредственно при реализации технологического процесса обработки или эксплуатации (испытаний) в составе изделия посредством использования акустико-эмиссионного метода неразрушающего контроля.
статья, добавлен 31.08.2018Анализ существующих систем контроля качества стеклянных изделий применительно к задачам автоматизации контроля качества готовой продукции. Определение результатов экспериментальных исследований макета системы контроля качества с оптическим датчиком.
статья, добавлен 02.02.2019Расчет коэффициента трения алмазных покрытий, осажденных в плазме аномального тлеющего разряда. Эксплуатационная стойкость ножей при обработке ламинированных древесно-стружечных плит. Адгезия алмазных покрытий на твердосплавном дереворежущем инструменте.
статья, добавлен 29.11.2018Обеспечение контроля прохождения технологического процесса. Описание функциональной схемы автоматизации. Обоснование выбора приборов. Измерение и регулирование температуры, уровня, давления, расходов и скорости сушильно-ширильной-стабилизационной машины.
курсовая работа, добавлен 22.09.2017Определение скорости осаждения капель нефти и пропускной способности вертикального гравитационного сепаратора по газу. Расчет коэффициента гидравлического сопротивления напора по формуле Шифринсона. Определение теплообмена и расхода воды при прямотоке.
контрольная работа, добавлен 26.03.2018Моделирование подвижных клеточных автоматов как перспективный метод для изучения физико-механических характеристик гетерогенных материалов и систем средствами наноиндентирования. Описание методов моделирования разрушения тонких пленок и покрытий.
статья, добавлен 29.04.2018Описание технического процесса дробления руд, конвейер как объект автоматизации. Выбор параметров контроля и управления. Функциональная схема автоматизации и контроля производства. Разработка электрической принципиальной схемы для щита управления.
дипломная работа, добавлен 26.09.2011Изготовление, применение, свойства тонкоплёночных структур на основе оксида тантала. Технологическое и измерительное оборудование. Осаждение тонких пленок окиси тантала, их оптические спектры. Исследования вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик.
научная работа, добавлен 09.11.2018Критериальная модель дисперсного состояния смазочно-охлаждающих жидкостей. Кинетика осаждения механических примесей. Магнитная коагуляция шлифовального шлама. Грануляция шлама на поверхности фильтровального полотна. Моделирование техники применения СОЖ.
учебное пособие, добавлен 20.11.2013Направленная модификация поверхности. Вакуумно-плазменные методы получения функциональных покрытий. Особенности методов ВЧ распыления диэлектриков. Характеристики ВЧ магнетрона. Катодное распыление. Физические свойства покрытий, получаемых ВЧ распылением.
дипломная работа, добавлен 18.06.2014Анализ фактической природы формирования сигнала, соответствующей расходу и объему воды. Исследование составляющих методической и инструментальной погрешностей измерения. Разработка системы автоматизации контроля расхода жидкости через трубопроводы.
дипломная работа, добавлен 11.06.2018Повышение эффективности производственного цикла промышленных предприятий за счет комплексной автоматизации процессов контроля качества продукции и параметров техпроцессов. Программно-моделирующий комплекс гибридной системы поддержки принятия решений.
автореферат, добавлен 13.02.2018Изучение различия между процессами двух и трехфазной сепарации. Определение диаметра и высоты сепаратора. Расчет молекулярной массы смеси газов. Вычисление скорости осаждения капли воды в слое нефти. Вычисление гидравлического сопротивления аппарата.
курсовая работа, добавлен 12.04.2023Кинетические закономерности и механизм электроосаждения композиционного покрытия из метансульфонатного электролита. Подчинение кинетики соосаждения частиц дисперсной фазы модели, предложенной Гуглиельми. Контроль скорости процесса соосаждения частиц.
статья, добавлен 27.07.2016Выбор и обоснование параметров контроля и регулирования. Монтаж средств контроля и управления мехатронной системы. Разработка функциональной схемы автоматизации. Схема соединений внешних проводок. Расчёт питающего кабеля, аппаратуры управления и защиты.
курсовая работа, добавлен 11.03.2015Виды металлургических печей, особенности их автоматизации. Автоматизация процесса обжига концентрата в кипящем слое. Выбор систем автоматического контроля и регулирования. Характеристика систем контроля и регулирования технологических параметров печи.
курсовая работа, добавлен 16.04.2022Презентация химико-термической технологии нанесения покрытий хромом при изготовлении и восстановительном ремонте изношенных деталей сельскохозяйственной техники. Изучение взаимосвязи постоянных и импульсных форм тока осаждения на свойства покрытий.
статья, добавлен 19.12.2017Параметры, влияющие на физико-механические свойства нитрид-титановых покрытий. Методы физического осаждения покрытия. Способы поверхностного упрочнения тяжелонагруженных деталей, работающих при высоких температурах в условиях граничного и сухого трения.
статья, добавлен 27.05.2018