Елементи мікросистем на базовому матричному кристалі зі структурою "кремнiй-на-iзоляторi"

Конструктивно-технологічна оптимізація формування локальних тривимірних структур "кремнiй-на-iзоляторi". Розробка уніфікованого чутливого елемента ємнісно-резистивного типу з частотним виходом і керованою чутливістю для мікросистемних використань.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.