Высокочастотный индукционный разряд: условия горения, конструкция и область применения

Периодические разряды. Виды высокочастотных разрядов. Условия горения и конструкция ВЧ-индукционного разряда. Индуктивный разряд с внешним магнитным полем. Область их применения. Высокочастотные источники плазмы. Плазменные реакторы и источники ионов.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.