Коэффициенты распределения кислорода и углерода в реальных процессах роста мультикристаллического кремния

Кислород и углерод как основные примеси в кремнии, применяемом при производстве фотоэлектрических преобразователей. Определение начальных концентраций и коэффициентов распределения углерода и кислорода по высоте слитков мультикремния, легированного бором.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.