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15. Phase transformation in the annealed si-rich sinx films studied by raman scattering
Thermal treatment results in the formation of additional amorphous nanoclusters and in their crystallization with anneal temperature increasing. Nitride films annealed at 1200 °C contain crystalline Si clusters only. Characteristics of SiNx films.

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???????? ??????, добавлен 09.08.2012
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???????? ??????, добавлен 28.05.2012

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