Пленочные технологии
Физико-химические процессы формирования тонких пленок, методы их получения и базовые технологии пленочных структур элементов интегральных микросхем. Перспективные технологические методы создания наноструктур и элементов наноэлектронных устройств.
Подобные документы
Вакуумно-плазменные методы формирования пленочных структур из тугоплавких оксидов. Особенности снижения влагосодержания в пленках путем отжига и получения покрытий с малой пористостью при электронно-лучевом испарении мишени и лазерной обработке структур.
дипломная работа, добавлен 11.07.2016Особенности использования тонких пленок в современных интегральных устройствах и датчиках. Результаты молекулярно-динамического моделирования квазистатического деформирования тонких пленок меди в условиях циклического нагружения и одноосного растяжения.
статья, добавлен 29.10.2018Исследование процессов взаимодействия примесей и дефектов в технологии производства широкозонных полупроводниковых материалов. Электрооптические характеристики поликристаллических пленок. Управление процессами взаимодействия примесей в полупроводниках.
статья, добавлен 03.02.2018Экструзионный метод производства полимерных пленок. Производство рукавных и плоских пленок, их свойства. Методы получения комбинированных пленок. Влияние технологических параметров процесса получения на физико-механические свойства полимерных пленок.
реферат, добавлен 22.08.2011Обзор процесса групповой обработки формирования структур как объекта управления. Разработка алгоритма системы управления технологическим процессом отжига при формировании структур. Моделирование травления при формировании топологии интегральных элементов.
автореферат, добавлен 14.08.2018Лазерные технологии изготовления массивов микролинз с использованием материалов, обеспечивающих применение элементов, устройств, базирующихся на данных элементах, в мощных лазерных пучках. Анализ методик формирования микрорельефа на оптических материалах.
статья, добавлен 06.05.2018Рассмотрение механических, физических, химических способов обработки полупроводников. Технология создания интегральных микросхем. Требования к подложкам. Характеристика монокристаллов кремния и принципы его получения. Расчет технологических параметров.
курсовая работа, добавлен 28.05.2015Современные методы формирования межсоединений элементов на подложке полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Виды и этапы фотолитографии. Контактная схема экспонирования. Основные способы нанесения фоторезиста. Контроль качества литографии.
презентация, добавлен 29.05.2020Повышение точности пластин-подложек интегральных микросхем из кремния и сапфира и производительности технологических процессов. Параметры доводочных операций на этапах шлифовки и полирования. Отклонения детали при обработке пластин различных диаметров.
автореферат, добавлен 31.03.2018Основы термического вакуумного распыления. Особенности формирования тонких плёнок термовакуумным, ионным, молекулярно-лучевой эпитаксией, химическими и электрохимическими методами. Химические основы процесса получения эпитаксиальных плёнок кремния.
учебное пособие, добавлен 26.11.2013Изложение технологии осаждения тонких плёнок перспективных материалов для устройств фазовой памяти – халькогенидных стеклообразных полупроводников. Рассмотрение энергонезависимой памяти, основанной на фазовых переходах. Технология вакуумного нанесения.
статья, добавлен 25.03.2018Исследование влияния режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO. Назначение ионно-плазменного оборудования и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади.
реферат, добавлен 25.12.2020Характеристика технологии производства сплошных тонких слоев полимеров. Рассмотрение физико-механических свойств полимерных пленок. Определение основных сфер применения пластических материалов: полиэфира (ПЕТ), полиэтилена, поливинилхлорида (ПВХ).
доклад, добавлен 25.03.2015История возникновения. Основные определения наноматериалов. Их классификация и свойства. Физико-химические основы получения. Методы получение наноматериалов. Классы неорганических наноматериалов. Наноматериалы в технологии адсорбентов и катализаторов.
презентация, добавлен 17.03.2014Свойства пористого оксида алюминия как перспективного материала для создания наноструктур на основе самоформирования. Математическая модель ионного транспорта через пленку. Физико-химические процессы образование пор в пленке анодированного алюминия.
статья, добавлен 30.01.2018Основные определения наноматериалов. Их классификация, свойства и методы получения. Полупроводниковые, магнитные, молекулярные наноструктуры, двумерные многослойные структуры из пленок нанометровой толщины, фуллереноподобные и конструкционные материалы.
реферат, добавлен 26.03.2014Механизмы формирования микро- и наноструктур поверхностных слоев деталей при финишной абразивной обработке. Параметры процесса обработки, влияющие на формирование тонких поверхностных структур. Термическое и силовое воздействие на поверхность детали.
статья, добавлен 27.05.2018Физическая природа свойств твёрдых тел, диффузионные процессы в них. Фазовые диаграммы и твердые растворы. Структура интегральных микросхем. Основы ионного легирования и микроэлектроники. Изготовление пассивных элементов и монтаж навесных компонентов.
курс лекций, добавлен 11.08.2013Разработка способов получения индикаторных систем с высокой контрастностью и низким энергопотреблением, особенности золь-гель технологии. Использование прекурсоров на основе оксида вольфрама. Синтез ацетопероксовольфрамовой кислоты для получения пленок.
статья, добавлен 16.03.2019Важнейшие минеральные удобрения, их состав и виды в зависимости от растворимости. Физико-химические свойства и способы получения карбамида, его синтез с аммиаком и диоксидом углерода. Методы производства нитрата аммония, сульфата аммония и нитрата калия.
курс лекций, добавлен 22.11.2015Описание конструкции и работы индукционной тигельной печи. Физико-химические и технологические особенности процесса Характеристика оснастки и формовочных материалов. Модельная оснастка, формовочные материалы и смеси. Требования к шихтовым материалам.
дипломная работа, добавлен 26.05.2018Изучение структуры машиностроительного предприятия. Основы технологии сварочного производства. Процессы формирования неразъемных соединений. Методы сварки плавлением и давлением. Пайка разъемных стальных соединений. Дефекты и методы контроля качества.
отчет по практике, добавлен 23.09.2015Ориентированные массивы наностержней оксида цинка (ZnO) как перспективные базовые элементы широкого спектра устройств наноэлектроники и нанофотоники. Исследования лазерного синтеза при высоком давлении аргона массивов ZnO наностержней на сапфире.
статья, добавлен 30.05.2017Разработка новых способов получения функциональных продуктов питания. Современные технологические подходы при использовании ржаной муки и молочной сыворотки для производства крекера "Туристского", органолептические и физико-химические показатели.
статья, добавлен 24.08.2013Характеристика загрязнений сточных вод предприятий пищевой промышленности, методы их анализа. Анализ пригодности сточной воды для биологической очистки. Особенности плазмохимической технологии очистки сточных вод. Основные физико-химические методы.
курсовая работа, добавлен 01.10.2011