Формування нанорозмірних плівок Ti-O-N та Cr-O-N іонно-променевими методами
Створення діагностичних приладів для вимірювання параметрів пучків іонів і атомно-молекулярних потоків у вакуумному середовищі. Методика синтезу ультратонких суцільних плівок нітридів та оксинітридів металів з використанням іонно-променевого розпилення.
Подобные документы
Дослідження структурних і фізичних властивостей реактивно-магнетронно розпилених плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, в залежності від вмісту азоту в розпилювальній плазмі. Взаємозв’язок між фізико-технологічними параметрами розпилення і властивостями тонких плівок.
автореферат, добавлен 30.10.2015Закономірності формування іонно-плазмових покриттів системи Ti-W-B і вплив постконденсаційної обробки на їх фазовий склад, структуру, субструктуру й напружений стан. Структура таких покриттів стійка до відпалів і опромінення протонами з енергією 200 кеВ.
статья, добавлен 13.10.2016Систематичне експериментальне вивчення змін складу, структури та властивостей плівок систем Zr-B та V-B. Оцінювання умови формування та зростання конденсатів, які отримують за допомогою систем ІПР. Осадження високотвердих наноструктурних плівок.
автореферат, добавлен 28.07.2014Вивчення процесів утворення вуглецевих конденсатів при осадженні потоків активованих часток вуглецю (атомів, іонів, радикалів і іонізованих молекул). Одержання алмазоподібних і алмазних плівок, що мають необхідні властивості (механічні, оптичні).
автореферат, добавлен 22.07.2014Аналіз параметрів для отримання алмазоподібних плівок в умовах електромагнітного опромінювання ростової поверхні. Розрахунок швидкості росту плівок з урахуванням чинника електромагнітного опромінювання у моделях газофазного росту алмазоподібного вуглецю.
автореферат, добавлен 25.02.2015Дослідження структури та електрофізичних властивостей, ефекту Холла та магнітоопору в тонких магнітних плівках сплаву. Метод електронно-променевого випаровування, який застосовується при виготовленні плівок. Дослідження кристалічної структури зразків.
статья, добавлен 23.10.2010Дослідження процесів в іонно-плазмових системах при транспортуванні і нейтралізації іонних пучків малих і середніх енергій в поперечному магнітному полі. Підвищення ефективності використання систем. Розробка нових методів нейтралізації іонних пучків.
автореферат, добавлен 23.11.2013- 33. Особливості діелектричних властивостей та фазових діаграм сегнетоелектричних плівок та релаксорів
Проведене дослідження нанорозмірних ефектів основних діелектричних і полярних характеристик та фазових діаграм сегнетоелектричних плівок і релаксорних сегнетоелектриків. Досліджена залежність частоти м’якої моди коливань такої системи від товщини.
автореферат, добавлен 06.07.2014 Дослідження спектрів пропускання аморфних плівок (As2S3)100-x(SbSI)x у залежності від умов експонування. Визначення значення ширини псевдозабороненої зони та показника заломлення плівок. Виявлення основних причин змін оптичних характеристик плівок.
статья, добавлен 30.01.2016Залежність фазового складу стрічок від параметрів синтезу. Режими приготування однофазних квазікристалів. Методи рентгенівської дифрактометрії в досліджені структурного, напруженого стану, дефектності структури, властивостей ікосаедричних квазікристалів.
автореферат, добавлен 29.08.2015Встановлення загальних фізичних закономірностей процесів фокусування іонних пучків в імерсійних зондоформуючих системах мегаелектронвольтних енергій. Іонно-оптичні властивості зондоформуючої системи, особливості її складових. Методика матричного опису.
автореферат, добавлен 25.07.2014Критичні, резистивні та високочастотні властивості тонких епітаксійних надпровідних плівок. Особливості механізму росту плівок YBCO та утворення специфічної наноструктурної мережі дислокаційних меж доменів. Механізми протікання надпровідного струму.
автореферат, добавлен 10.08.2014Дослідження процесів випаровування й осадження речовини тіогалату цинку при одержанні тонких плівок. Побудова моделі росту конденсату тіогалату цинку на підкладках. Розкриття впливу термічної і лазерної обробки на структуру й оптичні параметри плівок.
автореферат, добавлен 24.02.2014Механізм формування підсистеми дефектів структури, обумовлених дією опромінення, легування та термічної обробки та її вплив на електричні властивості тонких моно- і полікристалічних плівок. Електрофізичні властивості тонких плівок халькоґенідів плюмбуму.
автореферат, добавлен 13.08.2015Аналіз кристалічної структури, електронних і коливальних спектрів конденсованих плівок С60, легованих молекулами кисню і атомами міді. Вплив радіаційних пошкоджень на розсіяння світла, фотолюмінесценцію і оптичну провідність плівок молекул фулеренів.
автореферат, добавлен 29.07.2014Оптимальні параметри для отримання алмазоподібних плівок в умовах електромагнітного опромінювання ростової поверхні. Механізми впливу випромінювання видимого і УФ-діапазонів на процеси росту і структуру плівок. Дія електромагнітного випромінювання.
автореферат, добавлен 29.09.2015Дослідження впливу різних методів напилювання на механізм росту, фазовий склад, структуру, кінетику росту і властивості нітридних плівок, отриманих на Si, Ni, Ti і на тугоплавких підкладках. Формулювання, аналіз та оцінка практичних рекомендацій.
автореферат, добавлен 28.07.2014Синтез та деякі властивості фулериту С60 у масивному та плівковому стані, перспективи застосування. Особливості структури тонких конденсованих плівок. Електронографічні та електронно-мікроскопічні методики дослідження теплового розширення тонких плівок.
автореферат, добавлен 28.07.2014Дослідження властивостей тонких багатокомпонентних плівок: епітаксійних плівок SiGe, Si-Ge-С, отриманих методом плазмохімічного осадження. Введення вуглецю в процесі іонної імплантації і його вплив на рівень механічних напружень в епітаксійних структурах.
автореферат, добавлен 20.04.2014Фазовий склад плівкових гранульованих сплавів. Моделі розмірних ефектів в електрорезистивних властивостях багатошарових плівок. Методи дослідження кристалічної структури, фазового та елементного складу. Фазовий стан одношарових плівок Co, Fe, Ag та Au.
диссертация, добавлен 08.11.2016- 46. Особливості структури та напруженого стану іонно-плазмових конденсатів вольфраму і карбіду вольфраму
Встановлення закономірностей формування структури і напруженого стану іонно-плазмових конденсатів вольфраму і карбіду вольфраму, області температурної стабільності їх структури і складу. Механізм фазових перетворень у конденсатах при відпалюванні.
автореферат, добавлен 22.04.2014 Фазовий склад і кристалічна будова плівок алюмінію, дослідження їх структурних характеристик і температурної залежності від електрофізичних властивостей. Розрахунок параметрів електроперенесення за лінеарізованою та ізотропною моделями Ательє і Тоссе.
статья, добавлен 23.10.2010Влив температури нітридизації, величини поруватості підкладок GaAs на кристалографічні, оптичні (комбінаційне розсіювання світла) властивості гетероепітаксійних плівок GaN. Залежність між величиною поруватості підкладок і типом кристалічної гратки плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Фазовий склад і структура плівок, вирощених із парової фази. Механізми деградації електричних властивостей плівки. Встановлення залежності типу провідності і концентрації носіїв струму. Аналіз профілів властивостей плівок різної структурної досконалості.
автореферат, добавлен 14.07.2015Способи нанесення вакуумних покриттів. Обґрунтування переваг методу іонно-плазмового напилення в умовах бомбардування. Класифікація катодних плям та їхнього впливу на величину ерозії катода. Типи магнітних фільтрів для зменшення частки крапельної фази.
статья, добавлен 30.05.2020