Изготовление биполярных интегральных микросхем
Технология изготовления полупроводниковых интегральных микросхем. Описание подложки, окисления, фотолитографии, диффузии, эпитаксия. Технологические операции планарно-эпитаксиальной технологии биполярных схем. Расчет топологии схемы и ее элементов.
Подобные документы
Рассмотрение механических, физических, химических способов обработки полупроводников. Технология создания интегральных микросхем. Требования к подложкам. Характеристика монокристаллов кремния и принципы его получения. Расчет технологических параметров.
курсовая работа, добавлен 28.05.2015Современные методы формирования межсоединений элементов на подложке полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Виды и этапы фотолитографии. Контактная схема экспонирования. Основные способы нанесения фоторезиста. Контроль качества литографии.
презентация, добавлен 29.05.2020Повышение точности пластин-подложек интегральных микросхем из кремния и сапфира и производительности технологических процессов. Параметры доводочных операций на этапах шлифовки и полирования. Отклонения детали при обработке пластин различных диаметров.
автореферат, добавлен 31.03.2018Физико-химические процессы формирования тонких пленок, методы их получения и базовые технологии пленочных структур элементов интегральных микросхем. Перспективные технологические методы создания наноструктур и элементов наноэлектронных устройств.
учебное пособие, добавлен 20.10.2014Изучение технологических процессов изготовления приборов и интегральных микросхем. Разделение полупроводниковых слитков на пластины, формирование фасок на кромках. Шлифование пластин свободным и связанным абразивом, доводка полированием и фотолитография.
курсовая работа, добавлен 11.07.2015Физическая природа свойств твёрдых тел, диффузионные процессы в них. Фазовые диаграммы и твердые растворы. Структура интегральных микросхем. Основы ионного легирования и микроэлектроники. Изготовление пассивных элементов и монтаж навесных компонентов.
курс лекций, добавлен 11.08.2013Перечень требований к полупроводниковым подложкам. Характеристика монокристаллического кремния. Схема производственного процесса изготовления интегральных микросхем. Технология получения кремния полупроводниковой чистоты и формирования из него слитков.
курсовая работа, добавлен 03.12.2010Фотолитография как один из основных технологических процессов в общем цикле изготовления большого количества полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Нанесение фоторезиста распылением с помощью форсунки - сущность метода пульверизации.
курсовая работа, добавлен 17.05.2022Основные технологические этапы изготовления кремниевых полупроводниковых приборов и соответствующие вопросы охраны окружающей среды, безопасности. Процесс окисления в высокотемпературных диффузионных печах. Пирофорное окисление под высоким давлением.
статья, добавлен 19.05.2009Использование полимерных материалов на основе эпоксидных, кремнийорганический и полиэфирных смол для герметизации полупроводниковых приборов. Анализ состояния и свойств поверхности полупроводников. Герметизация корпусов контактной роликовой сваркой.
курсовая работа, добавлен 06.12.2014Особенности технологии очистки полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Функциональные элементы оборудования для очистки, установка отмывки в водных растворах. Система контроля, управления и электропитания линий отмывки оптических деталей.
учебное пособие, добавлен 30.12.2015Особенность построения структурной и логической схем устройства. Анализ выбора серии интегральных микросхем. Избрание источника питания исходя из суммарной потребляемой мощности. Характеристика разработки печатной платы и корпуса механизма автоматизации.
курсовая работа, добавлен 10.01.2015Обзор процесса групповой обработки формирования структур как объекта управления. Разработка алгоритма системы управления технологическим процессом отжига при формировании структур. Моделирование травления при формировании топологии интегральных элементов.
автореферат, добавлен 14.08.2018Рассмотрение маршрута проектирования и верификации смешанных интегральных схем. Описание итеративного плана разработки на системном уровне блоков смешанного сигнала. Временная диаграмма работы блока при смешанном моделировании на транзисторном уровне.
статья, добавлен 28.10.2018Описание типовых технологических процессов изготовления валов, втулок, корпусных деталей, зубчатых колес и рычагов, и других деталей машин. Изучение схем типовых маршрутов изготовления и схем базирования. Особенности используемой технологической оснастки.
книга, добавлен 06.03.2010Определение термодинамической вероятности окисления элементов основы чугуна. Специфика реализация новой технологии изготовления стального порошка на основе диффузионного окисления порошка серого чугуна взаимодействием с железной окалиной при нагреве.
статья, добавлен 02.11.2018Разработка операционной технологии в условиях заданного производства. Расчет диаметральных припусков и размеров детали, режимов резания, оптимального варианта маршрута ее изготовления. Схемы базирования для различных видов обработки поверхности изделия.
дипломная работа, добавлен 21.09.2017Описание путей повышения эффективности действующего производства по изготовлению корпуса редуктора путем совершенствования существующей технологии. Разработка технологического процесса сборки изделия, изготовление детали, разработки технологических карт.
курсовая работа, добавлен 12.04.2014Разработка методики оценки качества микросхем по результатам физико-технической экспертизы. Диагностика по внешним выводам, контроль качества корпуса и сборочных операций. Требования к информационному обеспечению и тестовым структурам микросхем.
автореферат, добавлен 30.01.2018Обоснование целесообразности организации межоперационного контроля качества металлокерамических корпусов микросхем в условиях массового производства. Исследование процесса активации брака металлокерамических коммутационных плат и корпусов микросхем.
автореферат, добавлен 28.03.2018Разработка чертежа отливки и технологии изготовления отливки. Расчет технологической оснастки. Оборудование для изготовления литейных форм. Расчет режимов резания отливки. Основные технологические переделы получения отливок в разовые песчаные формы.
курсовая работа, добавлен 05.11.2011Описание типовых технологических процессов изготовления деталей машин, включающая характеристику валов, изготовление втулок, корпусных деталей, зубчатых колес. Схемы типовых маршрутов изготовления, базирования, используемая технологическая оснастка.
учебное пособие, добавлен 07.07.2009- 23. Разработка конструкции и технологии изготовления подвижного стола станка для торцовки пиломатериалов
Расчет и проектирование привода торцовочного станка. Разработка и описание кинематической схемы привода. Выбор подшипников качения. Технологический процесс изготовления детали "Шкив". Расчет припусков на механическую обработку. Выбор средств измерения.
дипломная работа, добавлен 09.11.2016 Измерительные схемы с использованием современных достижений микроэлектронной техники: микропроцессорных схем, твердых или полупроводниковых электрохимических элементов. Описание схемы автоматизации с обоснованием выбора приборов и технических средств.
реферат, добавлен 23.03.2015Полупроводниковые пластины и метод их получения. Основные сведения о технологических процессах изготовления п/п и микросхем. Калибровка слитков и разделение полупроводниковых слитков на пластины. Шлифование пластин свободным и связанным абразивом.
курсовая работа, добавлен 15.06.2015