Робастное управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии

Описание задачи построения робастного закона управления по выходу для системы со степенной нелинейностью. Регулирование температуры в быстрых термических процессах, характерных для газофазной эпитаксии. Применение метода последовательного компенсатора.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.