Механізми формування тонких плівок, отриманих різними методами іонно-плазмового осаджування
Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.
Подобные документы
Особливості кристалічної структури. Хімічні надпровідники. Методи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС. CVD-технології ВТНП та їх методи. Метод магнетронного напилення. Сквіди як сенсори енергії. Метрологія та квантова обробка інформації.
курсовая работа, добавлен 12.04.2010Аналіз температурних залежностей електропровідності тонких плівок металів. Розмірна залежність ефективного параметру електрон-фононної взаємодії. Тангенс кута нахилу експериментальних температурних залежностей опору для плівок Pd, Pt і Sc. Енергія фонона.
статья, добавлен 23.12.2016Дослідження процесів дефектоутворення та їх впливу на структуру та електричні властивості плівок селеніду свинцю. Характеристика механізмів фізичних процесів, що мають місце при вирощуванні плівок. Моделі атомних дефектів у тонких плівках селеніду свинцю.
автореферат, добавлен 27.07.2014Елементний склад і розподіл елементів по глибині для плівок SiOX у залежності від методу їх формування та механізми впливу технологічних параметрів отримання на їх властивості. Вплив домішки азоту на формування структур із кремнієвими нанокластерами.
автореферат, добавлен 26.09.2015Застосування вольфраму і вуглецю як матеріалів першої стінки, що контактують із плазмою в термоядерному реакторі. Бомбардування вольфрамової плівки одночасно іонами палива та вуглецю середніх енергій. Вплив хімічної взаємодії на розпилення вольфраму.
автореферат, добавлен 30.08.2014Встановлення фізичних закономірностей формування аморфної та мікрокристалічної структури в плівках Со-Р, отриманих при імпульсному електроосадженні. Встановлення залежності хімічних властивостей плівок Со-Р від структури та режимів імпульсного струму.
автореферат, добавлен 06.07.2014Краткие сведения о тонких пленках и основные процессы, происходящие при их формировании. Методы получения тонких пленок и сравнительные характеристики этих методов. Принципы действия и конструкции установок для магнетронного нанесения тонких пленок.
учебное пособие, добавлен 13.03.2016Оптимальні параметри для отримання алмазоподібних плівок в умовах електромагнітного опромінювання ростової поверхні. Механізми впливу випромінювання видимого і УФ-діапазонів на процеси росту і структуру плівок. Дія електромагнітного випромінювання.
автореферат, добавлен 29.09.2015Встановлення взаємозв'язку структури алмазних та алмазоподібних вуглецевих плівок з умовами осадження. Дослідження фоточутливості отриманих гетеропереходів в ультрафіолетовій області випромінювання. Практичне використання плівок в оптоелектроніці.
автореферат, добавлен 22.04.2014Оптичні властивості тонких плівок і керамік на основі оксидів вольфраму і вісмуту, особливості їх люмінесценції при різних видах збудження. Встановлення механізму випромінювання та дослідження характеристик центрів захоплення термоактиваційними методами.
автореферат, добавлен 25.06.2014Теоретичний розрахунок високочастотного відгуку вихорів та ролі розмірних ефектів у тонких надпровідних плівках при паралельній орієнтації зовнішнього сталого магнітного поля. Розрахунок впливу різних механізмів пінінгу вихорів на поверхневий імпеданс.
автореферат, добавлен 07.03.2014Поняття та класифікація, поляризація діелектриків. Вплив зовнішніх факторів на діелектричну проникність. Формування діелектричних плівок на поверхні напівпровідникових пластин. Отримання шарів оксиду і нітриду кремнію, реактивне іонно-плазмове розпилення.
курсовая работа, добавлен 26.08.2016Дослідження кристалічної структури, гальваномагнітних властивостей та доменної структури плівок сплаву Fe0,5-Ni0,5. Особливості використання такого сплаву у техніці для створення магнітопроводів, осердь електромагнітів, які є магнітом’яким матеріалом.
статья, добавлен 23.10.2010Встановлення залежності сили Казиміра від товщини плівок, плазмової частоти, частот об'ємної й поверхневої електронної релаксації, температури. Залежність сили казимірівського притягання тонкої металевої плівки від значення параметра дзеркальності.
автореферат, добавлен 04.03.2014Вплив азоту та потужності розряду на оптичні властивості алмазоподібних вуглецевих плівок, отриманих методом плазмово-стимульованого осадження з газової фази. Вплив ультрафіолетового та гамма-опромінення на властивості кремнієвих сонячних елементів.
автореферат, добавлен 12.07.2015Визначення факторів впливу на структуру і фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N і Ta-Si-N. Дослідження антидифузійних властивостей тонкоплівкових бар’єрів. Оптимізація технологічних основ отримання плівок, їх застосування в напівпровідникових системах.
автореферат, добавлен 27.08.2014Аналіз впливу режимів імпульсного струму на умови кристалізації міді. Дослідження структури і текстури мідних плівок, отриманих в імпульсних режимах електроосадження. Встановлення зв’язку між параметрами імпульсного струму та структурою мідних плівок.
автореферат, добавлен 12.02.2014Аналіз впливу режимів імпульсного струму на умови кристалізації міді. Дослідження структури і текстури мідних плівок, отриманих в імпульсних режимах електроосадження. Проведення дослідження фізичних властивостей багатошарових плівок мідь-нікель.
автореферат, добавлен 31.01.2014Дослідження впливу імплантації іонами фтору в дозовому інтервалі. Вивчення імпульсного лазерного випромінювання наносекундної тривалості на кристалічну та магнітну мікроструктуру ферит-ґранатових плівок. Механізм формування деформованого шару фтору.
автореферат, добавлен 29.08.2014Вивчення багатокомпонентних халькогенідів міді і срібла у масивних зразках, в тонких плівках. Фазоутворення у розрізах Cu2S-Ag2Se, Cu2S-Ag2Те, Cu2S-Cu2Se, Cu2S-Cu2Te, їх дослідження методами ДТА і рентгеноструктурного аналізу. Закономірності росту плівок.
автореферат, добавлен 23.11.2013Вивчення властивостей і технологічних параметрів стаціонарного проходження електричного струму між електродами у вакуумі. Розробка методів термоіонного напилення плівок і покриттів та їх застосування у розробці конкретних виробів мікроелектроніки.
автореферат, добавлен 05.01.2014Влив температури нітридизації, величини поруватості підкладок GaAs на кристалографічні, оптичні (комбінаційне розсіювання світла) властивості гетероепітаксійних плівок GaN. Залежність між величиною поруватості підкладок і типом кристалічної гратки плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Дослідження розподілу компонентів сполуки за площею плівок Cu2ZnSnSe4 методом рентгенівського характеристичного випромінювання індукованого сфокусованим протонним пучком з використананням ядерного скануючого мікрозонда з енергією пучка протонів 1,5 MеВ.
статья, добавлен 13.10.2016Напружений стан монокристалічних і текстурованих матеріалів. Аналіз стискаючих неоднорідно-розподілених по товщині іонно-плазмових плівок. Релаксація та формування пружних спотворень. Оптимізація технології отримання оболонок із заданими властивостями.
автореферат, добавлен 28.07.2014Особливості структури, фізико-хімічні та оптико-спектральні властивості люмінофорів. Особливості синтезу тонкоплівкових та керамічних сполук і аналіз їх кристалічної структури. Результати досліджень оптичних властивостей тонких плівок та монокристалів.
автореферат, добавлен 12.07.2015