Технология прямого сращивания пластин кремния с использованием химической сборки поверхности методом молекулярного наслаивания

Очистка и окисление пластин кремния. Физико-химические основы технологии газового скалывания. Разработка оборудования для имплантации ионов легких газов в подложки полупроводников большого диаметра. Модель Гезеля–Тонга связывания гидрофильных пластин.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.