Структура та фізичні властивості боридних плівок, отриманих ВЧ-магнетронним розпиленням
Систематичне експериментальне дослідження складу, структури і основних властивостей плівкових систем у залежності від умов розпилення. Аналіз впливу температури конденсації та величини високочастотного потенціалу зсуву на характеристики конденсатів.
Подобные документы
Дослідження структури та електрофізичних властивостей, ефекту Холла та магнітоопору в тонких магнітних плівках сплаву. Метод електронно-променевого випаровування, який застосовується при виготовленні плівок. Дослідження кристалічної структури зразків.
статья, добавлен 23.10.2010Закономірності впливу структури, умов вирощування і зовнішніх факторів (термічного відпалу, радіаційного опромінення, легування) на термоелектричні характеристики плівок телуриду свинцю та їх аналогів. Методика вимірювання теплопровідності тонких плівок.
автореферат, добавлен 11.11.2013Елементний склад і розподіл елементів по глибині для плівок SiOX у залежності від методу їх формування та механізми впливу технологічних параметрів отримання на їх властивості. Вплив домішки азоту на формування структур із кремнієвими нанокластерами.
автореферат, добавлен 26.09.2015Дослідження кристалічної структури, гальваномагнітних властивостей та доменної структури плівок сплаву Fe0,5-Ni0,5. Особливості використання такого сплаву у техніці для створення магнітопроводів, осердь електромагнітів, які є магнітом’яким матеріалом.
статья, добавлен 23.10.2010Фізична модель впливу тривалої витримки на повітрі і робочої температури на ефективність плівкових гетероструктур на основі базових шарів CuIn0,7Ga0,3Se2. Методика експериментального дослідження фотоелектричних процесів у плівкових гетероструктурах.
автореферат, добавлен 06.07.2014Одержання методом реактивного магнетронного розпилення плівок різних фаз оксиду. Дослідження будови та мікроструктури плівок Bi2O3 за допомогою рентгенофазового аналізу, оптичної та електроннооптичної мікроскопії і специфіка їх температурної стабільності.
автореферат, добавлен 29.07.2014Комплексне теоретичне та експериментальне дослідження структурних і електрофізичних характеристик багатофазних шаруватих систем на основі кремнію, а також впливу віддзеркалювальних шарів на властивості фотоперетворювальних і транзисторних композицій.
автореферат, добавлен 23.11.2013Селективні процеси при структуроутворенні конденсатів слабкопересичених парів металів, що мають суттєво різні температури плавлення, коефіцієнти іонного розпилення, тиск насичених парів. Вплив на процес алмазоутворення малих концентрацій титану.
автореферат, добавлен 28.08.2014Загальні закономірності процесів деформації Ni, Mn та Ga. Монокристалічна структура плівкових феромагнітних речовин. Температурні залежності коефіцієнтів пружності аустеніту. Роль індукованих деформацій у перетворенні магнітних властивостей сплаву.
автореферат, добавлен 27.09.2014Дослідження властивостей тонких багатокомпонентних плівок: епітаксійних плівок SiGe, Si-Ge-С, отриманих методом плазмохімічного осадження. Введення вуглецю в процесі іонної імплантації і його вплив на рівень механічних напружень в епітаксійних структурах.
автореферат, добавлен 20.04.2014Дослідження фазового складу, кристалічної структури і дифузійних процесів системи Nі/Fe та Cr/Fe та інтерфейсного шару, який утворюється при формуванні плівкової системи та має визначальне значення у формуванні електрофізичних властивостей зразку.
автореферат, добавлен 22.07.2014Морфологія, структура та хімічний склад одержаних зразків залежно від фізико-технологічних умов конденсації для з’ясування впливу цих особливостей плівок на їх електрофізичні характеристики. Порівняння експериментальних даних з результатами моделювання.
автореферат, добавлен 28.09.2015Фазовий склад і кристалічна будова плівок алюмінію, дослідження їх структурних характеристик і температурної залежності від електрофізичних властивостей. Розрахунок параметрів електроперенесення за лінеарізованою та ізотропною моделями Ательє і Тоссе.
статья, добавлен 23.10.2010Дослідження нанорозмірної субструктури металів. Механізми впливу вакуумного осадження на механічні властивості ГЦК-металів. Дослідження дисипативних властивостей, температурна залежність субструктури зерен та величини мікротвердості конденсатів.
автореферат, добавлен 29.07.2015Розробка методики рентгенографічного дослідження напруженого стану та визначення періодів кристалічної гратки. Вивчення впливу фазового складу і структури на теплофізичні і фізико-механічні властивості, масо- та електроперенос в Ti-Zr-Ni квазікристалах.
автореферат, добавлен 25.07.2014Визначення впливу дефектної структури на характеристики міцності і термічної стабільності АМС типу метал-металоїд. Дослідження температурних залежностей мікротвердості матеріалу різного складу. Структура високотемпературної надпровідної композиції.
автореферат, добавлен 05.01.2014Вивчення процесів утворення вуглецевих конденсатів при осадженні потоків активованих часток вуглецю (атомів, іонів, радикалів і іонізованих молекул). Одержання алмазоподібних і алмазних плівок, що мають необхідні властивості (механічні, оптичні).
автореферат, добавлен 22.07.2014Дослідження неперервного і переривчастого режимів конденсації, що самоорганізуються поблизу фазової рівноваги. Аналіз причин утворення фрактальної структури в результаті ієрархічної конденсації та опис ходу її реалізації в рамках статистичного подання.
автореферат, добавлен 30.07.2015Теоретичне дослідження та аналіз температурної залежності питомого опору і температурного коефіцієнта опору двошарових плівок Ni/Cr, Ti/Cu та Al/Ni як у процесі термостабілізації електрофізичних властивостей, так і після завершення твердофазних реакцій.
статья, добавлен 26.10.2010Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.
автореферат, добавлен 22.04.2014Встановлення основних закономірностей впливу технологічних режимів напилення і температурної обробки на фізичні параметри та оптичні характеристики (питомий опір) твердих розчинів диселеніду індію та галію, а також прозорих провідних оксидів металів.
автореферат, добавлен 29.07.2014Моделювання розвитку каскадів атомних зіткнень в нанорозмірній області. Залежність процесу розпилення від структури поверхневого кластера. Модельні значення коефіцієнтів розпилення. Оцінка впливу вибору потенціалу міжатомної взаємодії на результати.
автореферат, добавлен 29.09.2014Фазовий склад і процеси взаємної дифузії у двошарових плівкових системах, які є фрагментами спін-вентильних структур. Коефіцієнти конденсаційно-стимульованої та термічної дифузії. Магніторезистивні та магнітооптичні властивості плівкових систем.
автореферат, добавлен 09.04.2016Процес фізичної деградації епітаксіальних плівок при тривалому атмосферному зберіганні, в результаті корпускулярної і фотонної дії в лабораторних умовах і в навколоземному космічному просторі (НКП). Можливість експлуатації плівкових об’єктів в умовах НКП.
автореферат, добавлен 15.11.2013Дослідження фазового складу структури, фазових перетворень, фізичних властивостей перовскітів із застосуванням електричних та магнітних полів, рентгеноструктурного аналізу, електронної мікроскопії. Теоретичні моделі для точкових і протяжних дефектів.
автореферат, добавлен 24.02.2014