Разработка и исследование технологических основ формирования легированных анодных пленок диоксида кремния
Изучение кинетики анодного окисления кремния и его соединений в легирующих электролитах. Анализ степени влияния связных добавок на состав, строение и свойства пленок анода диоксида силиция. Создание элементов кремниевых приборов и интегральных микросхем.
Подобные документы
Механизм анодного окисления кремния. Влияние толщины плёнки на её электрофизические свойства. Создание структур "кремний на изоляторе", измерение методом эллипсометрии. Исследование электрофизических свойств структур в условиях анодного окисления.
дипломная работа, добавлен 15.10.2013Исследовано влияние концентрации водорода в газовой смеси на электрические и оптические свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных магнетронным методом. Совершенствование магнетронного метода получения кремниевых пленок.
реферат, добавлен 24.10.2010Исследование морфологии пленок Al и ХСП на пористых, кристаллических подложках. Изучение особенностей релаксации напряжений в исследуемых структурах и происходящих процессов модификации поверхности пленок теллурида свинца при обработке в аргоновой плазме.
автореферат, добавлен 02.08.2018Снижение себестоимости газовых датчиков на основе пленок диоксида олова за счет использования в качестве токопроводящих покрытий алюминия. Исследования влияния режимов работы на морфологию поверхности и кристаллическую структуру пленочных гетеросистем.
статья, добавлен 13.10.2016Разработка метода выращивания мультикристаллического кремния с данными свойствами на основе металлургического кремния высокой чистоты для создания физических основ промышленной технологии получения мультикристаллического кремния для солнечной энергетики.
автореферат, добавлен 26.07.2018Разработка систем на основе энергии Солнца. Преимущества и недостатки технологии тонкопленочных солнечных элементов из аморфного гидрогенизированного и микрокристаллического кремния. Методы получения пленок. Повышение конкурентоспособности фотовольтаики.
статья, добавлен 15.06.2018Изучение метода резистивного испарения металлов, нахождение скорости осаждения и определение основных электрофизических характеристик получаемых пленок. Рассмотрение электрических свойств пленок и процессов их формирования. Вакуумный универсальный пост.
курсовая работа, добавлен 19.09.2016Изучение молекулярно-лучевой эпитаксии кремния, кристаллизации пленки путем испарения кремния на подложку в сверхвысоком вакууме. Анализ методов получения захороненных слоев, способов очистки поверхности кремния с помощью системы дифракции электронов.
курсовая работа, добавлен 07.06.2011Современная тенденция к миниатюризации. Классификация, характеристика и основные свойства нанообъектов. Особенности наночастиц диоксида кремния и наночастиц оксида цинка. Сущность и специфика компьютерной микроэлектроники. Понятие молекулярных роторов.
реферат, добавлен 29.03.2019Метод для изготовления трехмерного кремниевых наноструктур на основе выборочного формирования пористого кремния. Изобретение 2D/3D кремниевых фотонных кристаллов. Изучение их структуры полосы и сопряжение градиента частного Рейли в основании волны.
статья, добавлен 17.11.2015Влияние лазерного вещества на конструкцию фотоэлемента из тонких пленок оксида цинка, аморфного кремния на стекле. Моделирование рекристаллизации в твердофазном состоянии. Взаимодействие поверхности кремния при воздействии импульсного лазерного излучения.
статья, добавлен 30.07.2017Разработка оптимальных физико-технологических условий роста пленок теллурида цинка. Описание стационарных характеристик при выращивании разными методами: жидкофазной эпитаксии и вакуумного напыления. Процесс изучения влияния примесей алюминия и лития.
автореферат, добавлен 29.08.2013Изучение результатов по получению двумерных структур макропористого кремния. Исследование фотофизических процессов в нанопокритии элемента. Проводимость и поглощение спектра макропористого кремния. Функциональные возможности болометрического материала.
статья, добавлен 18.03.2014Конструктивно-технологические варианты изготовления кремниевых солнечных элементов наземного назначения. Реализация кратковременной технологии термофотонной и лазерной обработки пластин "солнечного" кремния. Механизм пролёта базы фотопреобразователя.
статья, добавлен 28.09.2016Анализ оптической плотности пленок Zn0,99Mn0,01O при температурах Т = 78К и 300К. Сравнение спектров фотолюминесценции и оптической плотности пленок. Анализ спектра магнитного кругового дихроизма пленки Zn0,99Mn0,01O дополнительно легированной азотом.
статья, добавлен 22.06.2015Исследование фазового состава пленок сплавов на основе железа и кобальта, выращенных магнетронным и вакуумным напылением. Влияние термообработок на метастабильные состояния и магнитные свойства пленок металлов. Особенности атомного упорядочения веществ.
автореферат, добавлен 02.03.2018Понятие и содержание метода пульверизации, его недостатки. Определение поверхностного сопротивления пленок. Методы осаждения прозрачных проводящих покрытий из газовой фазы. Разработка технологии получения пленок ITO реактивным магнетронным распылением.
курсовая работа, добавлен 13.12.2019Основные характеристики сегнетоэлектриков с точки зрения динамики решетки. Факторы, влияющие на динамику в гетероструктурах на основе наноразмерных пленок. Оценка влияния толщины пленок на параметры элементарной ячейки. Принципы переключения поляризации.
учебное пособие, добавлен 08.09.2015- 19. Эффекты влияния высоких давлений в наноразмерных порошковых системах на основе диоксида циркония
Исследование влияния высоких гидростатических давлений на дисперсные системы на основе диоксида циркония. Характеристика процесса прессования аморфных нанопорошков. Анализ гидростатического давления на степень тетрагонально-моноклинного превращения.
статья, добавлен 26.03.2016 Методы измерения проводимости и ее температурной зависимости. Исследование влияния адсорбированного кислорода на электрические свойства пленок производных фталоцианина. Модель многоуровневого прыжкового переноса электронов. Методика ионной имплантации.
автореферат, добавлен 19.08.2018Молекулярное моделирование пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе стеаратных комплексов La(III) и изучение их свойств. Свойства пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе стеаратных комплексов РЗЭ. Анализ метода молекулярной механики. Приближение силового поля ММ+.
курсовая работа, добавлен 21.01.2016Разработка оптического сенсора с заданными свойствами, имеющего взрывобезопасное исполнение, которое достигается применением оптической схемы измерения. Анализ чувствительности и селективности элементов на основе газохромных пленок WO 3 /Pd и NіOOH.
статья, добавлен 29.07.2016Исследование рентгеноструктурных параметров твердых растворов диоксида ванадия с железом, изменений параметров кристаллической решетки с изменением состава образцов. Стабилизация свойств диоксида ванадия, легирование его некоторыми переходными металлами.
статья, добавлен 24.03.2019Разработка оптического сенсора для определения концентраций Н2 и СО в смеси с воздухом. Анализ и оценка высокой чувствительности и селективности оптических элементов на основе газохромных пленок WO 3 /Pd и NіOOH. Предпосылки изменения пропускания света.
статья, добавлен 29.07.2016Эксперименты по нанесению тонких пленок ITO. Изучение возможности использования прозрачных проводящих пленок оксида индия и олова, получаемых методом электронно-лучевого напыления, в качестве контактного материала для отражающего контакта к слою p-GaN.
статья, добавлен 05.11.2014