Исследование размеров силицидов кобальта методом модуляции излучения

Измерение размеров силицидов кобальта, образующихся при диффузионном легировании кремния атомами кобальта методом малоуглового рассеяния излучения лазера. Специфика образования силицидов кобальта размерами 0,8-30 мкм в приповерхностной области кремния.

Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.