Структурні зміни в пористому кремнії після іонної імплантації фосфором
Розробка пристроїв для реалізації схеми двокристального спектрометру. Оцінка структурних змін і параметрів можливих дефектів в імплантованих фосфором приповерхневих шарах пористого кремнію. Дослідження будови поверхні методом атомно-силової мікроскопії.
Подобные документы
Вивчення електронних, адсорбційних властивостей напівпровідникових матеріалів з кластерними структурами, які можуть бути отримані при легуванні поверхні, іонній імплантації атомами важких металів, а також при анодному травленні кристалічного кремнію.
автореферат, добавлен 05.01.2014Особливості дефектоутворення у вихідному монокристалічному та епітаксіальному кремнію. Аналіз причин деградації параметрів кремнієвих польових МОН- та pin-фотоприймальних систем. Огляд механізмів впливу дефектів на електрофізичні характеристики струму.
автореферат, добавлен 14.07.2015З’ясування причин анізотропії віддзеркалення електронів проводимості від реальної поверхні вольфраму з орієнтацією. Розробка методів літографічної модифікації поверхні Si у надвисокому вакуумі. Методика отримання надгострих вольфрамових вістрів.
автореферат, добавлен 18.11.2013Виявлення і дослідження зміни мікромеханічних, електрофізичних характеристик і наноструктури кристалів кремнію при впливі магнітного поля. Аналіз особливостей зміни мікротвердості кристалів кремнію при довготривалій дії слабких постійних магнітних полів.
автореферат, добавлен 30.07.2015Дослідження формування домінуючих станів кисню, що утворюються в кремнії при одночасній дії радіації та високої температури. З’ясування впливу важких ізовалентних домішок олова і свинцю на ефективність формування індукованих станів кисню в кремнії.
автореферат, добавлен 29.09.2014Систематичне дослідження фізичної природи змін структури та фізико-хімічного стану поверхні і приповерхневої області аморфних стрічок. Стан багатокомпонентних магнітом'яких сплавів після температурних, магнітно-польових і деформаційних зовнішніх впливів.
автореферат, добавлен 25.07.2015Вплив спотворень на величину і поведінку інтегральної відбиваючої здатності. Закономірності дифракції рентгенівських променів на масивних реальних кристалах кремнію для розвитку представлень про вплив структурних спотворень на параметри дифракції.
автореферат, добавлен 23.02.2014Механізми впливу температури на накопичення радіаційних дефектів. Особливості впливу радіаційних дефектів на рекомбінаційні властивості опроміненного кремнію. Взаємодія вибитого радіацією міжвузловинного атома з акустичними та оптичними фононами.
автореферат, добавлен 29.08.2015Вплив кристалографічної орієнтації монокристалічного кремнію на квантовий вихід фотолюмінесценції поруватого кремнію в процесі анодизації. Механізми струмопереносу та випромінювальної рекомбінації. Особливості характеристик електролюмінесценції.
автореферат, добавлен 29.08.2014Дослідження зміни мікромеханічних властивостей кремнію під впливом слабкого постійного магнітного поля. Вплив зовнішніх факторів (рентгенівського опромінення, водних, хімічних розчинів) на характер релаксації магнітомеханічного ефекту в кристалах кремнію.
автореферат, добавлен 27.08.2014- 61. Енергорушійна установка для космічного апарату дистанційного геофізичного дослідження поверхні Землі
Розрахунок балістичних параметрів орбіти КЛА, необхідних тягових параметрів рушійної установки, основних параметрів СПД та розробка енергоустановки. Вибір та обґрунтування способу отримання заготовки. Розробка маршрутного технологічного процесу.
дипломная работа, добавлен 18.12.2012 Визначення часових меж процесів, що відбуваються під час нагрівання кристалів у відновлювальній атмосфері і після зміни атмосфери відпалу. Вплив атмосфери відпалу на складові кристалів LiNbO3, кореляція змін структурних і оптичних властивостей.
автореферат, добавлен 12.07.2015Роль речовин, розташованих на поверхні кремнієвих кристалітів, у процесах збудження червоної смуги фотолюмінесценції (ФЛ). Вплив морфології пористих шарів на процеси збудження ФЛ. Хімічний склад пористих шарів та його впливу на процеси збудження.
автореферат, добавлен 23.11.2013Проблема відтворення рельєфу та структурних параметрів поверхні твердого тіла методами рефлектометрії, що базуються на явищі повного зовнішнього відбивання Х-променів. Вплив параметрів рельєфу і обробки поверхні на інтегральні та диференційні криві ПЗВ.
автореферат, добавлен 28.06.2014Одержання методом реактивного магнетронного розпилення плівок різних фаз оксиду. Дослідження будови та мікроструктури плівок Bi2O3 за допомогою рентгенофазового аналізу, оптичної та електроннооптичної мікроскопії і специфіка їх температурної стабільності.
автореферат, добавлен 29.07.2014Огляд фізичних властивостей домішок Mn у GaAs, домішкових і вакансійних дефектів у політипах SiC і парамагнітних дефектів у поруватому кремнії і кремнієвих матеріалах, в яких утворюються нанокристаліти. Електронна структура домішок і дефектів у кристалах.
автореферат, добавлен 28.10.2015Розрахунки температурного поля, розподілу деформації і термічних напружень у зоні лазерної плями на опроміненій поверхні GaAs. Порогова густина оптичної енергії лазерного випромінювання. Розподіл інтенсивності опромінювання при дифракції від екранів.
автореферат, добавлен 29.08.2015Розробка методики для контролю геометричного стану слабкорельєфної поверхні підкладинок методом багатокутової еліпсометрії. Дослідження чутливості еліпсометричного методу до визначення геометричних і оптичних параметрів квантово-розмірних структур.
автореферат, добавлен 23.02.2014Програма розрахунку кінетичних коефіцієнтів напівпровідників. Енергетичне положення міжвузлового типу дефектів у забороненій зоні кремнію. Параметри кластерів дефектів, утворених нейтронами, протонами, 50 МеВ електронами в бінарних напівпровідниках.
автореферат, добавлен 28.08.2015Розроблення схеми живлення і керування силовими електромеханічними ударними системами пресового обладнання легкої промисловості. Регулювання вихідних параметрів двигуна для якісного виконання технологічної операції. Вибір силової схеми перетворювача.
статья, добавлен 30.07.2021Автоматизоване схемотехнічне проектування пристроїв силової електроніки за допомогою функціонально-логічних макромоделей на основі програмовних залежних джерел і модульованих опорів. Використання єдиної формалізованої методики побудови макромоделей.
автореферат, добавлен 25.06.2014Розгляд результатів експериментальних та теоретичних досліджень з проблеми фазоутворення. Дослідження параметрів термічного крипу у високотемпературному надпровіднику. Закономірності формування та змін сили пінінгу та параметрів магнітного потоку.
автореферат, добавлен 28.06.2014Методи високоефективної плазмової нетермічної обробки поверхні діелектричних матеріалів, використання імпульсних високовольтних газових розрядів. Розробка пристроїв генерації плазми, вимірювання її властивостей та обробка поверхні для здійснення процесів.
автореферат, добавлен 26.08.2014Обґрунтування особливостей визначення теплових та вібраційних параметрів електричних машин за умови наявності дефектів основних конструктивних вузлів та елементів. Удосконалення існуючих та розробка нових методів та моделей надійності на їх основі.
статья, добавлен 19.02.2016Аналіз залежності фотопровідності від швидкості поверхневої рекомбінації за різних радіусів пор та середніх відстаней між ними. Дослідження впливу неоднорідності розмірів пор на фотопровідність поруватого кремнію. Виготовлення сенсорних пристроїв.
статья, добавлен 10.12.2016