Технология тонких пленок и наногетероструктур
Ознакомление с принципами работы нанооборудования. Методика проведения экспериментов на установке молекулярного наслаивания TFS-200. Исследование процессов получения наногетероструктур, термического и атомно-слоевого осаждения диэлектриков на пластины.
Подобные документы
Особенности использования тонких пленок в современных интегральных устройствах и датчиках. Результаты молекулярно-динамического моделирования квазистатического деформирования тонких пленок меди в условиях циклического нагружения и одноосного растяжения.
статья, добавлен 29.10.2018Изложение технологии осаждения тонких плёнок перспективных материалов для устройств фазовой памяти – халькогенидных стеклообразных полупроводников. Рассмотрение энергонезависимой памяти, основанной на фазовых переходах. Технология вакуумного нанесения.
статья, добавлен 25.03.2018Образование и рост островковых тонких пленок. Устройство малогабаритной вакуумной установки модульного типа. Термическое испарение и магнетронное распыление. Исследование полученных структур меди на подложке с помощью атомно-силового микроскопа.
научная работа, добавлен 02.05.2019Оборудование для термического окисления. Характеристика термических пленок SiO2. Скорость травления в буферном растворе. Воспроизводимые свойства использования реакторов пониженного давления. Особенности роста тонких и толстых пленок двуокиси кремния.
курсовая работа, добавлен 25.03.2014Проблема автоматизации известных методов оперативного контроля скорости осаждения покрытий в вакууме. Математическое моделирование планарной магнетронной системы распыления, электронно-эмиссионного датчика контроля скорости осаждения материала в вакууме.
автореферат, добавлен 10.08.2018Характеристика основных требований, которые предъявляются к технологическому процессу осаждения тонкопленочных покрытий. Расчет приращения емкости сетчатого конденсатора за счет осаждаемого материала в случае увеличения площадок под ячейками сетки.
автореферат, добавлен 10.08.2018Экструзионный метод производства полимерных пленок. Производство рукавных и плоских пленок, их свойства. Методы получения комбинированных пленок. Влияние технологических параметров процесса получения на физико-механические свойства полимерных пленок.
реферат, добавлен 22.08.2011Получение тонких пленок ZnO удовлетворительного качества. Исследование влияния импульсного магнитного поля на их структуру и электрические свойства. Анализ морфологии и структуры полученных пленок, определение их толщины и электрических характеристик.
дипломная работа, добавлен 18.07.2020Свойства пленок нитрида кремния. Электронная структура нитрида кремния. Способы получения пленок нитрида кремния. Высокотемпературные акустические приемники. Датчик газового анализатора. Применение тонких пленок нитрида кремния в микроэлектронике.
курсовая работа, добавлен 06.10.2019Основные преимущества поливинилиденфторида, технология получения и применение. Изучение пьезоэлектрических свойств. Способы формирования кристаллитов. Анализ структуры пленок при одноосном растяжении. Исследование параметров при ориентационной вытяжке.
статья, добавлен 29.01.2015Оборудование и методы осаждения вещества. Газофазная эпитаксия - процесс осаждения эпитаксиальных слоев из газовой фазы. Конструкция камер для газофазного наращивания. Достоинства метода эпитаксиального наращивания. Получение поликристаллического кремния.
реферат, добавлен 12.01.2016Нанесение пленок меди и хрома на диэлектрические подложки методом термического испарения в вакууме из резистивного испарителя. Оптимизация технологических процессов формирования проводящих слоев. Оценка в виде диаграммы срока службы испарителей.
статья, добавлен 14.01.2017Общее представление об углероде. Исследование фазового перехода алмаз-графит. Характеристика пленок аморфного углерода. Особенности и технология напыления углеродных алмазоподобных пленок при помощи автоматизированной импульсной лазерной установки.
курсовая работа, добавлен 01.04.2013Ознакомление с основными способами получения низких температур. Характеристика и анализ устройства и работы поршневого компрессора, применяемого в холодильной установке предприятия. Исследование особенностей рефрижераторного транспорта по назначению.
контрольная работа, добавлен 07.01.2015Моделирование процессов СВЧ сушки тонких диэлектрических материалов в камерах с бегущей волной с поперечным взаимодействием для достижения необходимого качества термообработки (требуемой температуры и влажности) и выбора оптимальных параметров установки.
статья, добавлен 23.02.2019Свойства тонких покрытий на основе нитридов переходных металлов. Упругие свойства нитридных пленок. Получение нитридных пленок методом вакуумно-дугового распыления. Изучение структуры и механических свойств нитридных пленок и пленок переходных металлов.
статья, добавлен 08.12.2018Изучение оптических свойств и термостабильности серебряных, алюминиевых и медных пленок, а также влияние планарной двумерной структуры на термостабильность. Коэффициенты отражения и пропускания в пленку, зависимость этих коэффициентов от длины волны.
статья, добавлен 20.05.2018Классификация и виды радиопоглощающих материалов. Волноводный метод определения диэлектрической проницаемости. Исследование радиофизических свойств ненаполненных полимерных пленок. Влияние рецептурно-технологических факторов на получения пленок.
дипломная работа, добавлен 28.08.2016Исследование влияния режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO. Назначение ионно-плазменного оборудования и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади.
реферат, добавлен 25.12.2020Устройство малогабаритной вакуумной установки модульного типа. Определение толщины пленки меди на ситалловой подложке с помощью атомно-силового микроскопа. Анализ зависимости толщины тонких пленок меди от времени процесса при магнетронном распылении.
научная работа, добавлен 03.05.2019Ознакомление с порядком формирования пленок в процессах ионно-плазменного нанесения. Исследование структурных последствий образования зародышей в тонких пленках. Рассмотрение схемы вакуумного напыления. Анализ диодных систем на постоянном напряжении.
курсовая работа, добавлен 18.04.2015Главные цели проведения термического крекинга под давлением. Процесс производства термогазойля и термоподготовки дистиллятных видов сырья для установок коксования. Основные свойства остаточного и дистиллятного сырья. Виды термического крекинга.
реферат, добавлен 25.08.2013Рассмотрение конструкции маломощного СВЧ-плазмотрона, используемого в установке плазменного нанесения порошковых покрытий. Особенности использования технологии нанесения тонких пленок и покрытий из различных материалов на разнообразные изделия.
статья, добавлен 23.02.2019Разработка способов получения индикаторных систем с высокой контрастностью и низким энергопотреблением, особенности золь-гель технологии. Использование прекурсоров на основе оксида вольфрама. Синтез ацетопероксовольфрамовой кислоты для получения пленок.
статья, добавлен 16.03.2019Исследование процессов взаимодействия примесей и дефектов в технологии производства широкозонных полупроводниковых материалов. Электрооптические характеристики поликристаллических пленок. Управление процессами взаимодействия примесей в полупроводниках.
статья, добавлен 03.02.2018