Литография и контактная фотолитография. Позитивные и негативные фоторезисторы
Методы литографии. Технологический процесс фотолитографии. Формирование защитного рельефа в слое фоторезиста. Создание рельефного изображения на подложке. Функции фоторезиста как многокомпонентного мономерно-полимерного материала. Область его применения.
Подобные документы
Современные методы формирования межсоединений элементов на подложке полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Виды и этапы фотолитографии. Контактная схема экспонирования. Основные способы нанесения фоторезиста. Контроль качества литографии.
презентация, добавлен 29.05.2020Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Выбор и описание технологического оборудования. Плотность элементов в кристалле ИМС. Возможные дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Контроль рельефа рисунка в подложке.
курсовая работа, добавлен 15.08.2014Основные параметры литографических процессов. Фоторезисты, фотошаблоны и контактная фотолитография. Дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Рентгеновская литография и электронно-лучевая. Выбор и описание технологического оборудования.
дипломная работа, добавлен 11.08.2015Фотолитография как один из основных технологических процессов в общем цикле изготовления большого количества полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Нанесение фоторезиста распылением с помощью форсунки - сущность метода пульверизации.
курсовая работа, добавлен 17.05.2022Математическое моделирование процессов формирования изображения в ультрафиолетовой литографии. Морфологический анализ-синтез при поиске литографических технологических решений с последующим созданием устройств формирования изображений на фотошаблоне.
диссертация, добавлен 28.12.2016Процесс классификации основных способов литья заготовок и определение технологических возможностей. Методы изготовления отливок и область их применения. Использование материала при различных способах литья и оценка технико-экономических показателей.
презентация, добавлен 18.10.2013Контактная сварка - процесс образования неразъемного сварного соединения путем нагрева металла, область ее применения и основные способы соединения свариваемых деталей. Особенности точечной контактной сварки, конструктивные элементы сварных соединений.
реферат, добавлен 06.02.2012Особенности формирования рельефного рисунка на поверхности древесины путем прессования. Технологический процесс горячего и холодного тиснения. Новые способы создания рельефного рисунка на поверхности древесины. Процесс декорирования поверхности детали.
статья, добавлен 29.11.2018Газотермическое напыление как процесс нагрева, диспергирования и переноса конденсированных частиц распыляемого материала газовым или плазменным потоком для формирования на подложке слоя материала, особенности и сферы его применения, описание порошков.
реферат, добавлен 03.05.2012Анализ получения полимерных периодических структур на основе акриловых мономеров и нанокомпозитов методом лазерной интерференционной литографии в УФ-отверждаемых композициях. Зависимость их характеристик от состава, условий экспонирования и обработки.
статья, добавлен 30.11.2018Производство и область применения ситалла СО-115М. Создание технологии выработки более крупногабаритных отливок. Автоматическая весовая линия для составления шихты. Процесс отлива в форму. Снятие напряжений, способных вызвать разрушение материала.
статья, добавлен 30.11.2018Изучение технологических процессов изготовления приборов и интегральных микросхем. Разделение полупроводниковых слитков на пластины, формирование фасок на кромках. Шлифование пластин свободным и связанным абразивом, доводка полированием и фотолитография.
курсовая работа, добавлен 11.07.2015Характеристика процесса удаления влаги из твердых влажных материалов. Анализ способов сушки в зависимости от используемого процесса. Особенность высушивания в кипящем слое. Сущность применения барабанной сушилки. Схема конвективного сушильного процесса.
контрольная работа, добавлен 09.06.2016- 14. Программный комплекс моделирования неизотермического течения полимерного материала в зазоре каландра
Особенность построения полной математической модели неизотермического каландрования. Анализ схемы каландрования полимеров с выделенной областью деформирования полимерного материала. Характеристика принятых допущений при синтезе математической модели.
статья, добавлен 24.08.2020 Область применения, преимущества и недостатки аргонодуговой сварки. Напряжения и деформации при сварке, меры борьбы с ними. Особенности свариваемости основного металла. Методы подготовки кромок и обработка швов. Контроль качества сварного изделия.
реферат, добавлен 14.11.2013История сварочного дела и основоположники сварки. Достоинства, недостатки и технологический процесс механического, термического и термомеханического способов сварки. Важность процесса сварки в производстве. Основные сферы применения сварки, её важность.
реферат, добавлен 17.12.2016Состояние развития промышленности химических волокон и область их применения. Общая характеристика свойств природных непряденых нитей. Специфические свойства многотоннажных и малотоннажных волокон. Технологический процесс получения нитевидных веществ.
реферат, добавлен 15.12.2013Применение процесса дозирования при получении комбикормов. Теоретическое обоснование создания многокомпонентного дозатора для сыпучих материалов. Технологическая схема работы дозатора. Оценка результатов испытания макета дозатора в лабораторных условиях.
статья, добавлен 30.08.2018Особенности покрытия на основе вольфрама на резиновой подложке, полученного методом магнетронного распыления. Изображения покрытий, полученные распылением на резиновой подложке молибдена, тантала. Размер зерен, входящие в структурные образования.
статья, добавлен 02.02.2019Общие характеристики свинца. Описание свойств металла, область его применения. Процесс и реакция получения диоксида свинца и других производных свинца – область применения этих соединений в технике. Сырье и методы, технологическая схема получения свинца.
реферат, добавлен 10.12.2010Электродуговая и контактная сварка: сущность, общая характеристика, виды, принцип действия, преимущества, недостатки и целесообразность выбора. Процесс подготовки к сварке и правка сварных деталей. Дефекты стыковой, точечной, шовной и рельефной сварки.
курсовая работа, добавлен 12.11.2012Биметаллическая пластина как отрезок ленты, изготовленной из двух механически соединённых кусков различных металлов или композитного материала. Сварка взрывом - технологический процесс, позволяющий получать биметаллические заготовки разных размеров.
контрольная работа, добавлен 11.11.2016Виды и характеристики основных защитных покрытий. Анализ технических характеристик и технологии нанесения защитного покрытия Plasti dip. Подбор необходимого оборудования согласно технологического процесса по нанесению защитного покрытия Plasti dip.
реферат, добавлен 26.04.2014Классификация и обозначение сварного шва на чертеже. Технологический процесс выполнения сварного шва. Оборудование и приспособления, применяемые при сварке. Основные дефекты сварных соединений и методы их устранения. Организация рабочего места сварщика.
курсовая работа, добавлен 12.07.2020Изучение структуры полимерной матрицы композита. Эксплуатационные характеристики ВПКМ и требования, предъявляемые к их свойствам. Адгезионная прочность соединений на границе раздела "матрица-волокно". РЭМ-изображения поверхности поперечных шлифов ВПКМ.
статья, добавлен 22.10.2016