Мікроелектронні перетворювачі на кремнієвій структурі з діелектричною ізоляцією
Розробка нових інтегральних мікроелектронних багатосенсорних кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією (КСДІ). Створення вимірювальних перетворювачів неелектричних величин з широкими функціональними можливостями. Контроль товщини тонких плівок.
Подобные документы
Аналіз існуючих вимог до мікроелектронних частотних датчиків на шляху поліпшення їх технічних характеристик. Розробка і дослідження автогенераторних вимірювальних частотних перетворювачів для мікроелектронних частотних датчиків технологічного обладнання.
автореферат, добавлен 15.07.2014- 2. Радіовимірювальні перетворювачі для визначення товщини плівок на основі пристроїв з від’ємним опором
Дослідження властивостей радіовимірювальних перетворювачів для визначення товщини плівок на основі пристроїв з від’ємним опором. Розрахунок динамічних характеристик перетворювачів з врахуванням залежності параметрів елементів пристроїв від впливу товщини.
автореферат, добавлен 30.07.2015 Класифікація перетворювачів. Розробка принципів побудови аналогових функціональних перетворювачів з підвищеною точністю та розширеними функціональними можливостями на основі використання явища перерозподілу заряду в комутованих конденсаторах (АФПК).
автореферат, добавлен 23.11.2013Вивчення методів покращення метрологічних показників радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів витрат газу, технологічно сумісних з мікроелектронною базою. Аналіз переваг перетворювачів витрат газу з частотним виходом по відношенню до існуючих.
автореферат, добавлен 28.08.2015Аналіз радіовимірювальних перетворювачів температури, тиску, магнітного поля, оптичного випромінювання та систематизація відомих теоретичних підходів, покладених в основу їх побудови. Розроблення математичних моделей перетворювачів, та їх перевірка.
автореферат, добавлен 24.06.2014Створення структур типу "кремній на ізоляторі" зі заданими властивостями шару полікремнію та розробка на їх основі мікроелектронних сенсорів для застосування в широкому інтервалі температур, включаючи кріогенні. Дослідження їх характеристик та параметрів.
автореферат, добавлен 12.07.2014Можливість практичної реалізації вимірювальних перетворювачів температури на основі серійно випускаємих давачів інфрачервоного випромінювання. Проектування та тестування високочутливих вимірювальних перетворювачів температури з частотним виходом.
статья, добавлен 23.12.2018Математична модель rail-to-rail операційного підсилювача. Аналіз стабільності таких операційних підсилювачів в схемах ємнісних драйверів. Розробка та дослідження низки вузлів сигнальних перетворювачів мікроелектронних сенсорних пристроїв ємнісного типу.
автореферат, добавлен 25.07.2015Математична модель біполярного двоколекторного магніточутливого транзистора. Частотні мікроелектронні перетворювачі магнітного поля на основі трьох біполярних, МДН- та біполярного транзисторів з активним індуктивним елементом. Оцінка похибок вимірювання.
автореферат, добавлен 28.09.2014Створення, розвиток і впровадження в промисловість планарной технології кремнієвих ІМС. Використання окисленої поверхні кремнію. Процес окислення поверхні напівпровідникових пластин. Параметри якості діелектричних плівок. Методи нанесення тонких плівок.
курсовая работа, добавлен 07.12.2012Можливості безпосереднього перетворення різних фізичних величин в цифрову форму. Місце аналогово-цифрових перетворювачів при виконанні операцій дискретизації. Принципова схема нормувального перетворювача для роботи з термоелектричним термометром.
контрольная работа, добавлен 16.02.2018Розробка моделей ємнісних перетворювачів для визначення товщини в часовому домені. Аналіз основних переваг таких засобів вимірювання, схеми їх застосування. Методика вибору вимірювального конденсатора в якості первинного сенсора для даних перетворювачів.
статья, добавлен 27.07.2016Оцінка дефектності та прогнозування виходу придатних мікроелектронних пристроїв. Аналіз напівпровідникової структури. Методика забезпечення технологічності мікроелектронних пристроїв та засобів контролю дефектності структур і стабільності їх елементів.
автореферат, добавлен 10.01.2014Розробка методів побудови широкосмужних малогабаритних мiкрохвильових перетворювачів і створення на їх основі високоточних автоматизованих вимірників комплексних параметрів антен і НВЧ пристроїв. Дослідження характеристик мiкрохвильових перетворювачів.
автореферат, добавлен 23.11.2013Структура, фазовий склад та властивості тонких плівок на основі FePt. Застосування тонких плівок на основі FePt в мікроелектроніці. Основні методи впливу на структуру та властивості тонких плівок на основі FePt. Застосування методу in situ резистометрії.
диссертация, добавлен 02.10.2018Особливості розвитку сучасної діагностичної апаратури біомедичного призначення. Етапи розробки контролерів температурного режиму. Розгляд нових підходів електротеплового моделювання вимірювальних кіл первинних перетворювачів теплових сенсорів потоку.
автореферат, добавлен 27.07.2015Аналіз сучасної аерометричної навігаційної системи та її основних похибок. Розробка методів розрахунку пневмомеханічних вимірювальних перетворювачів тиску навігаційних систем. Методи та засоби підвищення їх точності в умовах дії збурюючих факторів.
автореферат, добавлен 27.07.2014Дослідження математичних моделей динамічних похибок електричних компенсаційних вимірювальних перетворювачів зі статичною та астатичною функціями перетворення у реальних умовах тестових впливів. Розробка зразку медичної системи контролю балансу ваги.
автореферат, добавлен 25.07.2015Розробка принципів побудови інтегральних, гібридних та хвилеводних фазообертачів з використанням діелектричних матеріалів, методи їх розрахунку та п’єзоелектричне керування. Особливості вимірювання електрофізичних параметрів тонких діелектричних плівок.
автореферат, добавлен 13.07.2014Розробка структур високоточних швидкодіючих самокаліброваних аналого-цифрових перетворювачів порозрядного врівноваження з перерозподілом заряду, зменшення статичних похибок. Розробка та оцінка рекомендацій щодо проектування АЦП з перерозподілом заряду.
автореферат, добавлен 29.08.2013Розробка методики розрахунку акустичної чутливості круглих компланарних біморфних п’єзоперетворювачів з урахуванням металевих електродів і з'єднання. Аналіз впливу розмірів і форми елементів перетворювачів, електричних режимів роботи на їх параметри.
автореферат, добавлен 21.11.2013Побудова та дослідження математичних моделей перетворювачів механічних величин з п’єзоелементами в модифікованих схемах пасивних режекторних фільтрів, активних фільтрів нижніх і верхніх частот з однопетльовим та багатопетльовим зворотним зв’язком.
автореферат, добавлен 11.08.2014Розробка математичних моделей і оцінка ефективності імпедансних елементів керування на базі узагальнених перетворювачів імітансу. Дослідження активних фільтрів на базі двозатворних польових структур Шоттки, придатних для інтегральних технологій.
автореферат, добавлен 29.09.2015Розробка та створення електромагнітних методів на основі трансформаторних перетворювачів для знаходження геометричних параметрів металевих виробів, які зондуються магнітним полем різної орієнтації. Двохпараметровий метод контролю немагнітного виробу.
автореферат, добавлен 21.11.2013Створення інформаційної моделі, яка містить комплекс програм комп’ютерного моделювання процесів вихорострумового контролю об’єктів. Розробка методики проектування перетворювачів прохідного та накладного типів для покращення характеристик дефектоскопів.
автореферат, добавлен 15.11.2013