Практические аспекты плазмохимического травления
Классификация процессов травления: ионное, реактивное и плазмохимическое. Основные частицы, участвующие в процессе плазменного травления: атомы, радикалы, ионы и электроны. Рабочие параметры процесса: давление газа и скорость его потока через реактор.
Подобные документы
Область горения частицы топлива в топке котельного агрегата при заданной температуре. Расчет времени выгорания частиц топлива. Условия выгорания коксовой частицы в конечной части прямоточного факела. Расчет константы равновесия реакции, метод Владимирова.
курсовая работа, добавлен 26.12.2012- 27. Ядерный реактор
Использование в ядерных реакторах, работающих на естественном уране, замедлителей нейтронов для повышения коэффициентов размножения нейтронов. Схема процессов в ядерном реакторе, его основные элементы. Построение и запуск первых ядерных реакторов.
презентация, добавлен 24.03.2011 Определение начальной энергии частицы фосфора, длины стороны квадратной пластины, заряда пластины и энергии электрического поля конденсатора. Построение зависимости координаты частицы от ее положения, энергии частицы от времени полета в конденсаторе.
задача, добавлен 10.10.2015Общая характеристика и особенности расположения Ленинградской АЭС. Исследование генерального плана и принципиальной схемы станции. Процесс циркуляции теплоносителя через реактор. Принцип действия конденсатных насосов второй ступени, устройство реактора.
реферат, добавлен 09.12.2012Основные понятия, механизмы элементарных частиц, виды их физических взаимодействий (гравитационных, слабых, электромагнитных, ядерных). Частицы и античастицы. Классификация элементарных частиц: фотоны, лептоны, адроны (мезоны и барионы). Теория кварков.
курсовая работа, добавлен 21.03.2014Конструктивные особенности водо-водяных реакторов под давлением. Предварительный, нейтронно-физический расчет "горячего" и "холодного" реактора. Температурный эффект реактивности. Моногогрупповой расчет спектра плотности потока нейтронов в активной зоне.
курсовая работа, добавлен 14.05.2015Характеристика законов Бойля-Мариотта, Бойля-Мариотта, Авогадро. Парциальное давление как давление, которое оказывал бы каждый газ смеси, если бы он один занимал объем, равный объему смеси. Знакомство с положениями молекулярно-кинетической теории газа.
презентация, добавлен 06.12.2016Степень повышения давления в компрессоре. Скорость истечения газа из выходного устройства. Термогазодинамический расчет двигателя и анализ его результатов. Согласование параметров компрессора и турбины. Газодинамический расчет осевого компрессора.
курсовая работа, добавлен 15.12.2011Вычисление скорости молекул. Различия в скоростях молекул газа и жидкости. Экспериментальное определение скоростей молекул. Практические доказательства состоятельности молекулярно-кинетической теории строения вещества. Модуль скорости вращения.
презентация, добавлен 18.05.2011Теневой метод и шлирен-метод визуализации Тёплера. Экспериментальная аэродинамическая сверхзвуковая установка для оптического исследования потока. Конструкция аэродинамической трубы. Создание кратковременного сверхзвукового или гиперзвукового потока газа.
лабораторная работа, добавлен 19.09.2014Изучение конструкции действующего аналога демона Максвелла. Принципы эффузионного потока молекул газа. Давление внутри и снаружи сосуда устройства, действие "демонической" силы. Первоначальный толчок, который необходим для приведения сосуда в движение.
реферат, добавлен 23.12.2015Основные подходы к классификации элементарных частиц, которые по видам взаимодействий делятся на: составные, фундаментальные (бесструктурные) частицы. Особенности микрочастиц с полуцелым и целым спином. Условно истинно и истинно элементарные частицы.
реферат, добавлен 09.08.2010Реактивное движение - движение тела, обусловленное отделением от него с некоторой скоростью какой-то его части. История создания реактивного двигателя, его основные элементы и принцип работы. Физические законы Циолковского, устройство ракеты-носителя.
презентация, добавлен 20.02.2012Выбор гидромашин и рабочей жидкости, гидроаппаратуры и вспомогательных устройств. Линия давления в гидроприводе. Давление срабатывания предохранительного клапана. Проверка насосов на кавитацию. Сила давления на колено трубы. Рабочие режимы насоса.
курсовая работа, добавлен 16.05.2013Силы, действующие на частицу, осаждающуюся в гравитационном поле. Скорость осаждения твердых частиц под действием силы тяжести в зависимости от диаметра частиц и физических свойств частицы и жидкости. Описание установки, порядок выполнения работ.
лабораторная работа, добавлен 29.08.2015Построение гидродинамической сетки обтекания кругового цилиндра. Эпюры скоростей и давлений для одного сечения потока. Диаграмма распределения давления вдоль продольной оси канала. Расчет диаграммы скоростей и давлений по контуру кругового цилиндра.
курсовая работа, добавлен 27.03.2015- 42. Ячеечная модель
Модель потока с продольным перемешиванием. Определение числа реакторов аппроксимирующего каскада. Использование ячеечной модели. Ламинарный поток, осложненный диффузией. Тепловые балансы проточных реакторов для гомофазных процессов. Решение уравнения.
презентация, добавлен 17.03.2014 - 43. Ядерный реактор
История создания первых ядерных реакторов, их классификация по назначению и основные элементы. Особенности функционирования ректоров на медленных и быстрых нейтронах. Характеристика гомогенных и гетерогенных видов реакторов. Этапы преобразования энергии.
презентация, добавлен 02.04.2014 Двухобмоточный трансформатор: характеристика, структура и элементы, параметры. Активное и реактивное сопротивления трансформатора как сумма активных и реактивных сопротивлений обмотки высшего напряжения и приведенной к ней обмотки низшего напряжения.
презентация, добавлен 20.10.2013Работа идеального газа. Определение внутренней энергии системы тел. Работа газа при изопроцессах. Первое начало термодинамики. Зависимость внутренней энергии газа от температуры и объема. Основные способы ее изменения. Сущность адиабатического процесса.
презентация, добавлен 23.10.2013Направления применения плазмы в технике и технологии. Управляемые термоядерные реакции, основные пути их осуществления. Принцип извлечения энергии из ядер легких элементов. Лазерный термояд. Получение электроэнергии из тепловой энергии плазменного потока.
реферат, добавлен 15.07.2014Групповая скорость. Парадокс. Вектор Пойнтинга. Проблемы определения скорости переноса энергии. Скорость переноса энергии ТЕ и ТМ волн. Фазовая скорость это скорость движения силового свойства поля.
реферат, добавлен 02.03.2002Расчет температурного напора в теплообменном аппарате змеевикового типа для подогрева металла. Определение необратимой потери давления воздушного потока, проходящего через аппарат. Расчет тепловой изоляции подводящего трубопровода и длины трубки змеевика.
контрольная работа, добавлен 17.11.2015Определение мощности теплового потока при конвективной теплопередаче через трубу заданного диаметра. Расход пара на обогрев воды в пароводяном теплообменнике, превращение пара в конденсат. Изменение температуры теплоносителей вдоль поверхности нагрева.
контрольная работа, добавлен 13.05.2015Определение и модель идеального газа. Микроскопические и макроскопические параметры газа и формулы для их расчета. Уравнение состояния идеального газа (уравнение Менделеева-Клайперона). Законы Бойля Мариотта, Гей-Люссака и Шарля для постоянных величин.
презентация, добавлен 19.12.2013