Практические аспекты плазмохимического травления
Классификация процессов травления: ионное, реактивное и плазмохимическое. Основные частицы, участвующие в процессе плазменного травления: атомы, радикалы, ионы и электроны. Рабочие параметры процесса: давление газа и скорость его потока через реактор.
Подобные документы
Ядерный реактор ВВЭР-1000 - водо-водяной энергетический реактор с водой под давлением, без кипения в активной зоне. Регулирование мощности, топология локальной вычислительной сети. Коррекция базы данных конфигурации. Обмен данными между ОБД и ЛВС.
дипломная работа, добавлен 11.09.2011Общие сведения о процессе сжижения газа, его преимущества. Программа строительства завода. Общая схема технологической установки по процессу Liquefin. Конструкция холодной камеры. План расположения оборудования. Оценка стоимости капиталовложений.
курсовая работа, добавлен 13.08.2014Средства контроля и регулирования параметров теплогидравлического режима реактора. Оперативный контроль параметров расхода теплоносителя через технологический канал средствами СЦК Скала. Порядок корректировки режима при работе реактора на мощности.
отчет по практике, добавлен 07.08.2013Определение сверхсветовой скорости материальной точки, принцип причинности. Солнечный зайчик, тени, ножницы. Сверхсветовое движение в среде. Теория относительности: расширение Вселенной, двигатель Алькубьерре. Сверхсветовые частицы, эффект Шарнхорста.
курсовая работа, добавлен 27.08.2012Определение эффективных сечений для тепловых нейтронов. Расчет плотности потока нейтронов в однородном гомогенном реакторе; состава и макроскопических констант двухзонной ячейки. Критические размеры реактора. Коэффициент размножения в бесконечной среде.
курсовая работа, добавлен 10.12.2013- 106. Изобарный процесс
Уравнение состояния для моля идеального газа, уравнение Майера. Графическое изображение изобарного процесса. Понятие про сложный теплообмен. Процесс теплопередачи через однородную плоскую стенку. Коэффициентом теплопередачи, термическое сопротивление.
контрольная работа, добавлен 12.01.2012 Степень нагретости тела. Температура - мера средней кинетической энергии поступательного движения молекул идеального газа. Температура - макроскопический параметр состояния вещества. Основные термометрические параметры.
лабораторная работа, добавлен 16.07.2007Определение состава газа, расчет горения топлива. Расчет нагрева металла. Основные параметры, тепловой баланс, основные размеры печи, выбор горелок. Расчет рекуператора, гидравлический расчет трассы. Применение бетонов и волокнистой изоляции.
курсовая работа, добавлен 22.10.2010Асинхронный двигатель как основной преобразователь электрической энергии в механическую и основа электропривода. Анализ конструкции электродвигателя. Расчет параметров магнитного потока, сопротивления обмоток. Круговая диаграмма и рабочие характеристики.
курсовая работа, добавлен 06.09.2012Характеристика сущности резисторов, которые предназначены для перераспределения и регулирования электрической энергии между элементами схемы. Классификация, конструкции и параметры резисторов, характеризующие их эксплуатационные возможности применения.
реферат, добавлен 10.01.2011Расчет цепи с использованием классического метода, ее главные параметры: напряжение, ток переходного процесса, на индуктивностях. Методика и основные этапы расчета цепи с использованием операторного метода. Составление эквивалентных схем и графиков.
курсовая работа, добавлен 22.05.2014Основные понятия и виды давления, его физические параметры и единицы измерения для жидкой и газообразной среды. Назначение манометров и измерительных преобразователей, особенности их эксплуатации. Характеристика основных методов преобразования давления.
курсовая работа, добавлен 14.07.2012Рост потребления газа в городах. Определение низшей теплоты сгорания и плотности газа, численности населения. Расчет годового потребления газа. Потребление газа коммунальными и общественными предприятиями. Размещение газорегуляторных пунктов и установок.
курсовая работа, добавлен 28.12.2011Расчет сопла Лаваля с помощью газодинамических функций: проектирование дозвукового и сверхзвукового участков. Параметры течения газа по соплу. Расчет крыльевого профиля в среде Gas2. Определение профиля методом скачков уплотнения и волн разряжения.
курсовая работа, добавлен 07.08.2013Изучение различных изопроцессов, протекающих в газах. Экспериментальное определение СP/СV для воздуха. Расчет массы газа, переходящего в различные состояния. Протекание изотермических процессов, определение состояния газа как термодинамической системы.
контрольная работа, добавлен 17.11.2010Исследование газообразного состояния вещества, в котором частицы не связаны или весьма слабо связаны силами взаимодействия. Изучение плазмы, частично или полностью ионизированного газа, в котором плотности отрицательных и положительных зарядов одинаковы.
презентация, добавлен 19.12.2011Исследование линейной электрической цепи. Расчет источника гармонических колебаний, тока, напряжения, баланса мощностей электромагнитной системы. Реактивное сопротивление выходных зажимов четырехполюсника. Расчет переходных процессов классическим методом.
курсовая работа, добавлен 11.12.2012- 118. Атмосферное давление
Процентное соотношение газов в атмосфере Земли. Вес атмосферы по подсчетам Паскаля. Опыт, доказывающий существование атмосферного давления, и история открытия учёными этого явления. Нормальное атмосферное давление и его изменение в зависимости от высоты.
презентация, добавлен 14.05.2014 Определение модуля и направления скорости меньшей части снаряда. Нахождение проекции скорости осколков. Расчет напряженности поля точечного заряда. Построение сквозного графика зависимости напряженности электрического поля от расстояния для трех областей.
контрольная работа, добавлен 06.06.2013Основные характеристики и законы цепи постоянного тока. Конструкция, принцип действия и параметры трансформаторов. Использование излучений оптического спектра в сельском хозяйстве. Электрификация тепловых производственных процессов в животноводстве.
контрольная работа, добавлен 19.07.2011Неизотропность и блуждание частицы в ячейках. Событийное моделирование двумерного одноатомного газа. Имитационное моделирование вихревого движения в газе. Событийное моделирование самоорганизации графена. Фрагмент участка фильтра с областями прилипания.
статья, добавлен 23.07.2012Изучение движения свободной частицы. Частица в одномерной прямоугольной яме с бесконечными внешними стенками. Гармонический осциллятор. Прохождение частиц сквозь потенциальный барьер. Туннельный эффект. Качественный анализ решений уравнения Шредингера.
презентация, добавлен 07.03.2016Основные размеры электродвигателя постоянного тока. Расчет обмоток якоря и возбуждения. Размеры зубцов, пазов, проводов и электрические параметры якоря. Коллектор, щеткодержатели и щетки. Магнитная система и рабочие характеристики электродвигателя.
курсовая работа, добавлен 13.10.2014Расчеты газового потока в камере ракетного двигателя на сверхзвуковых и дозвуковых режимах, со скачками и без скачков уплотнения. Определение значений сил взаимодействия потока со стенками камеры и тяги двигателя. Расчет скоростей газового потока.
курсовая работа, добавлен 27.02.2015Определение параметров ядерного реактора. Средняя плотность потока тепловых нейтронов. Динамика изменения концентраций. Оценка потери реактивности вследствие отравления ксеноном. Микроскопическое сечение деления. Постоянные распада и сечения поглощения.
контрольная работа, добавлен 10.01.2014