Оптимизация процесса плазмохимического травления на установке LAM690

Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Аттестация оборудования, виды брака и их причины. Операции фотолитографии по стандартной технологии.

Подобные документы

  • Конструкция холодильной установки НСТ 400-К: неисправности и методы их устранения. Разработка мероприятий по сервису холодильного оборудования и системы отопления. Технико-экономические показатели по установке и сервису холодильной установки НСТ 400-К.

    курсовая работа, добавлен 05.03.2014

  • Проект установки для изучения течения и процессов теплоотдачи в сложных пространственных каналах. Определение расчётных параметров течения в экспериментальной установке на четырёх участках. Разработка методики определения расхода воздуха по его нагреву.

    дипломная работа, добавлен 06.06.2013

  • Разработка структуры технологической операции для детали "Планшайба". Схема базирования и установки заготовки в приспособлении. Технологические базы для черновой обработки детали "Стойка". Отработка чертежа детали "Вал" и "Вилка" на технологичность.

    курсовая работа, добавлен 09.12.2012

  • Описание действующей технологии изготовления изделия, анализ вариантов сварки. Расчет режимов, выбор и обоснование используемого оборудования и приспособлений. Разработка технологического процесса сборки и сварки изделия, контроль качества материалов.

    дипломная работа, добавлен 15.02.2015

  • Станки с числовым программным управлением — оборудование, выполняющее различные технологические операции по заданной программе. Их преимущество, классификация и виды. Функциональные составляющие ЧПУ, технологические возможности и конструкция станков.

    реферат, добавлен 21.03.2011

  • Требования к катанке и к конечной продукции. Технологические варианты изготовления канатной проволоки. Основные технологические операции. Волочение на передельную заготовку. Описание технологического процесса патентирования. Расчет режимов волочения.

    курсовая работа, добавлен 08.07.2014

  • Содержание производственного процесса. Факторы, определяющие производственную структуру предприятия. Формы специализации основных цехов. Расчет и анализ длительности производственного цикла простого и сложного процесса. Понятие и расчет партии деталей.

    реферат, добавлен 12.10.2009

  • Расчет комплекса оборудования для производственного процесса добычи руды на открытом горном месторождении. Характеристика экскаватора и основных машин технологической цепочки. Параметры технической и эксплуатационной производительности оборудования.

    курсовая работа, добавлен 02.03.2011

  • Технологические основы процесса ректификации, его этапы и принципы. Определение минимального числа тарелок, флегмового числа и диаметра колонны. Тепловой и конструктивно-механический расчет установки. Расчет тепловой изоляции. Автоматизация процесса.

    курсовая работа, добавлен 16.12.2015

  • Разработка маршрутного технологического процесса изготовления детали "корпус водила нижнего". Описание технологической операции для фрезерования пазов. Выбор оборудования и режущего инструмента для данной операции. Расчет параметров режима резания.

    курсовая работа, добавлен 15.12.2014

  • Характеристика роторно-пульсационных аппаратов (РПА). Технологические параметры РПА. Диаметр аппарата, его тепловые и конструктивные параметры, производительность. Ремонт и монтаж установки. Особенности применения РПА в фармацевтической промышленности.

    курсовая работа, добавлен 06.08.2013

  • Разработка прогрессивного технологического процесса на изготовление фланца и средства его оснащения. Расчет припусков, режимов резания и норм времени на наиболее производительные и перспективные операции. Технологические наладки на операции с ЧПУ.

    курсовая работа, добавлен 25.03.2019

  • Технологические схемы механизированного производства хлебобулочных изделий. Расчет оборудования, наиболее подходящего по техническим характеристикам для производства горчичного и столичного хлеба. Схема технохимического контроля процесса производства.

    дипломная работа, добавлен 21.06.2015

  • Разработка технологии сварки изделия. Выбор способа получения заготовок. Резка металла с помощью установки автоматизированного плазменного раскроя. Расчет режимов автоматической сварки под флюсом. Схема листогибочной машины с гидравлическим приводом.

    контрольная работа, добавлен 23.03.2014

  • Кривая разгона. Динамические параметры и математическое описание кривой разгона. Алгоритм управления. Выбор переходного процесса и настройки параметров алгоритмов управления АСУ. Регулирование в программе SIMULINC. Оптимизация переходного процесса.

    контрольная работа, добавлен 02.08.2008

  • Изготовление штамповочных форм. Холодное деформирование. Конструкционные материалы. Сущность процесса горячей объёмной штамповки и области её применения. Разработка поковки и технологические операции получения поковки. Обработка детали резанием.

    курсовая работа, добавлен 21.10.2008

  • Анализ исходных данных, выбор типа производства, форм организации технологического процесса изготовления колеса зубчатого. Метод получения заготовки и ее проектирование, технологический маршрут изготовления. Средства оснащения, технологические операции.

    курсовая работа, добавлен 31.01.2011

  • Технологические процессы производства молочных продуктов, технологические операции, выполняемые на разных машинах и аппаратах. Описание технологической схемы производства спредов, сравнительная характеристика и эксплуатация технологического оборудования.

    курсовая работа, добавлен 27.03.2010

  • Механизм растворения золота в цианистых растворах. Цианирование перемешиванием. Технологические параметры процесса сорбционного выщелачивания. Технологическая схема процесса сорбционного выщелачивания золота. Обоснование технологических параметров.

    курсовая работа, добавлен 06.06.2008

  • Технические тpебования к отpемонтиpованной детали. Технологические схемы устpанения дефектов. Выбоp обоpудования и технологической оснастки. Расчёт количества технологического, подъемно-транспортного оборудования. Организация технологического процесса.

    курсовая работа, добавлен 22.04.2015

  • Конструктивные особенности детали "втулка", выбор материала заготовки. Анализ типа производства, особенности маршрутной технологии. Расчет промежуточных припусков и размеров заготовки, определение режимов резания, норм времени на технологические операции.

    курсовая работа, добавлен 07.02.2011

  • Структура управления предприятием. Характеристика основного и вспомогательного оборудования. Основные параметры полуфабрикатов и основного продукта по технической документации. Регулирование режимов технологического процесса и контроль параметров работы.

    отчет по практике, добавлен 11.03.2015

  • Вагон как ключевое звено в цепи организации перевозочного процесса, факторы, определяющие его техническое состояние. Элементы конструкции и технические данные гидравлического гасителя колебаний, периодичность и сроки его ремонта, выбор оборудования.

    курсовая работа, добавлен 25.07.2011

  • Характеристика исходного сырья, вспомогательных материалов и готовой продукции. Описание технологического процесса и его основные параметры. Материальные и энергетические расчеты. Техническая характеристика основного технологического оборудования.

    курсовая работа, добавлен 05.04.2009

  • Цели и порядок выполнения лабораторных работ, обработка опытных данных и составление отчетов по изучению компрессионной фреоновой установки, гидродинамики и процесса разделения суспензий, измельчению твердых материалов, изучению процесса теплопередачи.

    методичка, добавлен 09.12.2011

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.