Оптимизация процесса плазмохимического травления на установке LAM690
Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Аттестация оборудования, виды брака и их причины. Операции фотолитографии по стандартной технологии.
Подобные документы
Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.
реферат, добавлен 06.01.2009Изучение устройства и принципа металлографического микроскопа. Порядок приготовления микрошлифа, демонстрация его вида до и после травления. Оптическая схема микроскопа, методика приготовления макрошлифа. Зарисовка макроструктуры полученного образца.
лабораторная работа, добавлен 12.01.2010Макроструктурный анализ как изучение строения металлов и сплавов невооруженным глазом или при небольшом увеличении, с помощью лупы, его основные этапы, принципы и подходы к реализации. Исследование изломов, макроструктуры металла после травления.
лабораторная работа, добавлен 27.03.2011Основные классификации резьб, их основные параметры и признаки. Особенности процесса резания и формирования поверхностного слоя. Влияние состава и структуры стеклопластиков на их обрабатываемость. Технологические операции и параметры процесса нарезания.
курсовая работа, добавлен 13.03.2011Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.
курсовая работа, добавлен 12.06.2010Сущность производственного процесса, его виды и структура, основные операции и их назначение, отличительные черты от технологического процесса. Порядок определения трудоемкости технологической операции и нормы времени, необходимой для ее реализации.
реферат, добавлен 20.11.2009Расчет процесса грохочения, который используется при переработке строительных материалов. Обзор конструкции грохотов. Основы вероятностной теории процесса грохочения, его основные показатели. Технологические и конструктивные параметры оборудования.
дипломная работа, добавлен 02.03.2011Описание технологии производства и конструкций разрабатываемого оборудования. Технологический расчет колонны. Технологический расчет теплообменника. Расчет, выбор стандартизированного вспомогательного оборудования. Автоматизация технологического процесса.
дипломная работа, добавлен 03.05.2009Понятие физической абсорбции, теоретические основы разрабатываемого процесса. Основные технологические схемы для проведения химической реакции. Обоснование и описание установки, подробный расчёт абсорбера, теплообменника и вспомогательного оборудования.
дипломная работа, добавлен 24.10.2011Особенности технологического процесса плазменного нагрева, плавления вещества, сварки и наплавки деталей, напыления и резки материалов. Физические основы получения и применения светолучевых источников энергии. Технологические особенности излучения ОКГ.
реферат, добавлен 14.03.2011Явление коррозии медицинских инструментов, его физическое обоснование и предпосылки, факторы риска и методы профилактики. Технология плазменного напыления: сущность и требования, характеристика наносимых покрытий. Оборудование для плазменного напыления.
курсовая работа, добавлен 05.11.2014Общая характеристика производственного объекта и описание основного технологического процесса работы установки ЭП-300. Операция перегрева насыщенного пара высокого давления в пароперегревателе. Особенности промышленного процесса подготовки пирогаза.
реферат, добавлен 13.01.2014Сущность процесса сушки. Расчет сушильной установки. Аппаратное обеспечение процесса сушки. Технологические основы регулирования сушилок с кипящим слоем. Определение момента окончания сушки по разности температур. Автоматизация сушильных установок.
дипломная работа, добавлен 25.01.2011Характеристика технологии производства алюмината натрия, установки его получения и принципа ее работы. Выбор оборудования для автоматизации и контроля техпроцесса. Расчет надежности технологической операции и вероятности отказов системы автоматики.
курсовая работа, добавлен 04.10.2011Составление организационно-технологической схемы настилания тканей для раскроя мужского костюма. Выбор оборудования и оснастки настилочных столов. Оптимизация процесса изготовления швейного изделия путем снижения затрат времени на выполнение настилания.
курсовая работа, добавлен 11.12.2011Изучение технологического процесса производства полипропиленовых труб методом экструзии. Контроль процесса по стадиям. Виды брака, пути его предотвращения. Материальный баланс производства. Расчет и выбор основного и вспомогательного оборудования.
дипломная работа, добавлен 08.09.2015Понятие химической технологии и нефтехимии. Циклонные пылеуловители как инструмента обеспечения технологического процесса. Принципы действия, формулы для расчета характеристик установки. Конструкция и эффективность ее работы, достоинства и недостатки.
презентация, добавлен 10.09.2014Анализ технических условий и технологичности конструкции детали. Разработка операционной технологии на операции сверления и резания, схемы базирования и схемы построения операции. Выбор метода обработки, инструмента и технологического оборудования.
курсовая работа, добавлен 14.01.2011Экономическое обоснование выбора оборудования для организации производственного процесса. Технологии изготовления творога, производительность оборудования. Основной элемент поточного производства. Проектирование организации производственного процесса.
курсовая работа, добавлен 19.02.2011Условия эксплуатации, технические и технологические характеристики опреснительной установки POPO 510. Выбор оборудования, приспособлений, инструмента для монтажа установки. Крепление рамы установки на фундаменты. Охрана труда при монтаже установки.
курсовая работа, добавлен 08.05.2012Проектирование оптимальной схемы рекуперативного противоточного теплообмена двух технологических потоков. Расчет оборудования для процесса рекуперативного теплообмена, стоимость, затраты на эксплуатацию, оптимизация на основании критерия оптимальности.
контрольная работа, добавлен 04.12.2009Общие способы интенсификации процесса абсорбции. Физическая сущность процесса. Технологический расчет абсорбера. Типы и основные размеры корпусов емкостных аппаратов. Механический расчет аппарата на прочность. Выбор и расчет вспомогательного оборудования.
курсовая работа, добавлен 10.04.2014Древесноволокнистые плиты: разновидности и марки изделий, характеристика исходных сырьевых материалов, способы производства, технологические операции. Подбор основного и вспомогательного оборудования. Методы контроля производственного процесса, продукции.
курсовая работа, добавлен 12.10.2014Основные положения процесса ректификации. Устройство ректификационной колонны. Характеристики исходного сырья и продукции. Технология получения конденсата газового стабильного на установке стабилизации конденсата. Расчет температуры стабилизатора.
дипломная работа, добавлен 13.10.2017Понятие и оценка преимуществ прокатки, ее сортамент и разновидности способов исполнения. Основные этапы технологического процесса прокатки и его параметры. Операции, выполняемые на прокатном стане. Назначение и принципы составления сборочного чертежа.
контрольная работа, добавлен 23.10.2010