Оптическое управление расходом реактивного газа в процессах магнетронного нанесения покрытий

Осаждение пленочных покрытий сложного химического состава (оксидов, нитридов, металлов). Проблема магнетронного осаждения. Исследование влияние нестабильности мощности и давления магнетронного разряда на процесс осаждения пленок, результаты экспериментов.

Подобные документы

  • Основные типы, устройство, принцип действия датчиков, применяемых для измерения давления. Их достоинства и недостатки. Разработка пьезоэлектрического преобразователя. Элементы его структурной схемы. Расчет функций преобразования, чувствительности прибора.

    курсовая работа, добавлен 16.12.2012

  • Методы изготовления аппаратов высокого давления, их структурные компоненты и особенности применения. Назначение трубопроводов, вентилей, рабочей жидкости и газа. Способы соединения отдельных частей установки высокого давления в домашних условиях.

    реферат, добавлен 28.09.2009

  • Предохранительные сбросные клапаны на газопроводах для автоматического сброса газа в случае кратковременного повышения давления сверх установленного. Плотность газа в рабочих условиях. Определение необходимого сечения предохранительного клапана.

    презентация, добавлен 14.12.2014

  • Определение расчетных характеристик используемого природного газа. Выбор системы газоснабжения города. Пример гидравлического расчета распределительных городских газовых сетей среднего давления. Определение расчетных расходов газа жилыми зданиями.

    курсовая работа, добавлен 19.04.2014

  • Уравнение состояния газа Ван-дер-Ваальса, его сущность и краткая характеристика. Влияние сил молекулярного притяжения на стенки сосуда. Уравнение Ван-дер-Ваальса для произвольного числа молей газа. Изотермы реального газа и правило фаз Максвелла.

    реферат, добавлен 13.12.2011

  • Понятие и история происхождения сланцевого газа, его главные физические и химические свойства. Способы добычи, используемое оборудование и материалы, оценка степени влияние на экологию. Перспективы применения данного типа газа в будущем в энергетике.

    контрольная работа, добавлен 11.12.2014

  • Гидростатическое давление в сосуде. Определение траектории движения тела и направления ускорения. Зависимость давления идеального газа от температуры. Зависимость проекции скорости материальной точки от времени. Изобарное охлаждение постоянной массы газа.

    задача, добавлен 04.10.2011

  • Взаимосвязь внутренней энергии и теплоты газа. Первое начало термодинамики. Общее понятие о теплоемкости тела. Энтропия как мера необратимого рассеяния энергии или беспорядка. Адиабатический процесс: уравнение, примеры. Политропные и циклические процессы.

    презентация, добавлен 29.09.2013

  • Определение низшей теплоты сгорания газа и плотности сгорания газообразного топлива. Расчет годового расхода и режима потребления газа на коммунально-бытовые нужды. Вычисление количества газораспределительных пунктов, подбор регуляторов давления.

    курсовая работа, добавлен 21.12.2013

  • Самостоятельный и несамостоятельный разряды в газах. Описание установки для измерения тока ионного тока тлеющего разряда. Модель физического процесса. Построение графиков, отображающих зависимость ионного тока тлеющего разряда от расстояния до коллектора.

    курсовая работа, добавлен 14.09.2012

  • Температура газа перед турбиной. Степень повышения давления в компрессоре. Скорость истечения газа из выходного устройства. Выбор типа закрутки. Предварительный выбор удлинения лопатки. Расчет густоты решеток профилей, углов изгиба профиля пера.

    курсовая работа, добавлен 28.05.2012

  • Разработка и получение магниточувствительных спинтронных структур на основе протравленных ионных треков в оксидированном кремнии, внутри которых формируются однородные нанокомпозиции с чередующимися слоями из ферромагнитных и немагнитных наночастиц.

    реферат, добавлен 26.06.2010

  • Молекулы идеального газа и скорости их движения. Упрyгoe стoлкнoвeниe мoлeкyлы сo стeнкoй. Опрeдeлeниe числа стoлкнoвeний мoлeкyл с плoщадкoй. Распрeдeлeниe мoлeкyл пo скoрoстям. Вывод формул для давления и энергии. Формула энергии идеального газа.

    курсовая работа, добавлен 15.06.2009

  • Характеристика предприятия и источников электроснабжения. Определение расчетных электрических нагрузок цеха; числа и мощности трансформаторов на цеховых подстанциях. Компенсация реактивной мощности. Выбор схемы внешнего и внутреннего электроснабжения.

    дипломная работа, добавлен 25.06.2012

  • Годовые расходы газа на отопление, горячее водоснабжение, промышленное потребление. Максимальный часовой расход газа в жилых домах (квартирах). Падение давления в местных сопротивлениях: колено, тройники, запорная арматура. Расчет внутреннего газопровода.

    курсовая работа, добавлен 11.11.2014

  • Оптическое волокно, как среда передачи данных. Конструкция оптического волокна. Параметры оптических волокон: геометрические, оптические. Оптические волокна на основе фотонных кристаллов. Передача больших потоков информации на значительные расстояния.

    реферат, добавлен 03.03.2004

  • Сущность полиморфизма, история его открытия. Физические и химические свойства полиморфных модификаций углерода: алмаза и графита, их сравнительный анализ. Полиморфные превращения жидких кристаллов, тонких пленок дийодида олова, металлов и сплавов.

    курсовая работа, добавлен 12.04.2012

  • Выбор рабочего давления газопровода. Расчет свойств транспортируемого газа. Плотность газа при стандартных условиях. Определение расстояния между компрессорными станциями и числа компрессорных станций. Расчет суточной производительности газопровода.

    курсовая работа, добавлен 25.03.2013

  • Компьютерное исследование поведения ультратонких пленок аргона, сжатых между алмазными поверхностями с периодическим атомарным рельефом. Его сравнение с поведением ультратонких пленок воды и аргона, заключенных между гладкими и шероховатыми пластинами.

    дипломная работа, добавлен 27.03.2012

  • Характеристика района города, определение численности его населения. Определение годового потребления газа. Определение удельных часовых расходов газа по зонам застройки. Трассировка сети низкого давления. Гидравлический расчет внутридомового газопровода.

    курсовая работа, добавлен 10.12.2011

  • Модель контура регулирования давления свежего пара. Настройки частотного корректора. Ступенчатое увеличение и уменьшение частоты. Задержка сигнала датчика давления. Моделирование импульса по характеристике изменения тока на выходе турбинного регулятора.

    дипломная работа, добавлен 11.05.2014

  • Исследование основных величин, определяющих процесс кипения: температуры и давления насыщения, удельной теплоты парообразования, степени сухости влажного пара. Определение массового расхода воздуха при адиабатном истечении через суживающееся сопло.

    лабораторная работа, добавлен 04.10.2013

  • Молярная масса и массовые теплоемкости газовой смеси. Процесс адиабатного состояния. Параметры рабочего тела в точках цикла. Влияние степени сжатия, повышения давления и изобарного расширения на термический КПД цикла. Процесс отвода теплоты по изохоре.

    курсовая работа, добавлен 07.03.2010

  • Поглощающие материалы для фотовольтаических элементов. Получение нанослоистых дисульфидов вольфрама и молибдена методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Метод нанесения водных стабилизированных суспензий на диэлектрической подложке.

    курсовая работа, добавлен 09.01.2014

  • Дифференциальные уравнения неустановившейся фильтрации газа. Основное решение линеаризованного уравнения Лейбензона. Исследование прямолинейно-параллельного установившегося фильтрационного потока несжимаемой жидкости по закону Дарси в однородном пласте.

    курсовая работа, добавлен 29.10.2014

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.