Оптическое управление расходом реактивного газа в процессах магнетронного нанесения покрытий

Осаждение пленочных покрытий сложного химического состава (оксидов, нитридов, металлов). Проблема магнетронного осаждения. Исследование влияние нестабильности мощности и давления магнетронного разряда на процесс осаждения пленок, результаты экспериментов.

Подобные документы

  • Классификация и типы полимеров, их общая характеристика и сферы практического применения, свойства: механические, теплофизические, химические, электрические, технологические. Типы полиимидов, производимых компанией Fujifilm, требования к термообработке.

    дипломная работа, добавлен 26.03.2015

  • Изучение микроструктуры гексаферритов стронция, морфологии зерен, характера распределения микродобавок, особенностей их химического и электронного состояния на поверхности кристаллитов спектральными и структурными методами анализа строения веществ.

    контрольная работа, добавлен 13.06.2010

  • Понятие несинусоидальных токов и напряжений. Виды устройств, дающих нелинейную нагрузку. Формулы определения полных сопротивлений и токов, значений мощности искажений. Экономические потери в результате воздействия гармоник на аппаратуру релейной защиты.

    презентация, добавлен 23.03.2017

  • Назначение и требования к синхронному электроприводу. Стабилизация реактивной мощности двигателя. Система управления СД с суммирующим усилителем, с подчиненным регулированием координат. Цепь реактивного и активного тока. Роль электронного коммутатора.

    презентация, добавлен 02.07.2014

  • Порядок и закономерности движения зарядов в газе, связанные с ним физические законы. Ионизация газа электронами путем отрыва одного электрона. Зависимости коэффициента ионизации газа электронами от напряженности электрического поля и давления неона.

    реферат, добавлен 14.11.2011

  • Рентгено-флуоресцентный спектральный анализ материалов. Исследование элементного состава вещества. Процесс возникновения рентгеновской флуоресценции. Аналитические возможности нейтронно-активационного анализа. Спектры излучения радиоактивного образца.

    реферат, добавлен 07.05.2019

  • Механизмы возникновения электрического разряда в газах, условия их электропроводности. Ионная электропроводимость газов. Различные типы самостоятельного разряда и их техническое применение. Искровой, коронный и дуговой разряды. "Огни святого Эльма".

    презентация, добавлен 07.02.2011

  • Структура и специфика использования приборов тлеющего разряда. Понятие, а также функциональные возможности стабилитронов. Вентили тлеющего разряда. Конструкции тиратронов. Особенности использования несамостоятельных разрядов в технологических лазерах.

    контрольная работа, добавлен 11.08.2014

  • Особенности оптического свечения ионосферы при воздействии мощными радиоволнами. Искусственное оптическое свечение ионосферы. Исследования искусственного оптического свечения ночного неба в диапазоне красного видимого света (с длиной волны 630 нм).

    дипломная работа, добавлен 13.05.2012

  • Исследование металлов, хорошо проводящих электрический ток. Полупроводники - твердые тела с промежуточной электропроводностью. Проявление различия полупроводников и металлов в характере зависимости электропроводности от температуры. Уравнение Шредингера.

    реферат, добавлен 18.02.2009

  • Реактивный двигатель: сущность и общая характеристика. Схема жидкостного реактивного двигателя. Схема прямоточного воздушно реактивного двигателя для сверхзвуковых скоростей полета. Схема турбореактивного двухконтурного двигателя, область его применения.

    реферат, добавлен 29.01.2012

  • Состав электрической сети. Активное сопротивление и его зависимость от материала, сечения и температуры. Определение величины реактивного индуктивного сопротивления. Потеря активной мощности в диэлектриках. Величина рабочей напряженности на фазах.

    лекция, добавлен 20.10.2013

  • Изучение поведения энтропии в процессах изменения агрегатного состояния. Анализ её изменения в обратимых и необратимых процессах. Свободная и связанная энергии. Исследование статистического смысла энтропии. Энергетическая потеря в изолированной системе.

    презентация, добавлен 13.02.2016

  • Устройство для получения высокочастотного индукционного разряда. Условия циклотронного резонанса. Виды реакторов высокочастотного емкостного разряда. Основные способы генерации плазмы. Зависимость скорости плазменного травления от параметров процесса.

    презентация, добавлен 02.10.2013

  • Решение задачи о рассеянии в общем и частном случае, на цилиндре. Быстрое преобразование Фурье. Скрытие материальных объектов методом волнового обтекания: основополагающие идеи, свойства маскирующих покрытий и требования, предъявляемые к ним, виды.

    курсовая работа, добавлен 03.01.2011

  • Котел как объект регулирования давления пара, его устройство, принцип работы и функциональные особенности. Описание действия регулятора и уравнение его динамики. Исследование влияния параметров настройки регулятора на показатели качества регулирования.

    контрольная работа, добавлен 29.03.2015

  • Краткая характеристика производства и потребителей электрической энергии. Схема расположения автоматизированного цеха. Выбор схемы электроснабжения. Расчёт электрических нагрузок. Выбор числа и мощности трансформаторов, компенсация реактивного тока.

    курсовая работа, добавлен 24.06.2015

  • Анализ физических свойств перовскитов, в которых сосуществуют электрическая и магнитная дипольные структуры. Общая характеристика пленок феррита висмута BiFeO3. Особенности взаимодействия электромагнитной волны и спиновой подсистемой магнитного кристалла.

    реферат, добавлен 20.06.2010

  • Описание двухступенчатого BOSH-процесса. Классификация электрических разрядов в газе. Способы создания разряда постоянного тока. Движение электрона в постоянном электрическом поле в вакууме. Зависимость типа разряда от частоты отсечки ионов и электронов.

    презентация, добавлен 02.10.2013

  • Обоснование и выбор параметров газотурбинной энергетической установки. Расчёт на номинальной мощности и частичных нагрузках. Зависимость работы от степени повышения давления. Зависимость относительных расходов топлива установки от относительной мощности.

    контрольная работа, добавлен 25.11.2013

  • Движение, возникающее при отделении от тела со скоростью какой-либо его части. Использование реактивного движения моллюсками. Применение реактивного движения в технике. Основа движения ракеты. Закон сохранения импульса. Устройство многоступенчатой ракеты.

    реферат, добавлен 02.12.2010

  • Принцип действия, конструкция и технология изготовления микромеханических реле. Методы получения гальванических покрытий. Состав электролитов никелирования, меднения и золочения. Характеристики исполнительных элементов для применения в устройствах МСТ.

    дипломная работа, добавлен 17.06.2012

  • Объяснение перехода теплоты от одного тела к другому на основе калориметрических опытов, произведенных русским ученым М.В. Ломоносовым. Определение теплоемкости металлов (алюминия и железа) при комнатной температуре, сравнение с теоретическими данными.

    презентация, добавлен 19.12.2013

  • Виды давления, классификация приборов для его измерения и особенности их назначения. Принцип действия мановакуумметров, характеристика их разновидностей. Многопредельные измерители и преобразователи давления. Датчики-реле давления, виды манометров.

    презентация, добавлен 19.12.2012

  • Рост потребления газа в городах. Определение низшей теплоты сгорания и плотности газа, численности населения. Расчет годового потребления газа. Потребление газа коммунальными и общественными предприятиями. Размещение газорегуляторных пунктов и установок.

    курсовая работа, добавлен 28.12.2011

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.