Практические аспекты плазмохимического травления
Классификация процессов травления: ионное, реактивное и плазмохимическое. Основные частицы, участвующие в процессе плазменного травления: атомы, радикалы, ионы и электроны. Рабочие параметры процесса: давление газа и скорость его потока через реактор.
Подобные документы
Фазовые состояния вещества. Реакция твердого тела на действие сил. Плотность газа, изометрический процесс. Молекулярные и поверхностные силы. Искривление световых лучей, закон и сила Архимеда. Равновесие жидкости во вращающемся сосуде, осевое давление.
курс лекций, добавлен 29.01.2014Газовый цикл и его четыре процесса, определяемые по показателю политропы. Параметры для основных точек цикла, расчет промежуточных точек. Расчет постоянной теплоемкости газа. Процесс политропный, изохорный, адиабатный, изохорный. Молярная масса газа.
контрольная работа, добавлен 13.09.2010- 53. Термодинамические процессы. Определение работы и теплоты через термодинамические параметры состояния
Взаимосвязь между количеством теплоты, внутренней энергией и работой; методы исследования основных термодинамических процессов, установление зависимости между основными параметрами состояния рабочего тела в ходе процесса; изменения энтальпии, энтропии.
реферат, добавлен 23.01.2012 Определение углового ускорения и частоты вращения маховика через определенное время после начала действия силы. Расчет концентрации молекул газа в баллоне с кислородом. Влияние силового поля в направлении силовых линий на скорость заряженной пылинки.
контрольная работа, добавлен 26.06.2012Волновой процесс звукового поля в газах и жидкостях. Амплитуда акустического давления, волновые уравнения гидродинамики. Закон сохранения массы вещества, колебательная скорость и звуковое давление. Сдвиг фаз между акустическим давлением и колебанием.
контрольная работа, добавлен 26.09.2011Теория движения жидкости. Закон сохранения вещества и постоянства. Уравнение Бернулли для потока идеальной и реальной жидкости. Применение уравнения Д. Бернулли для решения практических задач гидравлики. Измерение скорости потока и расхода жидкости.
контрольная работа, добавлен 01.06.2015Определение средней скорости. Модули линейной скорости. Движение с ускорением. Применение законов Ньютона. Кинематический закон движения. Зависимость скорости от времени. Модуль импульса, закон сохранения энергии. Закон Дальтона и парциальное давление.
задача, добавлен 04.10.2011Процессы, которые происходят при взаимодействии тел. Закон сохранения импульса, условия применения. Основа вращения устройства "сигнерова колеса". История проекта ракеты с пороховым двигателем. Технические характеристики корабля-спутника "Восток-1".
презентация, добавлен 06.12.2011Изотермический, адиабатический и политропический тепловые режимы. Эффективность целевой реакции. Материальный баланс идеальных гомогенных реакторов. Периодический идеальный реактор, характеристическое уравнение. Материальный баланс непрерывного реактора.
презентация, добавлен 17.03.2014Реактивное движение среди растительного и животного мира. Примеры ракетных двигателей. Применение ракет в военном деле, в научных и метеорологические исследования, для нужд космонавтики, в любительских и профессиональных целях, в ракетных автомобилях.
презентация, добавлен 30.09.2012Предохранительные сбросные клапаны на газопроводах для автоматического сброса газа в случае кратковременного повышения давления сверх установленного. Плотность газа в рабочих условиях. Определение необходимого сечения предохранительного клапана.
презентация, добавлен 14.12.2014Предпочтительные направления пробоя в диэлектриках с кристаллической решёткой. Рост силы тока, сопровождающей пробой, по экспоненциальному закону, характерному для процесса образования лавины. Медленные электроны как основные активные агенты ионизации.
реферат, добавлен 22.04.2015Нейтронно-физический и теплогидравлический расчёт уран-графитового реактора. Параметры нестационарных и переходных процессов. Эффекты реактивности при отравлении реактора. Расчёт нуклидного состава и характеристик, связанных с выгоранием топлива.
курсовая работа, добавлен 20.12.2015Механизм возникновения свободных носителей электрических зарядов. Электролитическая диссоциация - распад молекул на ионы под действием растворителя. Понятие электролита - жидкого проводника, в котором подвижными носителями зарядов являются только ионы.
презентация, добавлен 02.02.2011Принципы реактивного движения, которые находят широкое практическое применение в авиации и космонавтике. Первый проект пилотируемой ракеты с пороховым двигателем известного революционера Кибальчича. Устройство ракеты-носителя. Запуск первого спутника.
презентация, добавлен 23.01.2015Реактивное движение, его применение: двигатели, оружие; проявление закона сохранения импульса тела при запуске многоступенчатой ракеты. История создания реактивной техники К.Э. Циолковским, Ю.А. Гагариным, С.П. Королевым. Реактивное движение в природе.
реферат, добавлен 08.08.2011Анализ теорий РВУ. Построение релятивистского волнового уравнения отличающегося от даффин-кеммеровского для частицы со спином 1, содержащее кратные представления. Расчет сечений рассеяния на кулоновском центре и Комптон-эффекта для векторной частицы.
дипломная работа, добавлен 17.02.2012Реактивное движение: сохранение импульса изолированной механической системы тел как сущность и принцип его возникновения. Примеры реактивного движения в природе и технике: "бешеный" огурец, морские животные, насекомые. Конструкция водометного двигателя.
реферат, добавлен 27.02.2011Абсолютное и избыточное давление в точке, построение эпюры избыточного давления. Определение силы избыточного давления на часть смоченной поверхности. Режим движения воды на каждом участке короткого трубопровода. Скорость в сжатом сечении насадки.
контрольная работа, добавлен 07.03.2011Определение низшей теплоты сгорания газа и плотности сгорания газообразного топлива. Расчет годового расхода и режима потребления газа на коммунально-бытовые нужды. Вычисление количества газораспределительных пунктов, подбор регуляторов давления.
курсовая работа, добавлен 21.12.2013Определение концентрации молекул разряженного газа в произвольном объеме. Моделирование набегающего потока, движения молекулы внутри объема. Генерация вектора скорости молекулы и координат точки влета. Моделирование потока собственных газовыделений.
дипломная работа, добавлен 06.07.2011Порядок построения профиля канала переменного сечения. Методика расчета параметров газового потока. Основные этапы определения силы воздействия потока на камеру и тяги камеры при разных вариантах газового потока. Построение графиков изменения параметров.
курсовая работа, добавлен 18.11.2010Широкое применение воды и водяного пара в качестве рабочих тел в паровых турбинах тепловых машин, атомных установках и в качестве теплоносителей в различного рода теплообменных аппаратах химико-технологических производств. Характеристика процессов.
реферат, добавлен 25.01.2009- 74. Жак Шарль
Сущность физического закона Жака Шарля (при постоянном объёме давление идеального газа прямо пропорционально его абсолютной температуре). Изохорный процесс в идеальном газе и в твердом теле. Изохора данного процесса в прямоугольной системе координат.
презентация, добавлен 28.01.2016 Суперсверхкритическое давление. Теоретический цикл Карно. Теоретический цикл Ренкина на сверхкритические параметры и с промперегревом. Влияние повышения давления на влажность в последней ступени. Пути совершенствования термодинамического цикла.
презентация, добавлен 08.02.2014