Практические аспекты плазмохимического травления
Классификация процессов травления: ионное, реактивное и плазмохимическое. Основные частицы, участвующие в процессе плазменного травления: атомы, радикалы, ионы и электроны. Рабочие параметры процесса: давление газа и скорость его потока через реактор.
Подобные документы
Описание лазерных эффектов и эффектов квантования. Характеристика изотопного газа и плазменного образования, которое конфокально представляет собой объект в отсутствие тепло- и массообмена с окружающей средой. Когерентность идеальной тепловой машины.
реферат, добавлен 23.12.2010Кинетика химических реакций и массообмена пористых углеродных частиц с газами с учетом эндотермической реакции и стефановского течения. Влияние температуры и диаметра частицы на кинетику химических реакций и тепломассообмен углеродной частицы с газами.
дипломная работа, добавлен 14.03.2008Годовые расходы газа на отопление, горячее водоснабжение, промышленное потребление. Максимальный часовой расход газа в жилых домах (квартирах). Падение давления в местных сопротивлениях: колено, тройники, запорная арматура. Расчет внутреннего газопровода.
курсовая работа, добавлен 11.11.2014Понятие случайного процесса. Описания случайных процессов. Состояние системы с хаотической динамикой. Метод ансамблей Гиббса. Описание движения шаровидной частицы. Метод решения задач броуновского движения. Стохастическое дифференциальное уравнение.
презентация, добавлен 22.10.2013Основные свойства трития. Реакторы для наработки трития. Пути решения проблемы газовых выбросов. Оценка радиационной опасности трития от различных ядерных объектов. Химические и физические свойства бериллия. Вычисление плотности потока нейтронов.
дипломная работа, добавлен 20.01.2013Дифференциальные уравнения неустановившейся фильтрации газа. Основное решение линеаризованного уравнения Лейбензона. Исследование прямолинейно-параллельного установившегося фильтрационного потока несжимаемой жидкости по закону Дарси в однородном пласте.
курсовая работа, добавлен 29.10.2014Выбор рабочего давления газопровода. Расчет свойств транспортируемого газа. Плотность газа при стандартных условиях. Определение расстояния между компрессорными станциями и числа компрессорных станций. Расчет суточной производительности газопровода.
курсовая работа, добавлен 25.03.2013Первый закон термодинамики. Обратимые и необратимые процессы. Термодинамический метод их исследования. Изменение внутренней энергии и энтальпии газа. Графическое изображение изотермического процесса. Связь между параметрами газа, его теплоемкость.
лекция, добавлен 14.12.2013Классификация радиоволн по диапазонам и способам распространения. Явление рефракции и дифракции, рассеивания, отражения и преломления. Параметры антенн. Параметры и характеристики передающих и приемных антенн. Применение ДМВ, СМВ, МВ, ММВ и ДММВ.
реферат, добавлен 29.08.2008Определение удельной и молярной теплоемкости. Уравнение Менделеева-Клапейрона. Расчет теплоемкости газа, сохраняющего неизменным объем. Метод наименьших квадратов. Отношение теплоемкости газа при постоянном давлении к теплоемкости при постоянном объеме.
лабораторная работа, добавлен 21.11.2013Понятие технологических процессов, скорость протекания которых определяется скоростью переноса вещества (массы) из одной фазы в другую. Основные виды массообменных процессов, их фазовое равновесие и материальный баланс. Основное уравнение массопередачи.
презентация, добавлен 29.09.2013- 87. Изопроцессы
Уравнение состояния идеального газа, закон Бойля-Мариотта. Изотерма - график уравнения изотермического процесса. Изохорный процесс и его графики. Отношение объема газа к его температуре при постоянном давлении. Уравнение и графики изобарного процесса.
презентация, добавлен 18.05.2011 - 88. Ядерный реактор
Главные особенности использования замедлителей нейтронов в ядерных реакторах. Общее понятие о критической массе. Принцип действия и основные элементы реакторов построенных на быстрых нейтронах. Первая цепная ядерная реакция деления урана в США и России.
презентация, добавлен 22.04.2013 Скорости газовых молекул. Обзор опыта Штерна. Вероятность события. Понятие о распределении молекул газа по скоростям. Закон распределения Максвелла-Больцмана. Исследование зависимости функции распределения Максвелла от массы молекул и температуры газа.
презентация, добавлен 27.10.2013Методика нахождения недостающих параметров цикла адиабатного процесса. Расчет теплообмена от нагретых газов к воде через многослойную стенку из слоёв сажи, накипи, металла и масла. Вычисление коэффициента теплопроводности со стороны воды и газа.
контрольная работа, добавлен 13.11.2009Описание экспериментальной установки, принцип измерения давления воздуха и определение его оптимального значения. Составление журнала наблюдения и анализ полученных данных. Вычисление барометрического давления аналитическим и графическим методом.
лабораторная работа, добавлен 06.05.2014Основные потребители сжиженного газа, режимы потребления и транспортировка. Типология методов гидравлических расчетов газопроводов и необходимые для этого данные. Расчет газопроводов низкого давления для ламинарного, критического и турбулентного режимов.
курсовая работа, добавлен 15.01.2014Описание работы Запорожской атомной электростанции. Принцип действия энергетических реакторов. Технология выработки электроэнергии. Подсистемы контроля: внутриреакторного и нейтронного потока. Определение объектов анализируемой измерительной информации.
реферат, добавлен 06.05.2014Скорости газовых молекул. Понятие о распределении молекул газа по скоростям. Функция распределения Максвелла. Расчет среднеквадратичной скорости. Математическое определение вероятности. Распределение молекул идеального газа. Абсолютное значение скорости.
презентация, добавлен 13.02.2016Изучение механизма работы человеческого уха. Определение понятия и физических параметров звука. Распространение звуковых волн в воздушной среде. Формула расчета скорости звука. Рассмотрение числа Маха как характеристики безразмерной скорости течения газа.
реферат, добавлен 18.04.2012Стационарная передача через плоскую стенку. Плотность теплового потока через стальную стенку и слой накипи. Расчет тепловой изоляции стальной трубки по заданным параметрам. Нестационарный нагрев длинного круглого вала. Сложный теплообмен, потеря тепла.
контрольная работа, добавлен 16.11.2010- 97. Процесс кипения
Основные положения молекулярной теории строения вещества. Скорость движения молекул вещества. Переход вещества из газообразного состояния в жидкое. Процесс интенсивного парообразования. Температура кипения и давление. Поглощение теплоты при кипении.
презентация, добавлен 05.02.2012 Основные типы, устройство, принцип действия датчиков, применяемых для измерения давления. Их достоинства и недостатки. Разработка пьезоэлектрического преобразователя. Элементы его структурной схемы. Расчет функций преобразования, чувствительности прибора.
курсовая работа, добавлен 16.12.2012- 99. Герметичность
Компьютерное моделирование и способы достижения требуемой герметичности. Модель протекания через зазор между шероховатыми поверхностями и модель фильтрации жидкости через пористую среду. Связь между контактным давлением и степенью герметичности.
контрольная работа, добавлен 23.12.2015 - 100. Основы термодинамики
Уравнение Менделеева-Клайперона, газовая постоянная. Отношение абсолютных давлений и температур. Нахождение количества теплоты произвольной массы газа в изобарном процессе. Состояние идеального газа. Работа в изотермическом и адиабатном процессах.
задача, добавлен 16.06.2012