Проекционная ФЛГ. Плазмохимическое осаждение

Проекционная литография. Перенос изображения с фотошаблона на полупроводниковую подложку с помощью оптических систем. Основная задача проекционной фотолитографии - обеспечение автоматического совмещения. Сравнение проекционной литографии с контактной.

Подобные документы

  • Порядок и принципы построения волоконно-оптических систем передачи информации. Потери и искажения при их работе, возможные причины появления и методы нейтрализации. Конструктивная разработка фотоприемного устройства, охрана труда при работе с ним.

    дипломная работа, добавлен 10.06.2010

  • Дисторсия ("искажение") абсолютная и относительная. Хроматические аберрации, проявление зависимости характеристик оптической системы от длины волны света. Принципы ахроматизации оптических систем. Абсолютный и относительный хроматизм увеличения.

    реферат, добавлен 15.01.2009

  • Принцип действия оптических дисковых систем, в которых считывание информации с компакт-диска производится с постоянной скоростью. Определение передаточных функций звеньев. Вычисление передаточной функции двигателя. Синтез корректирующего устройства.

    курсовая работа, добавлен 25.01.2011

  • Виды автоматизированного регулирования оптических дисковых систем. Передаточные функции звеньев. Характеристика сигнала расфокусировки, полученного методом ножа Фуко. Расчёты передаточных функций звеньев и функций замкнутой и разомкнутой системы.

    курсовая работа, добавлен 25.01.2011

  • Исследование технологии построения систем передачи со спектральным уплотнением оптических каналов WDM/DWDM. Характеристика основных принципов работы анализаторов оптического спектра. Организация тестирования параметров линейных сигналов систем WDM/DWDM.

    презентация, добавлен 05.02.2011

  • Анализ исходной системы автоматического управления, определение передаточной функции и коэффициентов. Анализ устойчивости исходной системы с помощью критериев Рауса, Найквиста. Синтез корректирующих устройств и анализ синтезированных систем управления.

    курсовая работа, добавлен 19.04.2011

  • Структура замкнутой линейной непрерывной системы автоматического управления. Анализ передаточной функции системы с обратной связью. Исследование линейной импульсной, линейной непрерывной и нелинейной непрерывной систем автоматического управления.

    контрольная работа, добавлен 16.01.2011

  • История появления и классификация систем видеоконференцсвязи. Аппаратные, программные, специализированные, стационарные телекоммуникационные технологии интерактивного взаимодействия. Сравнение основных систем начального уровня: Sony, Polycom, Tandberg.

    отчет по практике, добавлен 07.04.2013

  • Компоненты волоконно-оптических линий связи спектрального уплотнения. Сравнение систем плотного мультиплексирования. Описание лазерных диодов. Моделирование 8-ми канальной DWDM линии с применением системы автоматизированного проектирования LinkSim.

    дипломная работа, добавлен 14.09.2011

  • Передаточные функции, используемые в функциональной схеме. Сравнивающее суммирующее устройство. Структурная и функциональная схемы систем автоматического регулирования. Анализ управляемости и наблюдаемости. Выбор критерия оптимальности и ограничений.

    контрольная работа, добавлен 20.12.2012

  • Дискретные системы автоматического управления как системы, содержащие элементы, которые преобразуют непрерывный сигнал в дискретный. Импульсный элемент (ИЭ), его математическое описание. Цифровая система автоматического управления, методы ее расчета.

    реферат, добавлен 18.08.2009

  • Анализ и синтез линейных двухконтурных систем автоматического регулирования (САР), построенных по принципу систем подчинённого регулирования с последовательной коррекцией. Составление схемы оптимальной двухконтурной статической и астатической САР.

    курсовая работа, добавлен 11.12.2013

  • Основная идея адаптивной обработки сигнала. Алгоритмы адаптивной фильтрации. Детерминированная задача оптимальной фильтрации. Адаптивные фильтры в идентификации систем. Алгоритм RLS с экспоненциальным забыванием. Реализация моделей адаптивных фильтров.

    курсовая работа, добавлен 11.03.2015

  • Математический аппарат при анализе непрерывных систем автоматического регулирования. Сущность принципа суперпозиции для линейных систем. Линеаризация динамических САР. Дифференциальные уравнения линейных САР. Передаточная функция в изображениях Лапласа.

    лекция, добавлен 28.07.2013

  • Изучение назначения волоконно-оптических кабелей как направляющих систем проводной электросвязи, использующих в качестве носителя информационного сигнала электромагнитное излучение оптического диапазона. Характеристика и классификация оптических кабелей.

    реферат, добавлен 11.01.2011

  • Эффективные пути развития сетевой инфраструктуры. Внедрение сетевых решений на базе технологий сетей Passive Optical Network. Основные топологии построения оптических систем. Сравнение технологий APON, EPON, GPON. Сущность и виды оптического волокна.

    дипломная работа, добавлен 01.11.2013

  • Технологический процесс механической обработки оптических деталей. Сущность процессов обработки оптических деталей. Шлифование свободным абразивом и закрепленным абразивом. Полирование оптических деталей. Припуски операционные. Понятие о припуске.

    реферат, добавлен 25.11.2008

  • Преимущества оптических систем передачи перед системами передачи, работающими по металлическому кабелю. Конструкция оптических кабелей связи. Технические характеристики ОКМС-А-6/2(2,0)Сп-12(2)/4(2). Строительство волоконно-оптической линии связи.

    курсовая работа, добавлен 21.10.2014

  • Обеспечение перевозочного процесса надежно действующими устройствами автоматики, телемеханики и связи как основная задача дистанции сигнализации и связи. Ознакомление с оборудованием цеха и графиком технологического процесса обслуживания устройств.

    отчет по практике, добавлен 14.06.2015

  • Сущность и значение навигации с помощью систем глобального позиционирования. Принципы работы GPS и их использование. Особенности устройства навигатора. Специфика растрового изображения и векторных карт. Технические характеристики TeXet TN-701BT.

    реферат, добавлен 04.04.2011

  • Промывка механических деталей. Чистка оптических деталей и узлов. Сборка неподвижных зеркал и призм. Методы центрировки зеркала или призмы в оправе. Сборка вращающихся призм. Выравнивание изображения. Юстировка призмы методом половинных поправок.

    реферат, добавлен 29.11.2008

  • Проектирование и расчет локальной волоконно-оптической линии связи, ее элементная база и основные параметры. Топология сети "звезда". Код передаваемого сигнала. Выбор оптических кабеля, соединителей, разветвителей, типов излучателя, фотодетектора.

    реферат, добавлен 18.11.2011

  • Проектирование систем автоматического управления (САУ), методы их расчетов. Коэффициенты усиления в прямом канале управления, передачи обратных модальных связей, обеспечивающих показатели качества замкнутой САУ. Переходные процессы синтезированной САУ.

    курсовая работа, добавлен 06.04.2013

  • Построение проверяющего и диагностических тестов для непрерывной систем. Построение тестов для комбинационной релейно-контактной схемы. Метод цепей и сечений. Построение тестов для комбинационных схем на логических элементах и релейно-контактной схемы.

    курсовая работа, добавлен 20.01.2013

  • Нахождение аналитических выражений для частотных характеристик линейных систем автоматического управления. Построение при помощи компьютерной программы частотных характеристик задания. Использование заданных вариантов параметров динамических звеньев.

    курсовая работа, добавлен 05.04.2015

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.