Проекционная ФЛГ. Плазмохимическое осаждение

Проекционная литография. Перенос изображения с фотошаблона на полупроводниковую подложку с помощью оптических систем. Основная задача проекционной фотолитографии - обеспечение автоматического совмещения. Сравнение проекционной литографии с контактной.

Подобные документы

  • Исследование динамики элементов систем автоматического управления. Анализ устойчивости и режима автоколебаний нелинейной САУ температуры в сушильной камере с использованием методов фазовых траекторий, гармонической реализации, алгебраическим и частотным.

    курсовая работа, добавлен 06.12.2012

  • Определение передаточных функций звеньев системы автоматического регулирования (САР). Оценка устойчивости и исследование показателей качества САР. Построение частотных характеристик разомкнутой системы. Определение параметров регулятора методом ЛАЧХ.

    курсовая работа, добавлен 31.05.2013

  • Классификация адаптивных систем. Достоинства и недостатки типов и классов адаптивных, самонастраивающихся систем. Разработка оригинальной схемы адаптивной системы. Системы со стабилизацией основного контура, идентификатором или уточняемой моделью объекта.

    статья, добавлен 24.07.2013

  • Элементы автоматического управления. Проектирование цикловой дискретной системы автоматического управления с путевым контроллером. Исходный граф, схема механизмов и граф функционирования устройства. Синтез логических функций управления выходами.

    контрольная работа, добавлен 17.08.2013

  • Исследование устойчивости систем управления при наличии неопределенности в пространстве параметров (робастная теория). Задача синтеза робастных систем управления. Объекты управления с мультипликативной погрешностью (неопределенностью), их схема.

    реферат, добавлен 19.03.2016

  • Определение параметров регулятора и компенсатора для непрерывных системы и для дискретной системы возмущающего воздействия. Моделирование переходных процессов, моделирование дискретной и непрерывной систем и расчет наблюдателя переменных состояния.

    курсовая работа, добавлен 07.12.2014

  • Устройство и параметры фидерных трактов антенных систем. Понятие о режимах работы ФЛ. Назначение и требования, предъявляемые к фидерным трактам антенных систем. Режимы работы и характеристики фидерных линий. Применение направляющих систем различных типов.

    презентация, добавлен 08.03.2011

  • Знакомство с методами и способами измерения затухания и оптической мощности волоконно-оптических линий связи. Способы проектирования и изготовления измерителя оптической мощности. Общая характеристика распространенных типов оптических интерфейсов.

    курсовая работа, добавлен 19.03.2013

  • Основные контролируемые параметры электронно-оптических преобразователей (ЭОП). Интегральная чувствительность (чувствительность с фильтром) фотокатода, коэффициент преобразования, предел разрешения, рабочее разрешение, электронно-оптическое увеличение.

    реферат, добавлен 26.11.2008

  • Методы имитационного моделирования системы автоматического регулирования и исследования основных характеристик систем фазовой автоподстройки частоты. Структурная схема системы фазовой автоподстройки частоты. Элементы теории систем фазового регулирования.

    лабораторная работа, добавлен 17.12.2010

  • Оптическое волокно, его классификация и параметры. Ступенчатый и градиентный профили показателя преломления. Применение оптических волокон для линий связи. Зависимость хроматической дисперсии в одномодовых ОВ от длины волны, показатель преломления.

    диссертация, добавлен 30.06.2015

  • Методики и средства измерения мутности. Характеристика моделей волоконно-оптических датчиков и турбидиметров. Разработка прибора для диагностики состояния и свойств технических сред и масел; метрологическое обеспечение расчета конструкции мутномера.

    дипломная работа, добавлен 21.06.2013

  • Общее описание и назначение, функциональные особенности и структура пассивных компонентов волоконно-оптических линий связи: соединители и разветвители. Мультиплексоры и демультиплексоры. Делители оптической мощности, принцип их действия и значение.

    реферат, добавлен 10.06.2011

  • Общие сведения о радиорелейных и атмосферных оптических линиях связи, их сравнительная характеристика, оценка достоинств и недостатков практического использования. Методика расчета атмосферной оптической линии связи между двумя заданными точками.

    курсовая работа, добавлен 09.12.2014

  • Расчет настроек разных типов регуляторов методом расширенных характеристик. Построение графиков переходных процессов. Способы реализации, принцип работы и вычисление основных параметров комбинированной и цифровой систем автоматического регулирования.

    курсовая работа, добавлен 11.11.2013

  • Принцип действия, архитектура и виды технологий пассивных оптических сетей (PON). Выбор трассы прокладки оптического кабеля, выбор и установка оборудования на центральном и терминальных узлах. Особенности строительства волоконно-оптических линий связи.

    дипломная работа, добавлен 01.11.2013

  • Обоснование выбора оптических методов измерения температуры в условиях воздействия электромагнитных полей. Поглощение света полупроводниками и методика определения спектральных характеристик полимерных оптических волокон, активированных красителями.

    дипломная работа, добавлен 22.07.2012

  • Параметры оптических волокон. Методы измерения затухания, длины волны, расстояний, энергетического потенциала, дисперсии и потерь в волоконно-оптических линиях связи. Разработка лабораторного стенда "Измерение параметров волоконно-оптического тракта".

    дипломная работа, добавлен 07.10.2013

  • Основные технологические операции: заготовка, мелкая шлифовка, полировка, центрировка, склейка. Вспомогательные технологические операции. Изготовление комплекта шлифовальников и полировальников. Полировка оптических поверхностей, полировка на смоле.

    реферат, добавлен 20.11.2008

  • Соединение оптических волокон - операция при монтаже кабеля, предопределяющей качество и дальность связи по волоконно-оптической линии. Внешние и внутренние потери при монтаже. Сварка, механические сростки и коннекторы как способы соединения волокон.

    контрольная работа, добавлен 20.02.2011

  • Режимы работы и анализ исходной релейно-контактной установки. Обоснование выбора серии микросхем и разработка принципиальной электрической схемы на бесконтактных логических элементах. Выбор программируемого контроллера и разработка программы на языке РКС.

    курсовая работа, добавлен 25.04.2012

  • Рассмотрение различных типов разветвителей оптических сигналов. Литературно-патентный поиск по конструкциям, методам. Описание технологии изготовления разветвителей в стеклянных подложках, методики измерения их геометрических параметров, числовых апертур.

    курсовая работа, добавлен 20.07.2015

  • Теория и методические аспекты сварки оптических волокон. Значение потерь для неразъемного соединения. Неоднородности при сварке, принцип работы рефлектометра. Причины истинного затухания на сварке. Разница модовых пятен, определение качества сварки.

    презентация, добавлен 19.11.2013

  • Конструкции и поляризационные свойства световодов, дисперсия сигналов оптического излучения. Виды оптических коннекторов и соединительных адаптеров. Принцип работы и структура оптического рефлектометра, его применение для измерения потерь в коннекторах.

    курсовая работа, добавлен 11.11.2012

  • Восстановление изображения предмета. Деформация поверхности жидкости под действием звукового давления. Голограммы, записанные с помощью сканирующего источника света. Технология хранения информации. Запись и считывание голограммы оптического диска.

    курсовая работа, добавлен 04.06.2009

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.