Технология литографических процессов

Анализ ограничений разрешающей способности фотолитографии. Сущность и этапы литографии: формирование слоя фоторезиста; создание рельефной структуры; перенос рельефа фоторезиста на технологический слой подложки. Развитие теневых методов литографии.

Подобные документы

  • Анализ чертежа детали и её служебного назначения. Выбор метода получения и проектирования заготовки. Проектирование маршрутно-технологического процесса. Выбор методов и средств контроля точности изготовления детали, её технологические размерные расчёты.

    курсовая работа, добавлен 26.12.2013

  • Поверхность - наружный слой детали, имеющий макро и микроотклонения от идеальной геометрической формы и изменённые физические и химические свойства. Стандартизированные параметры шероховатости поверхностного слоя изделий, принятые в разных странах.

    статья, добавлен 02.02.2019

  • Природа адгезии и аутогезии. Характеристика, принцип работы и классификация воздушных фильтров. Материалы, применяемые в фильтрполотне Петрянова-Соколова. Строение и преимущества НЕРА фильтра. Современные технологии формирования фильтрующего слоя.

    реферат, добавлен 09.03.2019

  • Исследование разрешающей способности рангового обнаружителя одиночных импульсов. Рассмотрение полученных экспериментальных зависимостей вероятностей обнаружения – разрешения двух импульсов по временному положению от задержки между фронтами импульсов.

    статья, добавлен 31.10.2017

  • Результаты исследований по определению адгезионной способности натриевой соли карбоксиметилцеллюлозы в целях ее применения как компонента пылеподавляющего слоя. Основные физико-химические характеристики вещества. Особенности методики исследований.

    статья, добавлен 29.07.2018

  • Ознакомление с методикой разработки и построения рациональных технологических процессов изготовления типовых деталей для машиностроительного комплекса. Изучение способов получения заготовки изделий. Классификационная характеристика режимов резания.

    курс лекций, добавлен 27.04.2017

  • Анализ общих закономерностей механизма накопления поверхностными слоями материала энергии. Проведение экспериментальных исследований влияния различных условий механической обработки на величину скрытой энергии деформации для разных групп материалов.

    автореферат, добавлен 10.08.2018

  • Разработка упрочняющих технологий для управления фазовым составом, структурой и свойствами поверхностного слоя железоуглеродистых сплавов для повышения его износостойкости. Теплофизические модели лазерной и плазменной закалки, ионная имплантация.

    реферат, добавлен 12.10.2016

  • Создание более жестких конструкций как один из основных методов повышения динамических характеристик станка. Рассмотрение основных особенностей информационных систем технологических машин. Анализ модуля экспертной системы энергосберегающего управления.

    книга, добавлен 13.04.2013

  • Изучение возможности применения бентонитов как теплопоглощающего компонента смазочно-охлаждающих технологических сред. Форма адсорбционного слоя воды на поверхности бентонита и механизм проявления эффекта дегидратации. Разработка методов активации СОТС.

    статья, добавлен 14.01.2017

  • Запасы мореного дуба на территории Российской Федерации, в реках Сура и Мокша Пензенской области. Развитие и совершенствование технологии сушки и обработки мореного дуба. Влияние на формирование неповторимой структуры и свойств дерева течения и песка рек.

    статья, добавлен 20.08.2018

  • Создание эскиза в среде Компас. Создание эскизов деталей универсального станочного приспособления и построение их 3D-моделей. Инженерный анализ модели технологической оснастки в Autodesk Inventor. Анализ напряженно-деформированного состояния детали.

    курсовая работа, добавлен 18.02.2019

  • Сущность, назначение и сравнительная оценка офсетной, трафаретной и гектографической печати. Последовательность разработки технологических процессов. Расчет себестоимости продукции, производительности труда, производительности и мощности оборудования.

    контрольная работа, добавлен 06.10.2017

  • Анализ микробиологических и конструктивно-технологических методов интенсификации процесса анаэробного сбраживания. Исследование их преимуществ и недостатков. Описания добавок, стимулирующих процессы окисления. Иммобилизация микроорганизмов на носителе.

    статья, добавлен 21.01.2018

  • Ознакомление с физико-химическими основами процесса обжига. Расчет минералогического состава цинкового концентрата. Рассмотрение технологических требований к системе управления печью обжига. Характеристика организационно-технических мероприятий.

    дипломная работа, добавлен 20.04.2015

  • Обоснование необходимости получения диэлектрических свойств зерновых материалов для исследования процессов СВЧ-конвективной тепловой обработке зерна. Описана лабораторная установка и результаты эксперимента по исследованию взвешенного слоя зерна.

    статья, добавлен 31.10.2017

  • Общая характеристика технологии производства печатной схемы. Особенности методов изготовления плат: субтрактивный, позитивный, негативный, металлизированных отверстий, их преимущества и недостатки. Создание двухсторонних плат с переходными соединениями.

    контрольная работа, добавлен 11.01.2010

  • Сравнительный анализ процессов и оборудования приготовления пива. Характеристики перерабатываемого сырья и готовой продукции: прозрачность, цвет, горечь пива и пенообразование. Технологический процесс приготовления пива и анализ машинно-аппаратурных схем.

    курсовая работа, добавлен 11.03.2014

  • Использование гранулированного льда для строительства ледовых переправ. Преимущества применения метода кипящего слоя для получения ледяных гранул. Разработка устройства аппарата с вихревым кипящим слоем и рассмотрение принципов его функционирования.

    статья, добавлен 01.11.2018

  • Обзор ассортимента и технологии производства. Анализ структуры управления. Характеристика сырья, методов переработки. Резервы повышения эффективности. Качество использования оборудования. Меры экологической безопасности. Внедрение новых технологий.

    отчет по практике, добавлен 03.10.2017

  • Технологический контроль чертежа детали и анализ детали на технологичность, конструкция. Определение типа производства и его характеристика. Выбор вида и метода получения заготовки. Разработка проектируемого и операционного технологических процессов.

    курсовая работа, добавлен 16.01.2014

  • Анализ элементов и систем автоматического регулирования. Сущность преобразования структурной схемы в эквивалентную. Функциональный график автоматизации химико-технологических процессов. Применение стандартных условных обозначений для электроаппаратуры.

    контрольная работа, добавлен 26.10.2015

  • Анализ методики расчета кипящего слоя (избытка воздуха, скорости на выходе из слоя, расхода сгоревшего топлива, воздуха под решетку) при заданных конструктивных характеристиках и температуре слоя. Расчет теплообмена в топке. Тепловой баланс котлоагрегата.

    лабораторная работа, добавлен 05.08.2013

  • Основные положения теории регулируемых фазовых переходов. Рассмотрение способов и технологий улучшения качества нефтепродуктов и улучшения технико-экономических показателей процессов. Построение модели сложной структуры эмульсии типа "вода в нефти".

    реферат, добавлен 11.12.2017

  • Математическая модель процессов мембранной переработки, показатели их эффективности – селективность и удельная производительность. Способы борьбы с явлением "концентрационной поляризации", накоплением слоя задерживаемых веществ на поверхности мембраны.

    статья, добавлен 14.02.2017

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.