Методы и средства измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне
Разработка методов и средств измерений линейных размеров элементов в субмикронной и нанометровой областях. Перспективы уменьшения критического размера элемента микросхемы от 0,35 до 0,07 мкм при сохранении погрешности их измерения в контрольной операции.
Подобные документы
Рассмотрение задачи нахождения апертурного распределения антенны по данным измерений в области ближнего излученного поля. Измерения амплитудно-фазовых распределений в раскрытии антенны. Разработка технологий измерений, осуществляемых в зоне излучения.
статья, добавлен 30.10.2018Разработка схемы и конструкции зеркальной антенны. Расчет ее размеров. Выбор облучателя, расчет его электрических характеристик и размеров. Расчет диаграммы направленности в двух ортогональных плоскостях и коэффициента усиления в диапазоне рабочих частот.
курсовая работа, добавлен 21.10.2012Роль оптических измерений в естественнонаучных и научно-технических исследованиях, технической и биологической практике. Этапы создания современной оптической системы, расчет ее параметров и оценка качества изображения. Средства оптических измерений.
курс лекций, добавлен 07.08.2009Моделирование методов компенсации ошибок измерений лазерного дальномерного устройства. Состав и функции блоков имитационной модели, зависимость коэффициента управления усилением от уровня шума. Ошибки измерений лазерного дальномерного устройства.
статья, добавлен 19.06.2018Средства измерений, состоящие из приборов и преобразователей. Основные виды средств измерений и их назначение. Оптические преобразователи и источники излучения. Дистанционная передача сигнала. Обработка информации по некоторому заданному алгоритму.
реферат, добавлен 11.01.2015Принципы измерения расстояний и линейных перемещений. Оптические схемы интерферометров со счетом полос на основе квадратурных сигналов и на базе частотной модуляции. Составляющие погрешности измерения перемещений. Положение ближней и дальней зоны.
курсовая работа, добавлен 17.05.2010Применение алгоритма быстрого преобразования Фурье при инженерных расчетах и изучении физических процессов в линейных цепях в переходном и установившемся режимах. Операционный и частотный методы анализа сигналов в линейных цепях в программе Matlab.
курсовая работа, добавлен 23.05.2013Принцип построения аппаратуры с возбуждением пьезоэлемента (пьезопреобразователя) широкополосным сигналом с равномерным спектром в резонансной области частот. Структурная схема средства измерений. Пример расчета пьезомодуля для образца в форме стержня.
статья, добавлен 30.05.2017Топологический расчет транзистора. Расчет геометрических размеров резисторов. Расчет геометрических размеров конденсаторов. Расчет топологии и технологический процесс полупроводникового кристалла. Биполярные микросхемы с изоляцией р-п переходом.
курсовая работа, добавлен 23.03.2010Характеристика математической модели цифрового средства измерений, содержащего многошаговый аналого-цифровой преобразователь последовательных приближений (АЦП). Расчетные соотношения для оценки результата измерений с учетом особенностей построения АЦП.
статья, добавлен 18.07.2013Метод обработки и представления результатов однократных измерений на примере измерения сопротивления реостата. Сравнение измерения сопротивления реостата с помощью электромагнитных приборов и с применением вольтметра магнитоэлектрической системы.
лабораторная работа, добавлен 28.08.2015Системное влияние эффектов рефракции на результаты измерений, осуществляемых с помощью электромагнитных волн, прошедших тропосферу и ионосферу Земли. Анализ роли эффектов в формировании погрешности измерений для навигационных спутниковых систем.
статья, добавлен 14.07.2016Использование метода сравнения показаний при определении погрешности средств измерений в метрологии. Принцип действия полупроводниковых приборов. Применение транзистора в радиоэлектронике. Средства пожаротушения, их назначение и правила эксплуатации.
контрольная работа, добавлен 07.10.2015Приведены результаты проверки статических гипотез 12-ти выборок погрешностей навигационных измерений и показано, что две выборки содержат погрешности, которые подчиняются нормальному закону, а погрешности остальных распределены по смешанным законам.
статья, добавлен 18.02.2021- 40. Способ уменьшения дополнительной погрешности измерителя влажности почвы оранжерей Ботанического сада
Методика компенсации дестабилизирующего влияния pH на результат измерения влажности почвы оранжерей Ботанического сада. Лабораторные испытания макетного образца средства измерительного контроля. Способ уменьшения дополнительной погрешности измерителя.
статья, добавлен 25.11.2016 Разработка методов проектирования линейных излучателей для ФАР с низким уровнем боковых лепестков на основе Ш-волновода. Моделирование линейных излучателей на базе канализирующей линии. Требования к расчету параметров амплитудно-фазового распределения.
автореферат, добавлен 02.08.2018Анализ факторов, влияющих на полосу пропускания линейных излучателей. Подходы по расширению полосы пропускания линейных излучателей в область нижних и верхних частот. Исследование сравнительных характеристик антенн в частотной и временной областях.
статья, добавлен 04.11.2018Акселерометр как прибор для измерения проекции кажущегося ускорения. Его устройство, принцип работы, применение. Характеристики: чувствительность, диапазон измерений, полоса пропускания частот, точность, быстродействие. Роль чувствительного элемента.
курсовая работа, добавлен 13.11.2017Методы поверки средств измерений. Классификация погрешностей в зависимости от эксплуатации приборов. Проведение поверки цифрового вольтметра Щ-304: технические данные, устройство, работа. Требования к образцовым и вспомогательным средствам измерений.
отчет по практике, добавлен 16.10.2020Последствия перехода к построению цифровых средств измерений. Три основных вида измерительных систем в зависимости от выполняемых функций. Применение современных средств цифровой схемотехники. Основные отличительные особенности виртуальных приборов.
контрольная работа, добавлен 20.09.2015Нахождение и построение спектра сигнала и помехи на входе средства измерения и выходе инерционного блока. Оценивание суммарной аддитивной и дополнительной помехи, параметров фильтра. Частотные и временные характеристики мультипликативной погрешности.
курсовая работа, добавлен 11.12.2014Устройства автоматики, телемеханики и связи на железнодорожном транспорте. Принцип действия измерительных механизмов различных типов. Параметры измерительной цепи многопредельных аналоговых магнитоэлектрических приборов. Методы и погрешности измерений.
контрольная работа, добавлен 13.04.2021Структурная схема универсального осциллографа как прибора, предназначенного для исследования амплитудных и временных параметров электрического сигнала. Изучение техники осциллографических измерений напряжения, тока и мощности сигнала, их погрешности.
реферат, добавлен 07.01.2013Исследование линейных электрических цепей постоянного и синусоидального тока. Понятие резонанса, причины и необходимые условия его возникновения; определение параметров цепи. Расчет линейных однофазных цепей при несинусоидальном питающем напряжении.
дипломная работа, добавлен 09.02.2013Выполнение графического оформления размера на чертежах, способы нанесения параллельных и концентричных размерных линий, предельных отклонений размеров и допусков на обработку. Типовые требования и правила выполнения сборочного чертежа печатной платы.
реферат, добавлен 08.11.2009