Методы и средства измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне
Разработка методов и средств измерений линейных размеров элементов в субмикронной и нанометровой областях. Перспективы уменьшения критического размера элемента микросхемы от 0,35 до 0,07 мкм при сохранении погрешности их измерения в контрольной операции.
Подобные документы
Точность - качество измерений, отражающее близость их результатов к истинному значению измеряемой величины. Потребность в наличии дополнительного источника питания для задания тока через датчик - одно из важных недостатков термометров сопротивления.
контрольная работа, добавлен 09.12.2021Разработка экономически-эффективного проекта строительства волоконно-оптической линии связи. Роль геодезических измерений при строительстве. Возможные отклонения в актах выбора трассы и их последствия. Выбор вариантов трассы "ОАО "МТС" Калдусы-Спасск".
дипломная работа, добавлен 12.12.2015Сущность и значение принципов электрофизических измерений датчиками фарадеевского, нефарадеевского типа. Алгоритм измерения неизвестных значений параметров импеданса. Перевод кодовых значений параметра импеданса в физические единицы размерности.
курсовая работа, добавлен 08.10.2016Определение устойчивости линейных систем, эффективность применения обратной связи. Алгебраические, геометрические критерии устойчивости, условие устойчивости состояния покоя цепи линейных систем. Построения диаграммы Найквиста для неустойчивой системы.
курсовая работа, добавлен 13.03.2009Характеристика переходных процессов, протекающих в линейных цепях по законам Кирхгофа. Особенности вычисления результирующего переходного процесса в электродвижущей силе. Классический, спектральный и временной метод анализа процессов в линейных цепях.
контрольная работа, добавлен 18.08.2010Расчет перемещения, совершаемого консольной балкой под действием внешней силы. Рассмотрение структуры микромеханического переключателя. Расчет изменения линейных размеров балки под действием внешних сил. Определение величины поперечной деформации.
учебное пособие, добавлен 26.10.2013Гироскоп как устройство, предназначенное для измерения малых линейных или угловых перемещений инерционных масс, которые определяются параметрами движения подвижных объектов. Методика вычисления погрешности микромеханических инерциальных датчиков.
статья, добавлен 24.05.2018Структурная схема устройства калибровки трехосного MEMS акселерометра. Описание протоколов передачи данных RS-232 и SPI. Разработка и расчет принципиальной электрической схемы. Описание экспериментальной установки. Методика оценки погрешности измерений.
курсовая работа, добавлен 13.11.2016Положение о Российской системе калибровки. Совокупность субъектов деятельности и калибровочных работ, направленных на обеспечение единства измерений в сферах, не подлежащих государственному метрологическому контролю. Калибровка средств измерений.
реферат, добавлен 01.10.2017Рассмотрена методика оценки помехозащищенности РЛС траекторных измерений. Полученные результаты предложено использовать для организации помеховой обстановки при натурных испытаниях автоматизированных комплексов радиотехнических и средств обнаружения.
статья, добавлен 29.01.2019Определение погрешности средств измерений по его классу точности. Элементы электрических измерительных цепей. Измерительные механизмы приборов прямого действия. Построение осциллограммы по точкам при различных формах развертывающего напряжения.
методичка, добавлен 18.04.2022- 62. Исследование возможности применения бесконтактных средств измерений для обеспечения качества изделий
Описание триангуляционного метода измерения и измерительных устройств, основанных на этом методе. Разработка структурной и принципиальной схемы измерительной системы, характеристика электронных компонентов и шаблона для изготовления печатной платы.
статья, добавлен 27.05.2018 Принцип действия и конструктивное устройство электронного прибора - потенциометра. Описание рабочего стенда, его назначение, возможности, функционированием. Алгоритм поверки потенциометра, определение годности его измерений по степени погрешности.
контрольная работа, добавлен 26.01.2014Методы анализа переходных процессов в линейных цепях. Связь мгновенных значений напряжений и токов на элементах электрической цепи. Законы коммутации, их формулировка. Выражения свободных составляющих общего решения. Логарифмический декремент колебания.
реферат, добавлен 30.03.2017Спектральный и операторный методы анализа линейных стационарных систем, расчет основных характеристик. Изучение воздействия детерминированных сигналов, импульсная и переходная характеристики линейной стационарной системы; частотный коэффициент передачи.
методичка, добавлен 16.12.2012Специфика разработки структурной и принципиальной схемы. Выбор навесных элементов и расчет конфигурации пленочных элементов, особенности разработки топологии. Характеристика этапов изготовления устройства в виде гибридной интегральной микросхемы.
курсовая работа, добавлен 01.12.2014Особенности асинхронных счетчиков и разработка алгоритма работы микросхемы (описание и блок-схема). Временные диаграммы работы микросхемы и функциональная схема устройства. Условно-графическое обозначение и технические характеристики микросхемы.
реферат, добавлен 18.12.2014Исследование и изучение методов расчета нелинейных и магнитных цепей постоянного и синусоидального тока. Определение ветвей методом узловых потенциалов. Рассмотрение переходных процессов в линейных электрических цепях с сосредоточенными параметрами.
курсовая работа, добавлен 10.02.2019Эмпирическая модель ионосферы в рамках алгоритма коррекции траекторных измерений. Методы адаптации радиолокационных средств к геофизическим условиям функционирования. Влияние рефракции сантиметровых волн в атмосфере на угол места источника излучения.
статья, добавлен 30.10.2018Основные методы анализа переходных процессов в линейных цепях. Интегрирование дифференциальных уравнений, описывающих электромагнитное состояние цепи. Интеграл Дюамеля. Связь мгновенных значений напряжений и токов на элементах электрической цепи.
курсовая работа, добавлен 24.04.2009Анализ содержания современной теории измерений. Сущность аналогового и цифрового представления информации. Рассмотрение динамических характеристик цифровых средств измерений. Первичная цифровая обработка данных в канале аналого-цифрового преобразования.
учебное пособие, добавлен 25.04.2014Обеспечение единства измерений в сфере государственного регулирования. Нормативные документы, допущенные к использованию на территории РФ. Сертификация - фактор обеспечения доверия. Нормативная база государственной системы обеспечения единства измерений.
контрольная работа, добавлен 29.05.2010Определение понятия идентификационных измерений сигналов. Технология выполнения операции умножения двух распределений случайных сигналов в пространстве идентификационных чисел. Расчет случайной относительной погрешности выполнения математической операции.
статья, добавлен 06.11.2018Методы измерений биполярных транзисторов. Влияние температуры и частоты на свойства транзисторов и полупроводниковых приборов. Обоснование алгоритма экстракции SPICE-параметров модели. Разработка интерфейса и вычислительного ядра программного модуля.
магистерская работа, добавлен 01.12.2019Метрологические характеристики средств измерительной техники и их нормирование. Неинформативные параметры выходного сигнала. Основные методы измерений (сопоставления, совпадения, замещения, нулевой и дифференциальный). Обобщенные структурные схемы.
курсовая работа, добавлен 08.07.2014