Процессы получения легированных эпитаксиальных слоев кремния
Процесс получения легированных эпитаксиальных слоев кремния в силановой технологии. Получение нелегированных или слабо легированных эпитаксиальных кремниевых слоев. Использование летучих неорганических соединений легирующих элементов: арсин, стибин.
Подобные документы
Сведения о техническом кремнии. Технологический процесс получения однородного, легированного бором монокристалла кремния, методом направленной кристаллизации. Оборудование для бестигельной зонной плавки. Калькуляция себестоимости затрат на ее проведение.
курсовая работа, добавлен 27.11.2013- 27. Определение напряжений сдвига при шлифовании быстрорежущих, легированных и конструкционных сталей
Определение влияния температуры на напряжения сдвига при шлифовании конструкционных, легированных и быстрорежущих сталей. Характеристика коэффициента в уравнении Макгрегора-Фишера для сталей. Влияние температуры на модифицированный предел прочности.
статья, добавлен 02.11.2013 Анализ обработки металлов резанием и сварки легированных, аустенитных и жаропрочных сталей, обусловленные их структурным состоянием. Легирующие элементы и их свойства, особенности и отличия аустенитных и ферритных сталей, специфика жаропрочных сталей.
статья, добавлен 23.03.2022Выявление способов управления процессом формирования микроструктуры пьезокерамики на основе легированных фаз PbTiO3 и приёмов управления её электрофизическими свойствами. Структурные параметры фазы Pb0,8Са0,2TiO3, синтезированного при разных температурах.
статья, добавлен 30.05.2017- 30. Технология прямого сращивания пластин кремния и технологические маршруты изготовления структур КНИ
Преимущества структур КНИ перед структурами на основе объемного кремния. Технологии создания структур КНИ. Особенности процесса имплантация ионов водорода в приборную пластину. Исследование процессов химико-механической обработки кремниевых структур.
статья, добавлен 02.11.2018 - 31. Повышение контактной прочности функциональных поверхностей стальных изделий при лазерной обработке
Рассмотрены технологии получения высокопрочных борохромированных слоев, формируемых методами оплавления диффузионных покрытий и лазерного легирования из обмазок. Приведены результаты натурных испытаний установочных элементов технологической оснастки.
статья, добавлен 27.05.2018 Исследование влияния технологических режимов плавки на степень очистки кремния и однородность распределения примеси в монокристаллах кремния. Характеристика зависимости удельного электрического сопротивления кристаллов кремния от количества проходов.
статья, добавлен 29.07.2016Рассмотрение видов инструментальных материалов, используемых в машиностроении и основных требований к ним. Характеристики и назначение инструментальных, быстрорежущих, углеродистых и легированных сталей. Описание получения и применения твердых сплавов.
реферат, добавлен 04.05.2015Перспективы применения тугоплавких металлов с композиционным упрочнением интерметаллидами в авиастроении. Исследование оптимального количественного содержания легирующих добавок иттрия при моделировании двойных сплавов Mo-Si доэвтектического состава.
статья, добавлен 02.12.2018Анализ влияния температурных факторов на процесс термического разложения органических веществ в рисовой шелухе с целью определения оптимальных условий синтеза активированного угля и диоксида кремния. Проблема утилизации отходов рисового производства.
статья, добавлен 23.12.2015Технические характеристики и свойства карбидокремниевых материалов. Технология изготовления различных конструкций из особо чистого реакционно-спеченного карбида кремния. Технологическая схема получения изделий из карбида кремния. Сублимационная камера.
статья, добавлен 11.12.2014Результаты лабораторных экспериментов по исследованию возможности протекания в условиях агрегата ковш-печь процессов алюмино- и карботермического восстановления кремния из оксида кремния рафинировочного шлака. Определение доли восстанавливаемого кремния.
статья, добавлен 29.07.2016Применение трибомеханических методов активации порошковой смеси компонентов системы W/Cu/Ni в технологии формирования реновационных слоев на поверхностях подвижных сопряжений. Анализ основных химических превращений в процессе механохимического синтеза.
статья, добавлен 06.12.2016Перечень требований к полупроводниковым подложкам. Характеристика монокристаллического кремния. Схема производственного процесса изготовления интегральных микросхем. Технология получения кремния полупроводниковой чистоты и формирования из него слитков.
курсовая работа, добавлен 03.12.2010Устройство тонкослойных фрикционных слоев износа автомобильных дорог по технологии "Новачип". Опыт применения и технология устройства тонкослойных фрикционных защитных слоев износа на ремонтируемых дорожных покрытиях из модифицированных асфальтобетонов.
научная работа, добавлен 24.05.2015Получение кристаллического кремния на процессах рудовосстановления. Изучение особенностей получения жидкого стекла из микрокремнезема. Оценка свойств гранул теплоизоляционного материала. Теплотехнические физико-механические свойства микрокремнезема.
статья, добавлен 13.02.2020Особенности технологии термической обработки легированных сталей. Технологический процесс изготовления деталей из термопластов методом литья под давлением. Построение диаграммы изотермического превращения аустенита эвтектоидной углеродистой стали.
контрольная работа, добавлен 17.04.2014Суть и классификация легированных сталей. Обозначение легирующих добавок. Маркировка и расшифровка марок стали. Классификация стали по назначению, по структуре в нормальном и отожженном состоянии. Конструкционная, хромоникелевая и хромолибденовая сталь.
контрольная работа, добавлен 03.03.2013Получение многослойной металлизации Al-NiTi-Pd на поверхности монокристаллического кремния n-типа. Изготовление диодов Шоттки, их характеристики. Устранения технологической операции создания диффузионного барьера Ni-Ti в случае контакта PdSi с n-Si.
статья, добавлен 14.10.2016Технологии производства железа, химические реакции, протекающие при выплавке чугуна из железной руды. Получение стали в электропечах, способом Бессемера, кислородно-конвертерным и мартеновским методами. Применение углеродистых и легированных сталей.
реферат, добавлен 16.04.2010Разработка новых составов катализаторов, позволяющих повысить прочность, износостойкость и термостойкость алмазных поликристаллических композиционных материалов. Анализ технологии изготовления легированных катализаторов методами порошковой металлургии.
автореферат, добавлен 03.02.2018Характеристика кремния металлургического сорта и мероприятия по улучшению его качества. Технологии рафинирования кремния с доведением его до чистоты солнечного сорта, пригодного для изготовления фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии.
статья, добавлен 14.10.2016Расчет количества электрической энергии, которую необходимо выделить в дуговой сталеплавильной печи с целью получения сплавов, легированных с другими металлами. Время расплавления шихты. Определение плавильного пространства печи и толщины ее стен.
лекция, добавлен 28.09.2018Методика получения фасонных изделий из металлов и полупроводников. Выращивание кристалла с поперечным сечением произвольной формы. Технологическое оформление кристаллизации. Выращивание профильных монокристаллов на примере кремния. Размещения расплавов.
контрольная работа, добавлен 08.10.2010Анализ требований к показателям качества кремния, получаемого карботермическим способом при электроплавке. Изучение оптимальных параметров подготовки шихты из мелкофракционных сырьевых материалов для плавки в руднотермических печах способом окомкования.
автореферат, добавлен 30.01.2018