Процессы получения легированных эпитаксиальных слоев кремния
Процесс получения легированных эпитаксиальных слоев кремния в силановой технологии. Получение нелегированных или слабо легированных эпитаксиальных кремниевых слоев. Использование летучих неорганических соединений легирующих элементов: арсин, стибин.
Подобные документы
Анализ требований к показателям качества кремния, получаемого карботермическим способом при электроплавке. Изучение оптимальных параметров подготовки шихты из мелкофракционных сырьевых материалов для плавки в руднотермических печах способом окомкования.
автореферат, добавлен 30.01.2018Общее понятие ионной имплантации, как метода легирования поверхностных слоев, заключающегося в обработке поверхности потоком высокоэнергетичных ионов и внедрении их в объеме материала. Физические основы метода. Структура и свойства имплантированных слоев.
реферат, добавлен 11.12.2014Основной химический состав кристаллического кремния, производимого из лигнита в электропечи. Взаимосвязь между содержанием золы лигнита и количеством железа при использовании лигнита вместо древесного угля в производстве кристаллического кремния.
статья, добавлен 25.07.2018Влияние параметров режима насыщения на структуру и механические свойства борохромированых слоев на литых сталях. Износостойкость диффузионных слоев в условиях абразивного износа и в процессе эксплуатации. Относительная потеря массы сталей при износе.
автореферат, добавлен 29.06.2018Поиск основных законов распределения давления в несжимаемых и сжимаемых несущих слоях ступенчатой опоры на основе уравнений Рейнольдса для тонких слоев вязкой ньютоновской жидкости. Алгоритмы вычисления подъемной силы и жесткости обоих смазочных слоев.
статья, добавлен 11.01.2018Технологические и эксплуатационные свойства металлов, железоуглеродистых сплавов, легированных сталей. Металлургические процессы плавки в индукционных тигельных печах. Сущность индукционного нагрева. Принцип действия машин для литья под давлением.
контрольная работа, добавлен 23.05.2013Технологии и физико-химические основы процессов резки и шлифовки полупроводниковых кремниевых пластин. Маршрутные и технологические карты производства пластин. Охрана труда и окружающей среды. Метрология и стандартизация производства кремниевых пластин.
отчет по практике, добавлен 20.10.2016Разработка технологической оснастки и высокоточных цифровых систем управления для получения в поле температурного градиента слоев твердых растворов соединений АIIIВV. Экспериментальное исследование процесса перекристаллизации лазерных структур.
автореферат, добавлен 03.02.2018- 59. Концентрация напряжений в слое тканого композита полотняного плетения с поликристаллической матрицей
Распространение тканых композитов с поликристаллической матрицей. Раскрой и выкладка на оправку слоев ткани с искривленными волокнами, а также прошивка этих слоев между собой. Технологические дефекты, снижающие эксплуатационные свойства изделий.
статья, добавлен 27.10.2018 Разработка и освоение инновационной технологии плазмометаллургического производства нанокарбида кремния и композиций на его основе. Математическая модель плазменных процессов синтеза и модифицирования, интегрирующей стадии испарения дисперсного сырья.
автореферат, добавлен 04.02.2018Характеристика карботермического метода рафинирования кремния. Отделение шлака отстаиванием в жидком состоянии для коагуляции и выделения в отдельную фазу мелких включений. Анализ химического, вакуумного и флюсового методов рафинирования кремния.
реферат, добавлен 25.12.2022Результаты экспериментальных исследований формирования приповерхностных слоев деталей из конструкционных материалов при шлифовании и в процессе трения. Описание физических явлений, сопровождающих формирование неравновесных состояний поверхностных слоев.
статья, добавлен 27.05.2018Повторное плавление кремния и ферросилиция - недостаток технологии получения модификаторов сплавлением магния с ферросплавами. Причины возникновения пироэффекта и значительного дымовыделения в процессе обработки расплава магнийсодержащими лигатурами.
статья, добавлен 02.11.2018Анализ технологии получения стирола дегидрированием этилбензола как основного метода получения рассматриваемого мономера. Основные характеристики, получение и применение стирола. Технология получения стирола из этилбензола. Химизм процесса получения.
курсовая работа, добавлен 30.09.2018Особенности конструирования термически обрабатываемых деталей. Классификация видов термической обработки. Материалы для изготовления зубчатых колес и валов. Процесс термической и химико-термической обработки стали, легированных сталей и чугуна.
реферат, добавлен 19.04.2010Понятие и классификация силикатной промышленности. Применение кремния и его соединений в силикатной промышленности. Расположение оксида кремния в природе. Особенности производства стекла, керамики и цемента. Примеры минералов и силикатного кирпича.
презентация, добавлен 25.02.2015Метод получения сверхрешеточных структур. Механизм роста и эпитаксия в процессе MOCVD. Светодиодные структуры GaN на подложках из карбида кремния. Описание процесса и обзор технологии laser lift-off. Горизонтальная и вертикальная структуры диодов.
курсовая работа, добавлен 26.12.2013Общие характеристики свинца. Описание свойств металла, область его применения. Процесс и реакция получения диоксида свинца и других производных свинца – область применения этих соединений в технике. Сырье и методы, технологическая схема получения свинца.
реферат, добавлен 10.12.2010Применение карбида кремния в ювелирном деле в качестве абразива и имитатора алмаза ювелирного качества. Нахождение в природе и химическая формула карбида кремния, его физико-химические свойства. Штамповка, отделка, огранка и литье ювелирных изделий.
презентация, добавлен 16.12.2013Роль макро- и микрошероховатости в обеспечении сцепных качеств дорожных покрытий. Анализ силового воздействия колеса на поверхность качения. Исследование фрикционных качеств каменных материалов, используемых для строительства шероховатых слоев износа.
диссертация, добавлен 05.09.2017Экспериментальное обнаружение и исследование различных пиков в спектре комбинационного рассеяния образцов кремния, имплантированных ионами меди. Исследование характера динамики трансформации микроскопической структуры приповерхностного слоя кремния.
статья, добавлен 12.11.2020Исследование механизма накопления деформации конструкционных материалов при финишной абразивной обработке. Изменение поверхностного слоя при температурном и силовом воздействии. Управление формированием микро- и наноструктур поверхностных слоев деталей.
статья, добавлен 27.05.2018Основные виды конструкционных материалов, используемых в химическом машиностроении. Применение железоуглеродных сплавов: чугунов и углеродистых сталей, с добавками иных металлов - легированных. Широкое использование титана и кислотоупорной керамики.
реферат, добавлен 10.11.2014Ознакомление с понятием металлургии, как важнейшей отрасли промышленности и науки о получении металлов из руд. Изучение классификации и области применения легированных сталей, а также основ металлургического производства и обработки металлов и сплавов.
методичка, добавлен 17.03.2014Использование порошкообразных наполнителей для увеличения износостойкости наплавленного металла. Технологии создания порошковых материалов методом механического легирования. Применение наполнителей как наплавочных материалов при дуговой наплавке.
статья, добавлен 27.05.2018