Влияние концентрации водорода в магнетронной камере на гидрирование кремниевой аморфной пленки
Исследовано влияние концентрации водорода в газовой смеси на электрические и оптические свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных магнетронным методом. Совершенствование магнетронного метода получения кремниевых пленок.
Подобные документы
Характеристика особенностей получения молекулярного водорода. Изучение схемы образования молекулярного водорода хемотрофами и фототрофами. Водород – основной продукт микробной переработки органического сырья. Метаногенез – основа получения биогаза.
реферат, добавлен 12.10.2015Исследование морфологии пленок Al и ХСП на пористых, кристаллических подложках. Изучение особенностей релаксации напряжений в исследуемых структурах и происходящих процессов модификации поверхности пленок теллурида свинца при обработке в аргоновой плазме.
автореферат, добавлен 02.08.2018Описание методов получения тонких пленок нихрома и исследование зависимости параметров от стехиометрии пленки. Расчет диапазон толщин пленки, удовлетворяющих требованиям удельного поверхностного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления.
курсовая работа, добавлен 16.12.2019Критические параметры эпитаксиальных пленок сплавов при их применении в гетеропереходных устройствах и их напряженность, плотность дефектов и подвижность носителей. Молекулярно-лучевая эпитаксия. Особенности совмещения кремниевой и германиевой технологии.
реферат, добавлен 28.04.2016Эксперименты по нанесению тонких пленок ITO. Изучение возможности использования прозрачных проводящих пленок оксида индия и олова, получаемых методом электронно-лучевого напыления, в качестве контактного материала для отражающего контакта к слою p-GaN.
статья, добавлен 05.11.2014Место исследований свойств магнитных пленок в современной микроэлектронике. Анализ зависимости гальваномагнитных свойств пленочных сплавов Ni-Cu от концентрации компонент и толщины в температурном интервале 100-700 К, а также их сравнение с пленками Ni.
реферат, добавлен 23.10.2010Изучение методом упругого рассеяния света структура пленок алюминия погруженных в водный раствор наночастиц серебра. Последовательность угловых зависимостей интенсивности рассеянного света. Описание структуры пленок в терминах их фрактальной размерности.
статья, добавлен 25.06.2018Методы измерения проводимости и ее температурной зависимости. Исследование влияния адсорбированного кислорода на электрические свойства пленок производных фталоцианина. Модель многоуровневого прыжкового переноса электронов. Методика ионной имплантации.
автореферат, добавлен 19.08.2018Молекулярное моделирование пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе стеаратных комплексов La(III) и изучение их свойств. Свойства пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе стеаратных комплексов РЗЭ. Анализ метода молекулярной механики. Приближение силового поля ММ+.
курсовая работа, добавлен 21.01.2016Проведение исследования распределений молекул азота по колебательным уровням основного состояния в плазме емкостного высокочастотного разряда магнетронного типа в смеси аргона с воздухом. Изучение концентрации заряженных частиц и температура электронов.
статья, добавлен 08.12.2018Определение области варьируемых параметров двигателя по частоте вращения вала, нагрузке, коэффициенту избытка воздуха. Разработка метода определения эффективности применения водорода при работе поршневого двигателя на пределе устойчивого горения.
автореферат, добавлен 28.03.2018Анализ выбора состава сплавов на основе магния. Разработка методики для изучения характеристик процессов сорбции и десорбции водорода. Закономерности влияния состава и структуры магниевых сплавов на их водородсорбционные свойства. Влияние режимов помола.
автореферат, добавлен 02.08.2018Проведено экспериментальное исследование характеристик ВЧЕ разряда магнетронного типа в метане методами оптической спектроскопии. Изучены распределения атомарного и молекулярного водорода по энергетическим уровням при различных условиях в разряде.
статья, добавлен 20.05.2018Проблема энергосбережения и использования тепловых вторичных энергоресурсов в производстве. Применение в нефтепереработки трубчатых печей. Характеристика установки получения водорода. Проектирование теплообменника, расчет тепловых нагрузок, аэродинамики.
дипломная работа, добавлен 01.11.2016Технологические аспекты получения наноразмерных пленок мультиферроиков и их обработки в униполярном коронном разряде. Использование феррита висмута для создания устройств записи информации высокой плотности. Жидкофазная эпитаксия, распыление в ВЧ-разряде.
статья, добавлен 30.05.2017Изучение механизмов формирования связи между атомами в молекуле водорода. Анализ физических механизмов ориентации магнитных моментов атомов в молекуле водорода в противоположных направлениях. Обоснование стабильности магнитного момента молекулы водорода.
статья, добавлен 06.03.2018Основные характеристики сегнетоэлектриков с точки зрения динамики решетки. Факторы, влияющие на динамику в гетероструктурах на основе наноразмерных пленок. Оценка влияния толщины пленок на параметры элементарной ячейки. Принципы переключения поляризации.
учебное пособие, добавлен 08.09.2015Изучение алмазоподобных углеродных пленок CNx и CNx:Euy. Распыление композитной углеродной мишени магнетроном постоянного тока. Измерение отражательной способности поверхности пленок при нормальном падении зондирующего луча и брюстеровского отражения.
статья, добавлен 25.03.2016Определение массы поглощаемого вещества и расхода поглотителя. Порядок расчета поверхности массопередачи. Расчет концентрации и нагрузки по фазам для получения выбранной для расчета размерности. Движущая сила в единицах концентрации газовой фазы.
курсовая работа, добавлен 24.12.2017Ионно-лучевой метод получения композиционных и многослойных пленок. Основные методики измерения температурных зависимостей электрического сопротивления, кривых намагниченности и комплексной магнитной проницаемости гетерогенных тонкопленочных образцов.
автореферат, добавлен 16.02.2018- 46. Электрическое разрушение полимерных диэлектрических пленок в условиях подавления частичных разрядов
Определение электрической долговечности и пробивной напряженности полимерных диэлектрических пленок при различных напряжениях на образце и при различных скоростях его возрастания. Кинетические закономерности электрического пробоя изучаемых пленок.
автореферат, добавлен 02.03.2018 Исследование кристаллической структуры, электрических и гальваномагнитных свойств трехслойных пленок Со/Cu/Co с разной толщиной медного слоя при отжиге. Температурные зависимости результатов удельного электрического сопротивления в интервале 100-700 K.
лабораторная работа, добавлен 23.10.2010Изучение молекулярно-лучевой эпитаксии кремния, кристаллизации пленки путем испарения кремния на подложку в сверхвысоком вакууме. Анализ методов получения захороненных слоев, способов очистки поверхности кремния с помощью системы дифракции электронов.
курсовая работа, добавлен 07.06.2011Методика формирования барьера Шоттки путем магнетронного нанесения из многокомпонентной мишени пленки на кремнии с последующей ступенчатой термообработкой. Химический состав мишени. Влияние вида контактного металла на электрические характеристики диодов.
статья, добавлен 08.02.2017Механизм анодного окисления кремния. Влияние толщины плёнки на её электрофизические свойства. Создание структур "кремний на изоляторе", измерение методом эллипсометрии. Исследование электрофизических свойств структур в условиях анодного окисления.
дипломная работа, добавлен 15.10.2013