Влияние концентрации водорода в магнетронной камере на гидрирование кремниевой аморфной пленки
Исследовано влияние концентрации водорода в газовой смеси на электрические и оптические свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных магнетронным методом. Совершенствование магнетронного метода получения кремниевых пленок.
Подобные документы
- 1. Структурные особенности и оптические свойства тонких слоев аморфного гидрогенизированного углерода
Оптические свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного углерода. Получение нового оптического материала - тонких пленок a-C: H с заданным показателем преломления. Уникальное сочетание механической прочности, химической стойкости и прозрачности.
автореферат, добавлен 16.02.2018 Исследование особенностей фотоэлементов на основе аморфного кремния, кристаллических пленок кремния, органических материалов и на красителях. Электрические свойства поликристаллического кремния. Способы производства поликристаллических пленок кремния.
реферат, добавлен 13.04.2014Электрофизические и фотоэлектрические свойства диодных структур. Изучение влияния водорода на электрические и фотоэлектрические характеристики структур на основе пористого кремния. Влияние водорода на фотоответ в фотовольтаическом и фотодиодном режимах.
автореферат, добавлен 15.02.2018Принцип работы системы дожигания водорода. Обеспечение снижения концентрации водорода в выпаре деаэратора подпиточной воды до взрывобезопасной. Поддержание концентрации водорода в циркуляционном контуре не более 3 % в любом режиме вывода теплоносителя.
статья, добавлен 06.05.2020Влияние на фотоэлектрические свойства пленок медного фталоцианина модификации формы молекул периферийными и аксиальными заместителями. Критическая толщина, выше которой кристаллическая подложка не оказывает ориентирующего воздействия на молекулы пленки.
автореферат, добавлен 31.07.2018Исследование фазового состава пленок сплавов на основе железа и кобальта, выращенных магнетронным и вакуумным напылением. Влияние термообработок на метастабильные состояния и магнитные свойства пленок металлов. Особенности атомного упорядочения веществ.
автореферат, добавлен 02.03.2018Изучение кинетики анодного окисления кремния и его соединений в легирующих электролитах. Анализ степени влияния связных добавок на состав, строение и свойства пленок анода диоксида силиция. Создание элементов кремниевых приборов и интегральных микросхем.
автореферат, добавлен 15.11.2015Разработка систем на основе энергии Солнца. Преимущества и недостатки технологии тонкопленочных солнечных элементов из аморфного гидрогенизированного и микрокристаллического кремния. Методы получения пленок. Повышение конкурентоспособности фотовольтаики.
статья, добавлен 15.06.2018Анализ оптической плотности пленок Zn0,99Mn0,01O при температурах Т = 78К и 300К. Сравнение спектров фотолюминесценции и оптической плотности пленок. Анализ спектра магнитного кругового дихроизма пленки Zn0,99Mn0,01O дополнительно легированной азотом.
статья, добавлен 22.06.2015Краткие сведения о тонких пленках и основные процессы, происходящие при их формировании. Методы получения тонких пленок и сравнительные характеристики этих методов. Принципы действия и конструкции установок для магнетронного нанесения тонких пленок.
учебное пособие, добавлен 13.03.2016Изучение метода резистивного испарения металлов, нахождение скорости осаждения и определение основных электрофизических характеристик получаемых пленок. Рассмотрение электрических свойств пленок и процессов их формирования. Вакуумный универсальный пост.
курсовая работа, добавлен 19.09.2016Выращивание аморфных наногранулированных пленок типа "металл-диэлектрик" методом ионно-лучевого напыления на лавсановой подложке большой площади. Изучение распределения толщины, концентрации и относительного объема металлической фазы по площади пленок.
статья, добавлен 07.11.2018Оптическая плотность раствора в зависимости от концентрации кремниевой кислоты, изменение ее оптической плотности при воздействии ультразвука. Применение ультразвуковой обработки для удаления кремниевых отложений в проточной части паровых турбин.
статья, добавлен 20.04.2019Разработка оптического сенсора для определения концентраций Н2 и СО в смеси с воздухом. Анализ и оценка высокой чувствительности и селективности оптических элементов на основе газохромных пленок WO 3 /Pd и NіOOH. Предпосылки изменения пропускания света.
статья, добавлен 29.07.2016Ионно-плазменные методы получения тонких пленок. Молекулярно-лучевая эпитаксия и лазерное распыление. Суть химических вакуумных методов. Электрохимическое осаждение покрытий и химическая металлизация. Оптические свойства пленок аморфных оксидов ванадия.
курсовая работа, добавлен 15.08.2011Метод анализа водорода в конструкционных материалах реакторов. Расшифровка энергетических спектров электронов, отраженных от данного образца. Анализ слоев аморфного гидрогенизированного углерода, нанесенных на поверхность монокристаллического кремния.
статья, добавлен 02.11.2018Основные физические характеристики детекторов. Принципы работы SSPD. Осаждение сверхпроводящей плёнки NbN. Применение метода Ван-дер0Пау для изменения контактного сопротивления. Анализ зависимости поверхностного сопротивления от концентрации азота.
дипломная работа, добавлен 15.09.2018Зависимость ионов от мощности в аномальном тлеющем разряде в магнитном поле. Влияние метода магнетронного распыления на модель строения неоднородных по структуре пленок оксидов металлов. Специфика потока плазмы смеси газов аномального тлеющего разряда.
автореферат, добавлен 28.03.2018Формирование аморфных наногранулированных пленок типа "металл-диэлектрик" методом ионно-лучевого напыления на лавсановой подложке большой площади. Проведение исследования распределения толщины, концентрации и относительного объема металлической фазы.
статья, добавлен 05.11.2018Влияние механических напряжений в тонких сверхпроводящих YBCO пленках на их вольтамперные характеристики. Исследования вольтамперных характеристик монокристаллических, гранулярных и напряженных пленок. Повышение внутреннего давления в материале пленки.
статья, добавлен 02.02.2019Водородная энергетика и экологические преимущества водородных технологий. Химические свойства водорода и его реакции с соединениями кислорода. Экзотермичность реакции образования воды. Сырьё для получения водорода и способы его получения в лабораториях.
курсовая работа, добавлен 24.05.2012Влияние лазерного вещества на конструкцию фотоэлемента из тонких пленок оксида цинка, аморфного кремния на стекле. Моделирование рекристаллизации в твердофазном состоянии. Взаимодействие поверхности кремния при воздействии импульсного лазерного излучения.
статья, добавлен 30.07.2017Изучение спектральных зависимостей поглощения и отражения на пленках хрома после термических и механических воздействий, а также влияния агрессивных сред. Определение зависимости оптических свойств пленок от наличия в них карбидных и оксидных фаз.
статья, добавлен 21.06.2018Изучение превращения в наноразмерных пленках никеля в зависимости от толщины при температуре тепловой обработки 623 К методом оптической спектроскопии. Анализ спектров поглощения и отражения исследуемых пленок никеля до и после термического воздействия.
статья, добавлен 02.02.2019Разработка оптического сенсора с заданными свойствами, имеющего взрывобезопасное исполнение, которое достигается применением оптической схемы измерения. Анализ чувствительности и селективности элементов на основе газохромных пленок WO 3 /Pd и NіOOH.
статья, добавлен 29.07.2016