Стаціонарні електричні розряди з однорідним випаровуванням електрода у вакуумі та їх застосування в джерелах плазми, іонів та термоіонному напиленні
Вивчення властивостей і технологічних параметрів стаціонарного проходження електричного струму між електродами у вакуумі. Розробка методів термоіонного напилення плівок і покриттів та їх застосування у розробці конкретних виробів мікроелектроніки.
Подобные документы
Електричні заряди,електростатичне поле у вакуумі та закон Кулона. Потік вектора напруженості. Теорема Гаусса для електростатичного поля. Циркуляція вектора напруженості. Поляризація діелектриків. Вектор поляризації. Електрична ємність провідників.
учебное пособие, добавлен 17.03.2015Кінематика: основні формули, приклади розв’язування задач. Динаміка прямолінійного руху. Моменти інерції найпростіших тіл. Приклади розв’язування задач з гідростатики. Електричне поле у вакуумі та діелектриках. Магнітне поле у вакуумі і середовищі.
учебное пособие, добавлен 18.03.2017Аналіз фізичних процесів, що діють у плазмі джерел позитивних і негативних іонів водню на основі відбивного розряду з металогідридними катодами. Особливості механізмів утворення іонів водню. Вплив плазми розряду на газо-емісійні властивості електродів.
автореферат, добавлен 29.08.2014Закономірності впливу електричного струму і конструктивної схеми донного електрода на рух розплаву в сталеплавильній ванні. Розробка математичної моделі процесів конвективного теплообміну в розплаві. Чисельна схема розрахунку процесів гідродинаміки.
автореферат, добавлен 27.04.2014Відкачування повітря з судини. Випромінювання електронів розжареним провідником. Термоелектронна емісія та її застосування. Електровакуумні прилади: вакуумний тріод та тетрод (чотириелектродна лампа). Електронно-променева трубка. Рентгенівська трубка.
реферат, добавлен 06.12.2012Особливості кристалічної структури. Хімічні надпровідники. Методи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС. CVD-технології ВТНП та їх методи. Метод магнетронного напилення. Сквіди як сенсори енергії. Метрологія та квантова обробка інформації.
курсовая работа, добавлен 12.04.2010Вивчення механізмів струмопереносу і фоточутливості плівок свинець сульфіду із різним потенційним рельєфом зон та впливу технологічних факторів на ці механізми. Розробка технології нанесення фоточутливих плівок на кремнієву підкладку зі схемами комутації.
автореферат, добавлен 07.01.2014Вивчення явища квазінейтральної плазми. Оцінка концентрації електронів, іонів, нейтральних частинок у речовині. Масштаб розділення зарядів у часі. Розгляд процесу виникнення плазмових коливань. Застосування магнітної гідродинаміки до провідної рідини.
лекция, добавлен 09.02.2014Аналіз ролі технологічних факторів у формуванні підсистеми власних точкових дефектів і електрофізичних властивостей плівок PbTe, PbS і PbSe. Процеси дефектоутворення і зміни дефектної підсистеми і електрофізичних властивостей плівок халькогенідів свинцю.
автореферат, добавлен 22.07.2014Дослідження випромінювання плазми на основі іскрового розряду з мідними, металевими, композиційними електродами. Високовольтний наносекундний імпульс напруги в сполуці. Емісійні характеристики плазми іскрового розряду при різних міжелектродних відстанях.
статья, добавлен 30.01.2016Механізм формування підсистеми дефектів структури, обумовлених дією опромінення, легування та термічної обробки та її вплив на електричні властивості тонких моно- і полікристалічних плівок. Електрофізичні властивості тонких плівок халькоґенідів плюмбуму.
автореферат, добавлен 13.08.2015Вивчення процесів утворення вуглецевих конденсатів при осадженні потоків активованих часток вуглецю (атомів, іонів, радикалів і іонізованих молекул). Одержання алмазоподібних і алмазних плівок, що мають необхідні властивості (механічні, оптичні).
автореферат, добавлен 22.07.2014Поняття, сутність, історія виникнення полярографічного аналізу. Загальна характеристика кривих залежності сили струму від напруги. Розгляд схеми полярографічної установки. Застосування методів диференціальної полярографії; інверсійна вольтамперометрія.
курсовая работа, добавлен 18.05.2014Розробка квазістаціонарного наближення для розв'язання кінетичного рівняння росту атомарних кластерів у газовому струмені, що розширюється у вакуумі. Особливості методів дослідження оптичних проявів кластерів, пов’язаних з особливостями їх росту.
автореферат, добавлен 24.02.2014Опис технологічного процесу стаціонарного роторного вагоноперекидача. Розрахунок потужності, статичних характеристик та параметрів математичної моделі двигуна. Синтез регуляторів струму, потокозчеплення й швидкості. Моделювання роботи електропривода.
дипломная работа, добавлен 18.03.2015Вивчення квантових ефектів в плівках телуриду свинцю і вісмуту, гетероструктурах PbTe/Bi, електрофізичних, гальваномагнітних та термоелектричних властивостей в залежності від товщини шарів методом термічного випаровування в вакуумі на підкладки з слюди.
автореферат, добавлен 27.09.2014Удосконалення конструкції електричної машини постійного струму за рахунок застосування нових засобів зниження зовнішнього магнітного поля. Вплив на зовнішнє магнітне поле параметрів машини (кількості полюсів, частоти обертання та схеми з’єднань).
автореферат, добавлен 29.07.2014Створення діагностичних приладів для вимірювання параметрів пучків іонів і атомно-молекулярних потоків у вакуумному середовищі. Методика синтезу ультратонких суцільних плівок нітридів та оксинітридів металів з використанням іонно-променевого розпилення.
автореферат, добавлен 27.07.2015Особливості властивостей наноматеріалів та основні напрямки їх застосування. Виготовлення виробів з функціональної нанокераміки методом сухого ультразвукового та колекторного компактування. Застосування нанопорошків оксидів для високоякісних керамік.
реферат, добавлен 06.12.2015Спорудження експериментального стенду колективного прискорювача іонів. Отримання прискорення іонів плазми електричним полем віртуального катоду, потік яких слугує інжектором в основну секцію, де прискорення здійснюється хвилею просторового заряду.
автореферат, добавлен 29.08.2015Аналіз впливу режимів імпульсного струму на умови кристалізації міді. Дослідження структури і текстури мідних плівок, отриманих в імпульсних режимах електроосадження. Проведення дослідження фізичних властивостей багатошарових плівок мідь-нікель.
автореферат, добавлен 31.01.2014Встановлення фізичних закономірностей формування аморфної та мікрокристалічної структури в плівках Со-Р, отриманих при імпульсному електроосадженні. Встановлення залежності хімічних властивостей плівок Со-Р від структури та режимів імпульсного струму.
автореферат, добавлен 06.07.2014Вивчення головних особливостей технології вирощування тонкоплівкового матеріалу осадженням з парової фази методом гарячої стінки. Дослідження температурних та концентраційних залежностей термоелектричних властивостей плівок і кристалів телуриду свинцю.
автореферат, добавлен 05.01.2014Систематичне експериментальне вивчення змін складу, структури та властивостей плівок систем Zr-B та V-B. Оцінювання умови формування та зростання конденсатів, які отримують за допомогою систем ІПР. Осадження високотвердих наноструктурних плівок.
автореферат, добавлен 28.07.2014Призначення, принцип дії і класифікація електричних машин. Типи машин постійного струму, особливості їх будови. Спеціальні машини постійного струму. Залежність обертаючого моменту на валу електродвигуна постійного струму від сили струму в обмотці якоря.
реферат, добавлен 25.01.2020