Стаціонарні електричні розряди з однорідним випаровуванням електрода у вакуумі та їх застосування в джерелах плазми, іонів та термоіонному напиленні
Вивчення властивостей і технологічних параметрів стаціонарного проходження електричного струму між електродами у вакуумі. Розробка методів термоіонного напилення плівок і покриттів та їх застосування у розробці конкретних виробів мікроелектроніки.
Подобные документы
Визначення залежностей теплофізичних властивостей матеріалу від різних параметрів термообробки. Створення моделі тепломасообміну частинки, що спучується у рухомому потоці. Розробка математичної моделі руху частинок у вихровому апараті при термообробці.
автореферат, добавлен 29.07.2015Закономірності впливу структури, умов вирощування і зовнішніх факторів (термічного відпалу, радіаційного опромінення, легування) на термоелектричні характеристики плівок телуриду свинцю та їх аналогів. Методика вимірювання теплопровідності тонких плівок.
автореферат, добавлен 11.11.2013Одержання методом реактивного магнетронного розпилення плівок різних фаз оксиду. Дослідження будови та мікроструктури плівок Bi2O3 за допомогою рентгенофазового аналізу, оптичної та електроннооптичної мікроскопії і специфіка їх температурної стабільності.
автореферат, добавлен 29.07.2014- 104. Вплив просторової дисперсії плазми на розповсюдження і поглинання швидких магнітозвукових хвиль
Аналіз можливих сценаріїв високочастотного нагрівання іонів плазми з використанням збудження швидкої моди в умовах стелараторів У-2М та TJ-1U. Вплив сильної просторової дисперсії плазми у магнітному полі на розповсюдження і поглинання швидкої моди.
автореферат, добавлен 14.08.2015 Встановлення основних закономірностей впливу технологічних режимів напилення і температурної обробки на фізичні параметри та оптичні характеристики (питомий опір) твердих розчинів диселеніду індію та галію, а також прозорих провідних оксидів металів.
автореферат, добавлен 29.07.2014Використання ядерно-фізичних методів у радіаційному матеріалознавстві і при поводженні з радіоактивними відходами. Вивчення впливу АЕС і ядерної промисловості на населення прилягаючих територій. Розробка методів одержання радіоактивних медичних ізотопів.
автореферат, добавлен 25.08.2015Вивчення застосування явища поверхневого плазмон-поляритонного резонансу в тонких шарах золота та срібла. Вплив оптичних параметрів шаруватої структури на чутливість сенсору та дослідження впливу зовнішнього електричного потенціалу на параметри сенсору.
автореферат, добавлен 27.04.2014Створення мікроелектронних хімічних біосенсорiв. Розробка високочутливих селективних аналізаторів іонів важких металів. Вивчення впливу парів аміаку на електропровідність плівок поліаніліну. Комп’ютерне моделювання зміни поверхневого потенціалу сенсорів.
автореферат, добавлен 12.02.2014Аналіз математичних моделей та методів, що використовуються для ідентифікації параметрів систем електроприводів з тяговими електродвигунами постійного струму. Метод експериментальної ідентифікації моделі динаміки системи електропривода трамвая.
автореферат, добавлен 27.12.2015Поняття діючого значення струму, способи отримання змінного струму. Індуктивність у колі змінного струму. Елементи електричного кола. Правила розрахунку електричних кіл з лінійними елементами. Амплітудне значення напруги в колі з котушкою індуктивності.
реферат, добавлен 02.10.2016Процеси перетворення амплітудно-фазових параметрів лазерного випромінювання. Вейвлет-аналіз лазерних зображень плазми крові. Метод селекції поляризаційно-неоднорідних полів лазерного випромінювання, перетворених полікристалічними мережами плазми крові.
автореферат, добавлен 25.07.2015Застосування вольфраму і вуглецю як матеріалів першої стінки, що контактують із плазмою в термоядерному реакторі. Бомбардування вольфрамової плівки одночасно іонами палива та вуглецю середніх енергій. Вплив хімічної взаємодії на розпилення вольфраму.
автореферат, добавлен 30.08.2014Удосконалення відомого аналітичного методу визначення параметрів електричного поля у системі електродів "ряд проводів між заземленими площинами". Аналіз залежності вектора напруженості від конструктивних і технологічних характеристик електрофільтра.
статья, добавлен 01.03.2017Вивчення динаміки термічного розкладання дисперсних часток у потоці гарячого теплоносія з метою модернізації технології виробництва паливного газу. Встановлення технологічних режимів піролізу для прогнозування теплотехнічних властивостей готового газу.
автореферат, добавлен 14.08.2015Вивчення результатів використання високочистих металів, одержаних методами дистиляції, сублімації і електронно-променевої плавки у високому та надвисокому вакуумі для створення новітніх конструкційних матеріалів для ядерно-енергетичних установок.
автореферат, добавлен 27.09.2014Велика концентрація заряджених частинок - фактор, що обумовлює високу електропровідність як одне з найважливіших властивостей плазми. Наявність вторинної електронної емісії на катоді - процес, що відбувається при виникненні тліючого газового розряду.
статья, добавлен 02.02.2021Фізичні основи промислово-перспективних технологій виготовлення робочих плівкових елементів різного функціонального призначення з підвищеною електропровідністю, відтворюваністю властивостей і надійністю. Умови дифузійного формування нанорозмірних плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Збагачення корисних копалин за допомогою магнітного поля. Застосування енергії електромагнітного поля в технологічних процесах виробництва і переробки продукції рослинництва. Приклади використання магнітного поля в системах зворотного водопостачання.
реферат, добавлен 01.03.2013Дослідження кінетичних процесів, що мають місце в джерелі негативних іонів, роботи джерела в імпульсно-періодичному режимі. Перенос плазми в джерелі негативних іонів водню з відбитковим розрядом. Вплив домішок цезію на емісійні характеристики джерела.
автореферат, добавлен 28.08.2014Дослідження магнітогідродинамічної стійкості плазми скінченного тиску в токамаках та тороїдних магнітних уловлювачах з просторовою магнітною віссю, з урахуванням ефектів СЛР іонів та гофрування магнітного поля. Методи оптимізації профілю тиску плазми.
автореферат, добавлен 20.04.2014Закономірності формування структурно-фазового складу і електрофізичних властивостей двошарових плівок на основі Nі і V, Cr, Co. Розрахунок ефективних коефіцієнтів взаємної дифузії атомів у процесі зерномежової конденсаційно-стимульованої і термодифузії.
автореферат, добавлен 28.07.2014Дослідження впливу різних методів напилювання на механізм росту, фазовий склад, структуру, кінетику росту і властивості нітридних плівок, отриманих на Si, Ni, Ti і на тугоплавких підкладках. Формулювання, аналіз та оцінка практичних рекомендацій.
автореферат, добавлен 28.07.2014Дослідження властивостей алмазоподібних плівок вуглецю. Вивчення прихованих шарів карбіду кремнію, синтезованих високодозовою імплантацією вуглецю в монокристалічний кремній. Механізми гетерування домішок та пасивації рекомбінаційно-активних центрів.
автореферат, добавлен 20.04.2014Дослідження магнітогідродинамічної стійкості плазми скінченного тиску в токамаках і тороїдних магнітних уловлювачах з просторовою віссю. Урахування дефектів іонів, анізотропії та гофрування фізичного поля. Метод оптимізації профілю тиску плазми.
автореферат, добавлен 22.04.2014Закон Ома для кола з послідовно ввімкнутими споживачами. Вплив зміни ємності на величину струму, кута зсуву фаз, коефіцієнт потужності у колі і напруги на ділянках кола. Розрахунок електричного кола однофазного струму з послідовно з’єднаними опорами.
лабораторная работа, добавлен 14.12.2012