Технология прямого сращивания пластин кремния и технологические маршруты изготовления структур КНИ
Преимущества структур КНИ перед структурами на основе объемного кремния. Технологии создания структур КНИ. Особенности процесса имплантация ионов водорода в приборную пластину. Исследование процессов химико-механической обработки кремниевых структур.
Подобные документы
Физико-химические процессы формирования тонких пленок, методы их получения и базовые технологии пленочных структур элементов интегральных микросхем. Перспективные технологические методы создания наноструктур и элементов наноэлектронных устройств.
учебное пособие, добавлен 20.10.2014Результаты оптимизации технологического процесса формообразования асферической поверхности на подложке из поликристаллического кремния. Сочетание различных методов контроля формы поверхности и уточнения функции материалосъема во время обработки.
статья, добавлен 07.12.2018Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
курсовая работа, добавлен 11.12.2014Проблемы алгоритмизации технологического проектирования управления процессами механической обработки и существующие методы их решения. Использование алгебраических структур дискретной математики для повышения уровня формализованности задач проектирования.
монография, добавлен 16.09.2017Фізико-механічні характеристики напівпровідникових пластин кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією в процесі формоутворення. Метод автоматичного операційного контролю товщини пластин. Методика виміру товщини пластин за допомогою створеного методу.
автореферат, добавлен 28.07.2014Теоретические основы технологии машиностроения. Виды технологических процессов, структура и основные характеристики. Точность механической обработки. Качество поверхностного слоя деталей. Разработка технологического процесса механической обработки.
курсовая работа, добавлен 15.10.2009Разработка технологии изготовления втулки с введением новой операции. Припуски на механическую обработку. Размерный анализ технологического процесса. Режимы обработки и нормы времени, себестоимость изготовления. Приспособление для механической обработки.
курсовая работа, добавлен 30.03.2012Механические, химические, физические и электрофизические свойства кремния. Применение кремния в электронной технике. Способы получения технического кремния. Способы получения и очистки трихлорсилана. Методы производства монокристаллического кремния.
реферат, добавлен 08.10.2017Свойства пленок нитрида кремния. Электронная структура нитрида кремния. Способы получения пленок нитрида кремния. Высокотемпературные акустические приемники. Датчик газового анализатора. Применение тонких пленок нитрида кремния в микроэлектронике.
курсовая работа, добавлен 06.10.2019Дослідження параметрів узагальнених перетворювачів імітансу на базі двозатворних польових структур Шоттки. Розробка і дослідження активних фільтрів на базі потенційно-нестійких двозатворних польових структур Шоттки, придатних для інтегральних технологій.
автореферат, добавлен 29.09.2014Основные технологические этапы изготовления кремниевых полупроводниковых приборов и соответствующие вопросы охраны окружающей среды, безопасности. Процесс окисления в высокотемпературных диффузионных печах. Пирофорное окисление под высоким давлением.
статья, добавлен 19.05.2009Характеристика процессов химико-термической обработки стали. Цель и виды цементации. Технология процесса азотирования. Нитроцементация и ее преимущества по сравнению с газовой цементацией. Цианирование, борирование и диффузионное насыщение металлами.
курсовая работа, добавлен 15.12.2010Описания введения дополнительных операций в швейном производстве для закрепления структуры материала и улучшения прочности швов. Обзор технологии химической стабилизации и нанесения жидкофазной полимерной композиции на соединительные швы швейных изделий.
статья, добавлен 16.03.2019Проектирование технологии изготовления корпуса гидрораспределителя. Выбор оборудования и режущего инструмента. Техническое нормирование операций. Разработка станочного приспособления для механической обработки. Экономическое обоснование производства.
дипломная работа, добавлен 09.12.2016Разработка инженерных методик расчета надежности резервированных структур, которые приводят к определению функции распределения наработки до отказа рассматриваемых систем. Методы получения оценки всех необходимых показателей надежности этих систем.
статья, добавлен 08.12.2018Характеристика карботермического метода рафинирования кремния. Отделение шлака отстаиванием в жидком состоянии для коагуляции и выделения в отдельную фазу мелких включений. Анализ химического, вакуумного и флюсового методов рафинирования кремния.
реферат, добавлен 25.12.2022Исследование прикладных методов развития порошковой металлургии. Рассмотрение данных по новейшим методам получения заготовок из мелкозернистых порошков металлов и сплавов. Специальное прессовое оборудование. Способы создания высокодисперсных структур.
статья, добавлен 02.11.2018Конструктивные и технологические особенности валов. Трудоёмкость, себестоимость и производительность процесса изготовления. Особенности изготовления шлицевых поверхностей на валах. Укрупненный маршрут обработки торсионных валов из штампованных заготовок.
контрольная работа, добавлен 21.07.2014Характеристика методов получения заготовок из мелкозернистых порошков металлов и сплавов, а также способов создания высокодисперсных структур. Изучение разработки в области порошковых материалов на основе желез. Улучшение прессуемости этих порошков.
статья, добавлен 02.11.2018Изучение возможности металлотермического получения кристаллического кремния (КК) с использованием в качестве восстановителя различных видов углеродистых восстановителей. Анализ получения КК из кварца с использованием спецкокса и длиннопламенного угля.
статья, добавлен 24.05.2018Процесс разработки групповой технологии обработки трёх партий деталей: червяк, шестерня и крышка. Описание главных элементов станка для точения, сверления, нарезания резьбы для вращающихся заготовок. Технические характеристики шпиндельной бабки.
курсовая работа, добавлен 09.12.2013Розробка методів і моделей функціонування системи підтримки прийняття рішень при автоматизованому проектуванні структур технологічної підготовки суднобудівного виробництва. Розроблення математичної та інформаційної моделі об’єктів предметної області.
автореферат, добавлен 14.10.2013Рассмотрение механических, физических, химических способов обработки полупроводников. Технология создания интегральных микросхем. Требования к подложкам. Характеристика монокристаллов кремния и принципы его получения. Расчет технологических параметров.
курсовая работа, добавлен 28.05.2015Применение карбида кремния в ювелирном деле в качестве абразива и имитатора алмаза ювелирного качества. Нахождение в природе и химическая формула карбида кремния, его физико-химические свойства. Штамповка, отделка, огранка и литье ювелирных изделий.
презентация, добавлен 16.12.2013Кинетика процесса отверждения эпоксидного порошкового связующего и составов на его основе. Взаимосвязь между химическим строением компонентов и сформированных структур с магнитными, физико-химическими и механическими свойствами магнитных порошков.
автореферат, добавлен 13.04.2018