Технология прямого сращивания пластин кремния и технологические маршруты изготовления структур КНИ
Преимущества структур КНИ перед структурами на основе объемного кремния. Технологии создания структур КНИ. Особенности процесса имплантация ионов водорода в приборную пластину. Исследование процессов химико-механической обработки кремниевых структур.
Подобные документы
Технологии и физико-химические основы процессов резки и шлифовки полупроводниковых кремниевых пластин. Маршрутные и технологические карты производства пластин. Охрана труда и окружающей среды. Метрология и стандартизация производства кремниевых пластин.
отчет по практике, добавлен 20.10.2016Рассмотрение методов расширения функциональных возможностей криоэлектронных информационно-измерительных приборов. Особенности повышения их универсальности за счет технологии их изготовления на основе слоистых структур высокотемпературных сверхпроводников.
автореферат, добавлен 28.03.2018Структуры основных политипов карбида кремния, особенности его структуры. Результаты исследования структур на основе карбида кремния методом инфракрасной спектроскопии. Принципы и этапы формирования структуры в композиционной карбид кремниевой керамике.
дипломная работа, добавлен 01.08.2021Перечень требований к полупроводниковым подложкам. Характеристика монокристаллического кремния. Схема производственного процесса изготовления интегральных микросхем. Технология получения кремния полупроводниковой чистоты и формирования из него слитков.
курсовая работа, добавлен 03.12.2010Метод получения сверхрешеточных структур. Механизм роста и эпитаксия в процессе MOCVD. Светодиодные структуры GaN на подложках из карбида кремния. Описание процесса и обзор технологии laser lift-off. Горизонтальная и вертикальная структуры диодов.
курсовая работа, добавлен 26.12.2013Технология прямого экспонирования офсетных пластин. Пластины на основе галогенидов серебра для технологии прямого экспонирования форм. Основное достоинство серебросодержащих пластин, контроль их качества записи, а также рекомендации по использованию.
контрольная работа, добавлен 10.05.2013Исследование симметричных фоторезисторных структур в полупроводниках. Повышение скорости передачи информации в системах связи. Интеграция электронных и оптических систем. Совмещение приёма и обработки оптических сигналов на одной кремневой подложке.
автореферат, добавлен 16.02.2018Обзор процесса групповой обработки формирования структур как объекта управления. Разработка алгоритма системы управления технологическим процессом отжига при формировании структур. Моделирование травления при формировании топологии интегральных элементов.
автореферат, добавлен 14.08.2018Исследование влияния технологических режимов плавки на степень очистки кремния и однородность распределения примеси в монокристаллах кремния. Характеристика зависимости удельного электрического сопротивления кристаллов кремния от количества проходов.
статья, добавлен 29.07.2016Разработка и освоение инновационной технологии плазмометаллургического производства нанокарбида кремния и композиций на его основе. Математическая модель плазменных процессов синтеза и модифицирования, интегрирующей стадии испарения дисперсного сырья.
автореферат, добавлен 04.02.2018Результаты лабораторных экспериментов по исследованию возможности протекания в условиях агрегата ковш-печь процессов алюмино- и карботермического восстановления кремния из оксида кремния рафинировочного шлака. Определение доли восстанавливаемого кремния.
статья, добавлен 29.07.2016Характеристика кремния металлургического сорта и мероприятия по улучшению его качества. Технологии рафинирования кремния с доведением его до чистоты солнечного сорта, пригодного для изготовления фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии.
статья, добавлен 14.10.2016Основы термического вакуумного распыления. Особенности формирования тонких плёнок термовакуумным, ионным, молекулярно-лучевой эпитаксией, химическими и электрохимическими методами. Химические основы процесса получения эпитаксиальных плёнок кремния.
учебное пособие, добавлен 26.11.2013Повышение точности пластин-подложек интегральных микросхем из кремния и сапфира и производительности технологических процессов. Параметры доводочных операций на этапах шлифовки и полирования. Отклонения детали при обработке пластин различных диаметров.
автореферат, добавлен 31.03.2018Вакуумно-плазменные методы формирования пленочных структур из тугоплавких оксидов. Особенности снижения влагосодержания в пленках путем отжига и получения покрытий с малой пористостью при электронно-лучевом испарении мишени и лазерной обработке структур.
дипломная работа, добавлен 11.07.2016Развитие теоретических и методологических принципов мультифрактальной параметризации. Разработка компьютерных программ обработки серий изображений структур. Физическая интерпретация степенных эмпирических закономерностей усталостного разрушения металла.
автореферат, добавлен 19.01.2014Разработка технологии получения пористых выплавляемых моделей из порошковых материалов. Исследование динамического воздействия струи расплава на керамических оболочковых формах с разными вариантами пористости структур и конструкции зумпфа стояка.
автореферат, добавлен 30.01.2018Технические характеристики и свойства карбидокремниевых материалов. Технология изготовления различных конструкций из особо чистого реакционно-спеченного карбида кремния. Технологическая схема получения изделий из карбида кремния. Сублимационная камера.
статья, добавлен 11.12.2014Процесс получения легированных эпитаксиальных слоев кремния в силановой технологии. Получение нелегированных или слабо легированных эпитаксиальных кремниевых слоев. Использование летучих неорганических соединений легирующих элементов: арсин, стибин.
статья, добавлен 09.11.2016Экспериментальное обнаружение и исследование различных пиков в спектре комбинационного рассеяния образцов кремния, имплантированных ионами меди. Исследование характера динамики трансформации микроскопической структуры приповерхностного слоя кремния.
статья, добавлен 12.11.2020Анализ получения полимерных периодических структур на основе акриловых мономеров и нанокомпозитов методом лазерной интерференционной литографии в УФ-отверждаемых композициях. Зависимость их характеристик от состава, условий экспонирования и обработки.
статья, добавлен 30.11.2018Розробка конструкцій просторових систем приводів як рухомих тріангулярних структур. Обґрунтування призначення структур для маніпулювання об’єктами в обмежених об’ємах. Конструктивні особливості елементної бази розробленої просторової системи приводів.
статья, добавлен 20.02.2016В работе при контроле технологического процесса образования пор, предложено применить измерение акустической эмиссии в звуковом диапазоне частот. Это позволило фиксировать картину звуковых параметров кипения и анализировать образование пористых структур.
статья, добавлен 13.02.2020Механизмы формирования микро- и наноструктур поверхностных слоев деталей при финишной абразивной обработке. Параметры процесса обработки, влияющие на формирование тонких поверхностных структур. Термическое и силовое воздействие на поверхность детали.
статья, добавлен 27.05.2018- 25. Особенности процессов подготовки мятки и мезги при получении растительного масла из семян сафлора
Рассмотрение существующих способов и машин для осуществления технологического процесса получения растительного масла из семян сафлора. Подготовка масличного материала к прессованию. Технологические режимы обработки мятки различных масличных структур.
статья, добавлен 02.02.2019