Влияние технологических факторов на дефектность структур кремний на сапфире
Исследование механизма гетероэпитаксии кремния на сапфире, для последующего создания транзисторных структур с низкой дефектностью. Изучение методом резерфордовского обратного рассеяния эпитаксиальных слоев кремния выращенных на сапфировой подложке.
Подобные документы
Выполнение анализа накопления примеси в расплаве у фронта кристаллизации при выращивании монокристаллов кремния и рассмотрение модели ускоренной кристаллизации этой области расплава. Применение режимов выращивания монокристаллов при высоких скоростях.
статья, добавлен 27.07.2016Понятие и классификация силикатной промышленности. Применение кремния и его соединений в силикатной промышленности. Расположение оксида кремния в природе. Особенности производства стекла, керамики и цемента. Примеры минералов и силикатного кирпича.
презентация, добавлен 25.02.2015Разработка и освоение инновационной технологии плазмометаллургического производства нанокарбида кремния и композиций на его основе. Математическая модель плазменных процессов синтеза и модифицирования, интегрирующей стадии испарения дисперсного сырья.
автореферат, добавлен 04.02.2018Рассмотрение механических, физических, химических способов обработки полупроводников. Технология создания интегральных микросхем. Требования к подложкам. Характеристика монокристаллов кремния и принципы его получения. Расчет технологических параметров.
курсовая работа, добавлен 28.05.2015Исследование шлифпорошков карбида кремния черного марки 54С зернистостью F36, F46, F60, F70, F90, F120 и F180, серийно изготовляемых на ОАО "Волжский абразивный завод". Определение и анализ зависимости дисперсии зерен фракций различных зернистостей.
статья, добавлен 18.05.2017Технические характеристики и свойства карбидокремниевых материалов. Технология изготовления различных конструкций из особо чистого реакционно-спеченного карбида кремния. Технологическая схема получения изделий из карбида кремния. Сублимационная камера.
статья, добавлен 11.12.2014Проведение оценки энергетического взаимодействия элементов в системе "алюминий-кремний" на основании расчета энергии электронных уровней атомов алюминия и кремния. Построение диаграммы состояния сплавов, которая отражает изменения электронного состояния.
статья, добавлен 02.11.2018Рассмотрение общих принципов установления оптимального шлакового режима плавки. Исследование процесса окисления и восстановления кремния, марганца, фосфора. Ознакомление с классификацией сталей. Изучение и характеристика источников образования шлака.
курс лекций, добавлен 20.05.2022Свойства карбида кремния, его использование в изготовлении абразивных инструментов, электронике, автомобильной промышленности. Процесс использования электроплавильной технологии в электрических печах сопротивления с угольными электродами методом Ачесона.
статья, добавлен 07.09.2013Анализ влияния температурных факторов на процесс термического разложения органических веществ в рисовой шелухе с целью определения оптимальных условий синтеза активированного угля и диоксида кремния. Проблема утилизации отходов рисового производства.
статья, добавлен 23.12.2015Исследование структуры и свойств серого и высокопрочного чугуна после карбонитрации. Ознакомление с причинами высокого содержания хрома, кремния и марганца в поверхностном слое. Анализ распределения элементов в поверхностном слое после карбонитрации.
статья, добавлен 17.06.2018Карбид кремния на нитридной связке как тугоплавкое соединение. Теоретические предпосылки создания керамики на его основе. Фрагменты молекулярной структуры вещества. Запатентованные способы получения керамического материала. Физико-химические исследования.
курсовая работа, добавлен 25.12.2014Исследование симметричных фоторезисторных структур в полупроводниках. Повышение скорости передачи информации в системах связи. Интеграция электронных и оптических систем. Совмещение приёма и обработки оптических сигналов на одной кремневой подложке.
автореферат, добавлен 16.02.2018Приготовление кремниевых пленок. Изготовление отрицательного электрода литий-ионного аккумулятора. Исследование влияния процессов отжига пленок на улучшение их электрохимических характеристик, проведение двух типов отжига – в вакууме и в атмосфере азота.
практическая работа, добавлен 16.11.2018Определение частных производных в дифференциальных уравнениях, которые описывают основные блоки модели диффузии, конвекции и реакции турбулентной водной среды. Исследование модельной схемы биогеохимической трансформации форм фосфора, азота и кремния.
статья, добавлен 28.07.2017Получение кристаллического кремния на процессах рудовосстановления. Изучение особенностей получения жидкого стекла из микрокремнезема. Оценка свойств гранул теплоизоляционного материала. Теплотехнические физико-механические свойства микрокремнезема.
статья, добавлен 13.02.2020Ориентированные массивы наностержней оксида цинка (ZnO) как перспективные базовые элементы широкого спектра устройств наноэлектроники и нанофотоники. Исследования лазерного синтеза при высоком давлении аргона массивов ZnO наностержней на сапфире.
статья, добавлен 30.05.2017Метод получения сверхрешеточных структур. Механизм роста и эпитаксия в процессе MOCVD. Светодиодные структуры GaN на подложках из карбида кремния. Описание процесса и обзор технологии laser lift-off. Горизонтальная и вертикальная структуры диодов.
курсовая работа, добавлен 26.12.2013Современные представления о механизме окислительных процессов. Особенности перемешивания конвертерной ванны при продувке сверху. Закономерности шлакообразования в кислородных конвертерах. Общие основы кинетики окисления примесей, кремния и марганца.
курс лекций, добавлен 23.08.2013Повторное плавление кремния и ферросилиция - недостаток технологии получения модификаторов сплавлением магния с ферросплавами. Причины возникновения пироэффекта и значительного дымовыделения в процессе обработки расплава магнийсодержащими лигатурами.
статья, добавлен 02.11.2018Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
курсовая работа, добавлен 11.12.2014Принципы работы современной инновационной линейки оборудования для лазерного разделения хрупких материалов: стекло, сапфир, кремний, карбид кремния. Использование технологий лазерного управляемого термораскалывания и иммерсионного лазерного метода.
статья, добавлен 14.12.2021Предельная рабочая температура и коэффициент теплопроводности как одни из наиболее важных характеристик теплоизоляционных материалов. Сравнительный анализ зависимости механических характеристик керамических волокон от содержания в них оксида кремния.
контрольная работа, добавлен 13.01.2020Метод горизонтальной направленной кристаллизации для расчета температурных и термоупругих полей. Вычислительный эксперимент зависимости пространственных и геометрических характеристик нагревателей. Проведение перераспределения дефектов в сапфире.
статья, добавлен 29.07.2017Характеристика сплава и область применения ферросилиция. Существующие схемы выплавки ферросилиция и обоснование выбранной технологической схемы. Свойства кремния и его соединений. Характеристика, выбор и расчёт шихтовых материалов для выплавки ФС 75ч.
дипломная работа, добавлен 05.12.2012